| Описание | Принцип действия тестеров основан на сравнении с помощью быстродействующих аналого-цифровых преобразователей выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля (далее по тексту - ФК), формируемым тестером.
Тестеры применяются для комплексной автоматизированной проверки микросхем широкой номенклатуры методами функционального, алгоритмического контроля и параметрических измерений, а также для контроля и измерений параметров микросхем на пластинах и в корпусированном виде на стадиях разработки, испытаниях, производстве, входном контроле.
Тестеры C430 и C600 имеют одинаковую архитектуру построения, но имеют отличия в максимально возможном количестве аналогово/цифровых каналов. Тестер C430 позволяет использовать до 368 каналов, C600 – до 1024 каналов.
Тестеры обеспечивают снятие статических и динамических характеристик. Набор модулей позволяет проводить тестирование полупроводниковых компонентов цифрового, аналогового и смешанного типов.
Тестеры обеспечивают формирование входных воздействий на выводы интегральных микросхем (далее по тексту – ИМС) и полупроводниковые кристаллы на каждом канале в режимах:
импульсном с возвратом к нулю или единице с поканально-независимым заданием момента начала и окончания импульса;
потенциальном с поканально-независимым заданием момента переключения уровней и состояния.
Тестеры состоят из измерительного блока, стойки питания и управления, манипулятора измерительного блока. Измерительный блок построен по модульному принципу, в зависимости от назначения тестеры комплектуются следующими измерительными и функциональными модулями:
модули PE400D – каждый модуль включает в свой состав 16 независимых аналогово-цифровых измерительных каналов (каналы типов №№ 2, 3, 4, 5, 7). Общее количество каналов может составлять до 1024. Так же каждый модуль имеет по два измерительных источника питания (каналы типов № 1 и № 6) и 8-ми канальный модуль измерения временных параметров;
модули SAU688 – каждый модуль включает в свой состав 8 каналов источников питания средней мощности (каналы типов № 1 и № 2), в состав каждого источника питания входит измеритель силы и напряжения постоянного тока, 8 аналоговых каналов измерения напряжения постоянного тока DVM (каналы типа № 3), средства синхронизации и управления;
модули IPPS – включают в свой состав 4-х канальный источник питания (каналы типа № 1), в состав каждого источника входит измеритель силы (каналы типа № 3) и напряжения (каналы типа № 2) постоянного тока;
источник напряжения и силы постоянного тока высоковольтный HVS – включает в свой состав одноканальный источник питания высокого напряжения постоянно тока (каналы типа № 1) с измерителем напряжения (каналы типа № 2 и № 4) и силы постоянного тока (каналы типа № 3).
В зависимости от конфигурации тестеров, измерительный блок может быть размещен как на манипуляторе, на отдельной стойке напольного исполнения, также измерительный блок может быть совмещен со стойкой питания и управления. Измерительный блок имеет принудительное охлаждение.
Каналы всех функциональных и измерительных модулей выведены на специализированный интерфейс с нулевым усилием. Через загрузочную плату, контактирующую со специализированным интерфейсом производится подключение объекта контроля с тестерами.
Стойка питания и управления выполнена в виде шкафа и включает в свой состав:
систему вторичного электропитания, осуществляющую питание собственных модулей тестеров и объектов контроля;
вычислительную систему, содержащую специализированное программное обеспечение, которое осуществляет управление всеми модулями тестера;
параметрический измеритель общего назначения, осуществляющий выполнение задач контроля и диагностики.
Модификация (конфигурация) тестеров определяется установленными типами функциональных модулей и их количеством. Данная информация не отражается в обозначении.
Выбор той или иной установки производится пользователем на основе решаемых задач и необходимого количества каналов.
Общий вид тестеров, места пломбирования и нанесения знака поверки представлены на рисунках 1-3.
| $$$$$
Рисунок 1 – Общий вид тестера SPEA C430 (с головной частью), места пломбирования и нанесения знака поверки
Рисунок 2 – Общий вид тестера SPEA C430 (без головной части)
Рисунок 3 – Общий вид тестера SPEA C600, места пломбирования и нанесения знака поверки
| Программное обеспечение | Программное обеспечение (далее по тексту - ПО) тестеров включает общее программное обеспечение (ОПО) – операционную систему MS Windows XP/7 и встроенное специальное программное обеспечение (далее по тексту – СПО) – «ATOS».
