|
Изображение | |
| Номер в госреестре | |
| Наименование | Установки для измерения импульсных вольт-амперных характеристик |
| Обозначение типа | AmCAD BILT |
| Производитель | Компания "Amcad Engineering", Франция |
| Описание типа | Скачать |
| Методика поверки | Скачать |
| Межповерочный интервал (МПИ) | 1 год |
| Допускается поверка партии | Нет |
| Наличие периодической поверки | Да |
| Сведения о типе | Срок свидетельства |
| Срок свидетельства или заводской номер | 12.08.2021 |
| Назначение | Установки для измерения импульсных вольт-амперных характеристик AmCAD BILT (далее по тексту - установки) предназначены для измерений вольт-амперных характеристик полевых полупроводниковых компонентов и интегральных схем на пластине и в корпусе.
|
| Описание | Принцип работы установок заключается в задании и измерении напряжения на затворе и стоке, и измерении силы тока в цепи затвора и стока исследуемой полупроводниковой структуры.
Установки имеют два режима работы - импульсный и статический.
Максимальная мощность ограничена значением, при котором не происходит перегрев исследуемой структуры. В статическом режиме задается постоянное напряжение и производится непрерывное измерение силы тока. Импульсный режим позволяет обеспечить значительно более высокие по сравнению со статическим режимом значения напряжения и силы тока, и, соответственно, более высокую мощность в импульсе без опасности перегрева исследуемого объекта путем задания оптимальных временных параметров импульсов - длительности и скважности.
Установки состоят из блока управления, измерительного зонда затвора и измерительного зонда стока. Соединение между блоком управления и зондами осуществляется кабелями с разъемами SUB-D.
Блок управления обеспечивает питание зондов, управление временными параметрами, диапазонами и значениями задаваемого напряжения, диапазонами измерений напряжения и силы тока, задание, вывод и отображение измерительной информации на внешний компьютер.
Измерительные зонды подсоединяются к исследуемой полупроводниковой структуре с использованием входящих в комплект поставки приспособлений.
Общий вид установок с измерительными зондами показан на рисунке 1, вид передней и задней панели блока управления на рисунках 2 и 3.
Рисунок 1 - Общий вид установки с измерительными зондами
Рисунок 2 - Вид передней панели блока управления
| место пломбирования (защитный стикер) | | место нанесения знака утверждения типа и знака поверки | Рисунок 3 - Вид задней панели блока управления |
Номенклатура поставляемых по заказу измерительных зондов:
- зонды затвора AM212, AM213;
- зонды стока AM221, AM222, AM223, AM231, AM232, AM241.
|
| Программное обеспечение |
Программное обеспечение устанавливается на внешний компьютер, который взаимодействует с блоком управления по интерфейсам USB, LAN, GPIB. Программное обеспечение является целостным и выполняет функции создания и редактирования амплитудных и временных параметров задаваемого напряжения, параметров измерений напряжения и силы тока, а также обработку и документирование измерительной информации.
Класс риска программного обеспечения “A” по WELMEC 7.2 Issue 5 (что соответствует уровню защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений «низкий» по Р 50.2.077-2014). Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)
Значение
Идентификационное наименование ПО
MT930 IVCAD
Номер версии (идентификационный номер) ПО
3.5 и выше
Цифровой идентификатор ПО
-
|
| Метрологические и технические характеристики | Метрологические характеристики измерительных зондов представлены в таблицах 2 - 6, общие технические характеристики установок - в таблице 7.
Значения погрешности даны для длительности импульсов свыше 500 мкс.
В формулах таблиц 2 - 6:
U - значение измеряемого напряжения, DU - верхний предел диапазона напряжения;
I - значение измеряемой силы тока, DI - верхний предел диапазона силы тока.
