|
Изображение | |
| Номер в госреестре | |
| Наименование | Системы измерительные для БИС и СБИС |
| Обозначение типа | J750E (J750Ex) |
| Производитель | Фирма "Teradyne Inc.", США |
| Описание типа | Скачать |
| Методика поверки | Скачать |
| Межповерочный интервал (МПИ) | 1 год |
| Допускается поверка партии | Нет |
| Наличие периодической поверки | Да |
| Сведения о типе | Заводской номер |
| Срок свидетельства или заводской номер | на 5 шт. с зав.№ 1241E3561, 1334E3654, 1441E3819, J750IV15001, J750IV15002 |
| Назначение | Системы измерительные для БИС и СБИС J750E и J750Ex (далее по тексту - системы) предназначены для измерений и контроля вольт-амперных параметров больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС).
|
| Описание | Принцип действия систем основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую БИС (СБИС) подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется измерительными каналами в цифровой код и производится его сравнение с ожидаемыми данными с отображением результатов контроля.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров БИС (СБИС) в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности 200 МГц для системы J750Ex и 100 МГц для системы J750E. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 64 Мбит векторов в линейном режиме для системы J750Ex и 16 Мбит для системы J750E. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется четырьмя временными метками на драйвер. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяется одним стробирующим импульсом или двумя стробирующими импульсами в режиме окна. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PPMU на каждом канале. Параметры источника-измерителя PPMU задаются независимо по каждому каналу. Также используется общий источник-измеритель BPMU на цифровом канальном модуле и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания DPS с 8-ю каналами на каждой плате.
Конструктивно система состоит из:
- измерительного головного блока, включающего в себя: инструментальное шасси, печатные платы (измерительные модули), источники питания постоянного тока, систему охлаждения, вакуумную систему прижима, систему входного питания по переменному току и блок игольчатых пробников;
- управляющий ПЭВМ;
- трансформаторного блока;
- дополнительных принадлежностей для самотестирования и калибровки.
На верхнюю панель измерительного головного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой.
Системы имеют два варианта исполнения цифровых канальных модулей:
- на J750E устанавливается цифровой 64-х канальный модуль HSD100, максимальное количество 8 шт.;
- на J750Ex устанавливается цифровой 64-х канальный модуль HSD100 или 64-х канальный модуль HSD200, максимальное количество 8 шт.
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
Внешний вид системы приведен на рисунке 1.
Внешний вид измерительного головного блока с указанием мест защиты от несанкционированного доступа в виде пломбировки (а), нанесения знака утверждение типа (б) и знака поверки (в) приведены на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид системы
Рисунок 2 - Измерительный головной блок
|
| Программное обеспечение | Метрологически значимая часть программного обеспечения (ПО) систем представляет собой специализированное ПО «IG-XL, J750Maint».
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1- Идентификационные данные (признаки) ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение | | Идентификационное наименование ПО | J750Maint.exe | IG-XL.exe | J750Maint.exe | IG-XL.exe | | Номер версии ПО (идентификационный номер) ПО | v. 7.40.03 | v. 3.40.18 | v. 7.60.50 | v. 3.50.50 | | Цифровой идентификатор ПО | 92499c608f68ebe1936ccff77813cfdd | 8893aec7d283706291040f7a69582798 | a563347d955180fdca9a5495417bee0e | 4081c77323a31b1dd6473377bc28a3f3 |
Метрологически значимая часть ПО систем и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений. Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню защиты «высокий» по Р 50.2.077-2014.
|
| Метрологические и технические характеристики | приведены в таблице 2.