СПО «ATOS» является метрологически значимым. Оно позволяет задавать параметры измерений. С помощью СПО проводится управление процессами измерений. Метрологические характеристики тестеров нормированы с учетом влияния СПО «ATOS».
Идентификационные данные СПО приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные СПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение | | Идентификационное наименование ПО | ATOS | | Номер версии (идентификационный номер ПО), не ниже | 2,7 | | Цифровой идентификатор ПО | - |
Метрологически значимая часть ПО тестеров и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от непреднамеренных и преднамеренных измерений.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений – «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
|
| Метрологические и технические характеристики | Метрологические и технические характеристики тестеров приведены в таблицах 2 и 3.
Таблица 2 – Общие метрологические характеристики
| Наименование характеристики | Значение | | Модуль PE400AD | | Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | от -2,5 до +14
от -2 до +6,5
от 0 до +5
от -0,5 до 2,5 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В:
для диапазона от -2,5 до +14 В
для диапазона от -2 до +6,5 В
для диапазона от 0 до +5 В
для диапазона от -0,5 до +2,5 В | ±0,0005∙Uв ± 0,008
±0,0002∙Uв ± 0,004
±0,0002∙Uв ± 0,003
±0,0002∙Uв ± 0,0015 | | Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА | от -28 до +28
от -2 до +2
от -0,2 до +0,2
от -0,02 до +0,02
от -0,002 до +0,002 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА:
для диапазона от -28 до +28 мА
для диапазона от -2 до +2 мА
для диапазона от -0,2 до +0,2 мА
для диапазона от -0,02 до +0,02 мА
для диапазона от 0,002 до +0,002 мА | ±0,005∙Iв ± 0,1
±0,001∙Iв ± 0,005
±0,001∙Iв ± 0,0005
±0,001∙Iв ± 0,00005
±0,001∙Iв ± 0,000005 | | Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В | от -2 до +6,5
от -2 до +14 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В:
для диапазона от -2 до +6,5 В
для диапазона от -2 до +14 В | ±0,0005∙Uизм ± 0,01
±0,0005∙Uизм ± 0,015 | | Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3, В | от -2 до +6,5
от 0 до +5
от -0,5 до +2,5 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3, В:
для диапазона от -2 до +6,5 В
для диапазона от 0 до +5 В
для диапазона от -2 до +14 В | ±0,0005∙Uизм ± 0,01
±0,0004∙Uизм ± 0,01
±0,0002∙Uизм ± 0,01 |
Продолжение таблицы 2
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4, В | от -3 до +14
от -1,5 до +7
от -0,75 до +3,5
-0,35 до +1,75 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4, В:
для диапазона от -3 до +14 В
для диапазона от -1,5 до +7 В
для диапазона от -0,75 до +3,5 В
для диапазона от -0,35 до +1,75 | ±0,001∙Uизм ± 0,008
±0,001∙Uизм ± 0,004
±0,001∙Uизм ± 0,003
±0,001∙Uизм ± 0,003 | | Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 4, мА | от -28 до +28
от -2 до +2
от -0,2 до +0,2
от -0,02 до +0,02
от -0,002 до +0,002 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 4, мА:
для диапазона от -28 до +28 мА
для диапазона от -2 до +2 мА
для диапазона от -0,2 до +0,2 мА
для диапазона от -0,02 до +0,02 мА
для диапазона от -0,002 до +0,002 мА | ±0,001∙Iизм ± 0,2
±0,001∙Iизм ± 0,01
±0,001∙Iизм ± 0,001
±0,001∙Iизм ± 0,0001
±0,001∙Iизм ± 0,00001 | | Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 5, В | от -3 до +14
от -1,5 до +7
от -0,75 до +3,5
-0,35 до +1,75 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 5, В:
для диапазона от -3 до +14 В
для диапазона от -1,5 до +7 В
для диапазона от -0,75 до +3,5 В
для диапазона от -0,35 до +1,75 В | ±0,001∙Uизм ± 0,008
±0,001∙Uизм ± 0,004
±0,001∙Uизм ± 0,003
±0,001∙Uизм ± 0,003 | | Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 5, мА | от -28 до +28
от -2 до +2