Таблица 2 - Измерительные зонды затвора AM212, AM213
| AM212 | AM213 | | Диапазон выходного напряжения, В | ±20 | | Максимальная сила тока в статическом режиме, мА | 300 | 50 | | Максимальная сила тока в импульсном режиме, мА | 1000 | 1000 | | Максимальная мощность в статическом режиме, Вт | 1,5 | 1,0 | | Максимальная мощность в импульсном режиме, Вт | 10 | 10 | | Максимальная частота переключений, кГц | 500 | | Минимальная длительность импульсов, нс | 200 | 400 | | Верхние пределы диапазонов измерений напряжения, В | 2; 20 | | Верхние пределы диапазонов измерений силы тока, мА | 1; 10; 100; 1000 | 10; 1000 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения, В | | верхний предел диапазона, В | AM212 | AM213 | | 2 | ±(5∙10-4∙U + 3∙10-4∙DU) | ±(5∙10-4∙U + 4,5∙10-4∙DU) | | 20 | ±(5∙10-4∙U + 2,15∙10-4∙DU) | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы тока, мА | | верхний предел диапазона, мА | AM212 | AM213 | | 1 | ±(4∙10-3∙I + 8∙10-3∙DI) | - | | 10 | ±(4∙10-3∙I + 1,2∙10-3∙DI) | ±(2∙10-3∙I + 2∙10-3∙DI) | | 100 | ±(4∙10-3∙I + 8∙10-3∙DI) | - | | 1000 | ±(5∙10-3∙I + 1,2∙10-3∙DI) | ±(2∙10-3∙I + 2∙10-4∙DI) |
Таблица 3 - Измерительные зонды стока AM221, AM231
| AM221 | AM231 | | Диапазон выходного напряжения, В | от 0 до 250 | от 0 до 120 | | Максимальная сила тока в статическом режиме, А | 3 | 4 | | Максимальная сила тока в импульсном режиме, А | 10 | 10 | | Средняя максимальная мощность в статическом режиме, Вт | 80 | | Средняя максимальная мощность в импульсном режиме, Вт | 50 | | Пиковая мощность в импульсном режиме, Вт | 2000 | | Максимальная частота переключений, кГц | 100 | | Минимальная длительность импульсов, нс | 200 | 500 | | Верхние пределы диапазонов измерений напряжения, В | 25; 250 | 12; 120 | | Верхние пределы диапазонов измерений силы тока, А | 1; 10 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения, В | ± (2∙10-3∙U + 2∙10-3∙DU) | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы тока, А | | верхний предел диапазона 1 А | ±(1∙10-3∙I + 1∙10-3∙DI) | | верхний предел диапазона 10 А | ±(4∙10-3∙I + 4∙10-3∙DI) |
Таблица 4 - Измерительные зонды стока AM222, AM232
| AM222 | AM232 | | Диапазон выходного напряжения, В | от 0 до 120 | | Максимальная сила тока в статическом режиме, А | 4 | | Максимальная сила тока в импульсном режиме, А | 30 | | Средняя максимальная мощность в статическом режиме, Вт | 80 | | Средняя максимальная мощность в импульсном режиме, Вт | 50 | | Пиковая мощность в импульсном режиме, Вт | 2000 | 3000 | | Максимальная частота переключений, кГц | 100 | | Минимальная длительность импульсов, нс | 400 | 500 | | Верхние пределы диапазонов измерений напряжения, В | 12; 120 | | Верхние пределы диапазонов измерений силы тока, А | 3; 30 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения, В | ±(2∙10-3∙U + 2∙10-3∙DU) | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы тока, А | | верхний предел диапазона 3 А | ±(3∙10-3∙I + 3∙10-3∙DI) | | верхний предел диапазона 30 А | ±(6∙10-3∙I + 5∙10-3∙DI) |
Таблица 5 - Измерительный зонд стока AM223
| Диапазон выходного напряжения, В | от минус 5 до 15 | | Максимальная сила тока, мА | 200 | | Максимальная мощность, Вт | 2 | | Максимальная частота переключений, кГц | 100 | | Минимальная длительность импульсов, нс | 200 | | Верхний предел диапазона измерений напряжения, В | 15 | | Верхние пределы диапазонов измерений силы тока, мА | 20; 200 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения, В | ±(2∙10-3∙U + 2∙10-3∙DU) | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы тока, мА | ±(2∙10-3∙I + 2∙10-3∙DI) |
Таблица 6 - Измерительный зонд стока AM241