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение | | Частота опорного сигнала, МГц | 100 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения частоты опорного сигнала, МГц | ±0,01 | | Диапазон воспроизведения напряжения низкого уровня VIL выходных сигналов, В:
- для канального модуля HSD100
- для канального модуля HSD200 | от -1 до +6
от -1 до +6,5 |
Продолжение таблицы 2
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазон воспроизведения напряжения высокого уровня VIH выходных сигналов, В:
- для канального модуля HSD100
- для канального модуля HSD200 | от 0 до +7,1
от -1 до +6,5 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения низкого и высокого уровней VIL и VIH выходных сигналов (для HSD100 и HSD200), мВ | ±15 | | Диапазон воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU, В:
- для канального модуля HSD100
- для канального модуля HSD200 | от -2 до +7
от -1,5 до +6,5 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU (для HSD100, HSD200), мВ | ±(1,6∙10-3∙U+14 мВ),
где U - воспроизводимое напряжение | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU
(для HSD100, HSD200), мВ | ±(4,3∙10-3∙U+18,0 мВ),
где U - измеряемое напряжение | | Пределы воспроизведения силы постоянного тока параметрического устройства PPMU, А: | | | для канального модуля HSD100 | ±200∙10-6; ±2∙10-3 | | для канального модуля HSD200 | ±20∙10-6; ±200∙10-6;
±2∙10-3; ±50∙10-3 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD100, мкА: | | | на пределе ±2 мА | ±(2,5∙10-3∙I+17,0 мкА) | | на пределе ±200 мкА | ±(2,0∙10-3∙I+1,7 мкА),
где I - воспроизводимое значение силы тока | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD200, мкА (нА): | | | - на пределе ±50 мА | ±(6∙10-3∙I+400 мкА) | | - на пределе ±2 мА | ±(1∙10-3∙I+14 мкA) | | - на пределе ±200 мкА | ±(1,0∙10-3∙I+1,4 мкA) | | - на пределе ±20 мкА | ±(1∙10-3∙I+140 нA),
где I - воспроизводимое значение силы тока | | Пределы измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU, А:
- для канального модуля HSD100 | ±2∙10-3; ±200∙10-6; ±20∙10-6; ±2∙10-6; ±200∙10-9 | | - для канального модуля HSD200 | ±50∙10-3; ±2∙10-3; ±200∙10-6; ±20∙10-6; ±2∙10-6 |
Продолжение таблицы 2
| Наименование характеристики | Значение | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD100, мкА (нА):
- на пределе ±2 мА
- на пределе ±200 мкА
- на пределе ±20 мкА
- на пределе ±2 мкА
- на пределе ±200 нА | ±(5,8∙10-3∙I+16,0 мкА)
±(5,2∙10-3∙I+8 мкА)
±(5,1∙10-3∙I+0,16 мкА)
±(10∙10-3∙I+40 нА)
±(14∙10-3∙I+8 нА), | | где I - измеряемое значение силы тока | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя PPMU для HSD200, мкА (нА): | | | - на пределе ±50 мА
- на пределе ±2 мА
- на пределе ±200 мкА
- на пределе ±20 мкА
- на пределе ±2 мкА | ±(6,0∙10-3∙I +400 мкА)
±(1,0∙10-3∙I+14 мкA)
±(1,0∙10-3∙I+1,4 мкA)
±(1,0∙10-3∙I+140 нA)
±(1,0∙10-3∙I+28 нA),
где I - измеряемое значение силы тока | | Пределы воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), В | ±2; ±5; ±10; ±24 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), мВ: | | | - на пределе ±2 В | ±(1∙10-3∙U+1,5 мВ) | | - на пределе ±5 В | ±(1∙10-3∙U+3,0 мВ) | | - на пределе ±10 В | ±(1∙10-3∙U+8,0 мВ) | | - на пределе ±24 В | ±(1∙10-3∙U+18,0 мВ),
где U - воспроизводимое значение напряжения постоянного тока | | Пределы воспроизведения силы постоянного тока параметрического устройства BPMU (для HSD100, HSD200), А | ±200∙10-6; ±2∙10-3;
