Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS

Описание

Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS — техническое средство с номером в госреестре 67838-17 и сроком свидетельства (заводским номером) зав.№ US11440201. Имеет обозначение типа СИ: Keysight 5600LS.
Произведен предприятием: Фирма "Keysight Technologies Inc.", США.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
67838-17
НаименованиеМикроскоп атомно-силовой
Обозначение типаKeysight 5600LS
ПроизводительФирма "Keysight Technologies Inc.", США
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерзав.№ US11440201
НазначениеМикроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
ОписаниеПринцип действия микроскопа в контактном режиме основан на взаимодействии кантилевера с исследуемой поверхностью. Острие кантилевера находится в непосредственном соприкосновении с поверхностью, при этом силы притяжения и отталкивания, действующие со стороны образца, уравновешиваются силой упругости консоли кантилевера. Поддерживая с помощью обратной связи постоянной силу взаимодействия между кантилевером и поверхностью образца, регистрируют положение острия кантилевера. Над остриём кантилевера расположена зеркальная площадка, на которую падает и от которой отражается луч лазера. Когда кантилевер опускается и поднимается на неровностях сканируемой поверхности, отраженный луч отклоняется, и это отклонение регистрируется фотодетектором. Далее, путем оцифровки оптического отраженного излучения, происходит определение геометрических параметров поверхности исследуемого объекта. В режиме прерывистого контакта кантилевер совершает колебательные движения по синусоидальному закону. Когда кантилевер и образец находятся близко друг к другу во время каждого колебательного цикла, остриё проходит через потенциал взаимодействия, в который входят компоненты дальнодействующего притяжения и краткосрочного отталкивания. Силы, возникающие между острием и образцом, вызывают изменения в амплитуде и фазе колеблющегося кантилевера, что позволяет исследовать мелкие морфологические особенности. Микроскоп состоит из координатного столика, сканера, детектора, гранитного моста основы микроскопа, компьютера, головного электронного блока, бокса управления столиком XY, контроллера, виброизоляционной камеры. Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1. Обозначение места размещения маркировки, места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2. Рисунок 1 - Общий вид микроскопа атомно-силового Keysight 5600LS Рисунок 2 - Место размещения маркировки, нанесения знака поверки микроскопа атомно-силового Keysight 5600LS
Программное обеспечениеУправление микроскопом осуществляется с помощью компьютера с использованием специализированного программного обеспечения PicoView (далее по тексту - ПО). В ПО интегрированы окна для управления цифровыми камерами и отображения результата изображений видео или стоп-кадров. Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОPicoView
Номер версии (идентификационный номер) ПО1.18.2 и выше
Цифровой идентификатор ПО-
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, нм от 2000 до 10000
Диапазон показаний линейных размеров в плоскости XY, нмот 0,5 до 90000,0
Диапазон измерений линейных размеров по вертикали (ось Z), нмот 20 до 600
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали (ось Z), нмот 0,05 до 1000,00
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в плоскости XY - по вертикали (ось Z)±15 ±10
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гцот 100 до 240 50/60
Потребляемая мощность, кВт, не более1,6
Габаритные размеры, мм, не более - высота - ширина - длина815 880 1410
Масса, кг, не более250
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПаот +18 до +23 80 от 96 до 104
КомплектностьТаблица 4 - Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначениеКоличество
Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS, зав .№ US11440201 в составе: -Координатный столик, зав. № 3913001 -Сканер, зав. № us08380210 -Детектор -Гранитный мост основы микроскопа -Компьютер, зав. № us13070194 -Монитор, зав. № cn-0ygp39-72872-44f-al4l, зав. № cn-0ygp39-72872-44s-dcul -Головной электронный блок, зав. № us11440201 -Бокс управления столиком XY -Контроллер, зав. № us09490261 -Виброизоляционная камера, зав. № 130062-1 шт. 1 шт. 1 шт. 1 шт. 1 шт. 2 шт. 1 шт. 1 шт. 1 шт. 1 шт.
CD-диск с программным обеспечением -1 шт.
Руководство по эксплуатации-1 экз.
Методика поверкиМП 002.М44-171 экз.
Поверкаосуществляется по документу МП 002.М44-17 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскоп атомно-силовой Keysight 5600LS. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 23.01.2017 г. Основные средства поверки: 1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 41678-09). Номинальное значение высоты выступов в шаговых структурах: 20; 110 нм. Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах: ±2; ±10 нм. Номинальное значение шага периодической структуры мер: 3 мкм. Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической структуры: ±0,01 мкм. 2 Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 33598-06). Номинальное значение шага шаговой структуры: 2 мкм. Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры: ±0,05 мкм. Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах: от 100 до 1400 нм. Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения высоты выступов в шаговых структурах: ±2 нм. 3 Объект-микрометр ОМО (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде: 590-63). Расстояние между серединами соседних делений 0,01 мм, расстояние между серединами десяти делений 0,10 мм. Наибольшее отклонение длины отдельных интервалов шкалы от номинальных значений: - между серединами соседних делений: 0,001 мм; - между серединами десяти делений: 0,002 мм. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью. Знак поверки наносится на переднюю панель корпуса микроскопа.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу атомно-силовому Keysight 5600LS Техническая документация «Keysight Technologies Inc.», США
Заявитель«Keysight Technologies Inc.», США Адрес: 4330 W Chandler Blvd, Chandler AZ 85226, United States Телефон: + 1 800 829-4444 Факс:+ 1 800 829-4433 Web-сайт: http://www.keysight.com E-mail: usa_orders@keysight.com
Испытательный центрФедеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46 Телефон: +7(495) 437-56-33; факс: +7(495) 437-31-47 E-mail: vniiofi@vniiofi.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.