| Диапазон выходного напряжения, В | от 0 до 1000 | | Максимальная сила тока в статическом режиме, А | 3 | | Максимальная сила тока в импульсном режиме, А | 30 | | Максимальная мощность, Вт | 2 | | Средняя максимальная мощность в статическом режиме, Вт | 90 | | Пиковая мощность в импульсном режиме, Вт | 3600 | | Максимальная частота переключений, кГц | 250 | | Минимальная длительность импульсов, нс | 400 | | Верхние пределы диапазонов измерений напряжения, В | 40; 200; 1000 | | Верхние пределы диапазонов измерений силы тока, А | 0,03; 0,3; 3; 30 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения, В | | верхний предел диапазона 40 В | ±(1∙10-3∙U + 1∙10-3∙DU) | | верхние пределы диапазонов 200; 1000 В | ±(2∙10-3∙U + 2∙10-3∙DU) | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы тока, А | | верхние пределы диапазонов 0,03; 0,3 А | ±(1∙10-3∙I + 1∙10-3∙DI) | | верхний предел диапазона 3 А | ±(3∙10-3∙I + 3∙10-3∙DI) | | верхний предел диапазона 30 А | ±(6∙10-3∙I + 5∙10-3∙DI) |
Таблица 7 - Общие технические характеристики
| Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм | | блок управления | 420 х 485 х 180 | | измерительный зонд | 120 х 80 х 30 | | Масса, кг, не более | | блок управления | 18,0 | | измерительный зонд | 0,5 | | Потребляемая мощность от сети 220 В / 50 Гц, Вт, не более | 300 | | Рабочие условия применения | | температура окружающей среды, °C | от 20 до 28 | | относительная влажность воздуха при температуре до 28 °C, % | до 70 | | Электромагнитная совместимость | по ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014 | | Безопасность | по ГОСТ IEC 61010-1-2014 |
|
| Комплектность | Комплектность установок приведена в таблице 8.
Таблица 8 - Комплектность установок AmCAD BILT
| Наименование и обозначение | Кол-во, шт. | | Блок управления AmCAD BILT | 1 | | Измерительные зонды затвора AM212, AM213 | по заказу | | Измерительные зонды стока AM221, AM222, AM223, AM231, AM232, AM241 | по заказу | | Кабель сетевой | 1 | | Кабель соединительный SUB-D, входит в комплект поставки зонда | 2 | | Адаптер SUB-D/BNC, входит в комплект поставки зонда | 1 | | Адаптер SMB-BNC | 1 | | Контактные приспособления | по заказу
к зондам | | AM249-1: выходы с гнездами “banana” 4 мм (для зонда AM241) | | AM249-2: выходы с разъемом “SHV” (для зонда AM241) | | AM249-3: выходы для корпуса T0247 (для зондов AM212, AM241) | | AM249-4: выходы для корпуса T0220 (для зондов AM213, AM241) | | Компакт-диск или флеш-накопитель с программой MT930 IVCAD | 1 | | Руководство по эксплуатации (на компакт-диске) | 1 | | Методика поверки МП AmCAD-2016 | 1 |
|
| Поверка | осуществляется по документу МП AmCAD-2016 «ГСИ. Установки для измерения импульсных вольт-амперных характеристик AmCAD BILT. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 24.06.2016 г.
Рекомендуемые средства поверки:
- мультиметр цифровой Keysight 34410A, Госреестр № 33921-07;
- мера электрического сопротивления универсальная однозначная МС 3080М, номинал 0,1 Ом;
класс точности не ниже 0,005; Госреестр № 61295-15
|
| Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к установкам для измерения импульсных вольт-амперных характеристик AmCAD BILT
1 ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
2 ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
3 ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1·10-16 ÷ 30 А.
4 ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014. Оборудование электрическое для измерений, управления и лабораторного применения. Требования электромагнитной совместимости. Часть 1. Общие требования.
5 ГОСТ IEC 61010-1-2014. Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Часть 1. Общие требования.
|
| Заявитель | Компания “Amcad Engineering”, Франция
Адрес: Parc Easter Technopole, 20 rue Atlantis, 87068 Limoges Cedex, France
Тел. +33 (0) 555 040 531, факс +33 (0) 555 040 531
Е-mail: info@amcad-engineering.com
|
| Испытательный центр | Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
|