±20∙10-3; ±200∙10-3 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), мкА: | | | - на пределе ±200 мкА | ±(1,0∙10-3∙I+0,25 мкА) | | - на пределе ±2 мА | ±(1,0∙10-3∙I+1,6 мкА) | | - на пределе ±20 мА | ±(1∙10-3∙I+16 мкА) | | - на пределе ±200 мА | ±(1∙10-3∙I+160 мкА),
где I - воспроизводимое значение силы тока | | Пределы измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU: | ±2∙10-6; ±20∙10-6; ±200∙10-6; ±2∙10-3; ±20∙10-3; ±200∙10-3 |
Продолжение таблицы 2
| Наименование характеристики | Значение | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока параметрического источника-измерителя BPMU (для HSD100, HSD200), нА (мкА): | | | - на пределе ±2 мкА | ±(5∙10-3∙I+110 нА) | | - на пределе ±20 мкА | ±(2∙10-3∙I+120 нА) | | - на пределе ±200 мкА | ±(2,0∙10-3∙I+0,3 мкА) | | - на пределе ±2 мА | ±(1∙10-3∙I+2 мкА) | | - на пределе ±20 мА | ±(1∙10-3∙I+20 мкА) | | - на пределе ±200 мА | ±(1∙10-3∙I+200 мкА),
где I - измеряемое значение силы тока | | Габаритные размеры (длина ( ширина ( высота)
систем, мм, не более: | | | - измерительный головной блок | 830х690х740 | | - трансформаторный блок | 800x540x1120 | | - инженерная тележка | 940х1120х910 | | Масса систем, кг, не более: | | | - измерительный головной блок | 250 | | - трансформаторный блок | 227 | | - инженерная тележка | 55 | | Параметры электропитания: | | | - 4-х проводная схема подключения | 3 фазы+земля | | - частота переменного тока, Гц | 50±2 | | - напряжение в сети переменного тока, В | 380±19 | | Потребляемая мощность систем, кВ∙А, не более | 4,36 | | Рабочие условия эксплуатации систем: | | | - температура окружающего воздуха, °С | от +10 до +25 | | - относительная влажность воздуха, %, не более | 80 | | - атмосферное давление, кПа | от 84 до 107 |
|
| Комплектность | Комплект поставки приведен в таблице 3.
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Кол-во, шт. | | Измерительный головной блок | 1 | | Трансформаторный блок | 1 | | Инженерная тележка | 1 | | Управляющий ПЭВМ | 1 | | Специальное программное обеспечение СПО «IG-XL, J750Maint» | 1 | | Эксплуатационная документация | 1 | | Методика поверки | 1 |
|
| Поверка |
осуществляется по документу МП 65940-16 «Инструкция. Системы измерительные для БИС и СБИС J750E и J750Ex фирмы «Teradyne Inc.», США. Методика поверки», утвержденному начальником ФГБУ «ГНМЦ» Минобороны России 31.08.2016 г.
Основные средства поверки:
- мультиметр 3458А (рег. № 25900-03);
- частотомер электронно-счетный 53181A (рег. № 26211-03).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на корпус головного измерительного блока в виде наклейки и в свидетельство о поверке.
|
| Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к системам измерительным для БИС и СБИС J750E и J750Ex
ГОСТ 22261-94 «Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия».
ГОСТ 8.027-2001 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы».
ГОСТ 8.022-91 «ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1·10-16 ÷ 30 А».
|
| Заявитель | Фирма «Teradyne, Inc.», США
Адрес: 600 Riverpark Drive, North Reading, MA 01864, USA
Тел.: +1/978370-2700
|
| Испытательный центр | Федеральное государственное бюджетное учреждение «Главный научный метрологический центр» Министерства обороны Российской Федерации
(ФГБУ «ГНМЦ» Минобороны России)
Адрес: 141006, Московская область, г. Мытищи, ул. Комарова, 13
Телефон: (495) 583-99-23; факс: (495) 583-99-48
Аттестат аккредитации ФГБУ «ГНМЦ» Минобороны России по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311314 от 13.10.2015 г.
|