от -0,2 до +0,2
от -0,02 до +0,02
от -0,002 до +0,002 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 5, мА:
для диапазона от -28 до +28 мА
для диапазона от -2 до +2 мА
для диапазона от -0,2 до +0,2 мА
для диапазона от -0,02 до +0,02 мА
для диапазона от -0,002 до +0,002 мА | ±0,001∙Iизм ± 0,2
±0,001∙Iизм ± 0,01
±0,001∙Iизм ± 0,001
±0,001∙Iизм ± 0,0001
±0,001∙Iизм ± 0,00001 | | Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 6, В | от -2 до +20
от 0 до +25 |
Продолжение таблицы 2
| Наименование характеристики | Значение | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 6, В:
для диапазона от -2 до +20 В
для диапазона от 0 до +25 В | ±0,0005∙Uв ± 0,002
±0,0005∙Uв ± 0,003 | | Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 6, мА | от -500 до +500
от -250 до +250
от -25 до +25
от -2,5 до +2,5
от -0,25 до +0,25
от -0,025 до +0,025
от -0,005 до +0,005 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 6, мА:
для диапазона от -500 до +500 мА
для диапазона от -250 до +250 мА
для диапазона от -25 до +25 мА
для диапазона от -2,5 до +2,5 мА
для диапазона от -0,25 до +0,25 мА
для диапазона от -0,025 до +0,025 мА
для диапазона от -0,005 до +0,005 мА | ±0,0005∙Iв ± 5
±0,0005∙Iв ± 2,5
±0,0005∙Iв ± 0,25
±0,0005∙Iв ± 0,025
±0,0005∙Iв ± 0,0025
±0,0005∙Iв ± 0,00025
±0,0005∙Iв ± 0,00005 | | Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 7, В | от -2 до +20
от 0 до +25 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 7, В:
для диапазона от -2 до +20 В
для диапазона от 0 до +25 В | ±0,0005∙Uизм ± 0,004
±0,0005∙Uизм ± 0,004 | | Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 7, мА | от -500 до +500
от -250 до +250
от -25 до +25
от -2,5 до +2,5
от -0,25 до +0,25
от -0,025 до +0,025
от -0,005 до +0,005 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 7, мА:
для диапазона от -500 до +500 мА
для диапазона от -250 до +250 мА
для диапазона от -25 до +25 мА
для диапазона от -2,5 до +2,5 мА
для диапазона от -0,25 до +0,25 мА
для диапазона от -0,025 до +0,025 мА
для диапазона от -0,005 до +0,005 мА | ±0,0005∙Iизм ± 1,5
±0,0005∙Iизм ± 0,75
±0,0005∙Iизм ± 0,075
±0,0005∙Iизм ± 0,0075
±0,0005∙Iизм ± 0,00075
±0,0005∙Iизм ± 0,000075
±0,002∙Iизм ± 0,000015 | | Модуль SAU688 | | Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | от -100 до +100
от -50 до +50
от -20 до +20
от -10 до +10
от -5 до +5
от -2 до +2
от -1 до +1 |
Продолжение таблицы 2
| Наименование характеристики | Значение | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В:
для диапазона от –100 до 100 В
для диапазона от -50 до 50 В
для диапазона от -20 до 20 В
для диапазона от -10 до 10 В
для диапазона от -5 до 5 В
для диапазона от -2 до 2 В
для диапазона от -1 до 1 В | ±0,0005∙Uв ± 0,01
±0,0005∙Uв ± 0,005
±0,0005∙Uв ± 0,003
±0,0005∙Uв ± 0,002
±0,0005∙Uв ± 0,0015
±0,0005∙Uв ± 0,001
±0,0005∙Uв ± 0,0005 | | Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА | от -2000 до +2000
от -100 до +100
от -10 до +10
от -1 до +1
от -0,1 до +0,1
от -0,01 до +0,01 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА:
для диапазона от –2000 до +2000 мА
для диапазона от -100 до +100 мА
для диапазона от -10до +10 мА
для диапазона от -1 до +1 мА
для диапазона от -0,1 до +0,1 мА
для диапазона от 0,01 до + 0,01 мА | ±0,001∙Iв ± 0,5
±0,0005∙Iв ± 0,025
±0,0005∙Iв ± 0,0025
±0,0005∙Iв ± 0,00025
±0,0005∙Iв ± 0,000025
±0,0005∙Iв ± 0,00001 | | Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 2, мА | от -2000 до +2000
от -100 до +100
от -10 до +10
от -1 до +1
от -0,1 до +0,1
от -0,01 до +0,01 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 2, мА:
для диапазона от –2000 до +2000 мА
для диапазона от -100 до +100 мА
для диапазона от -10до +10 мА
для диапазона от -1 до +1 мА
для диапазона от -0,1 до +0,1 мА
для диапазона от 0,01 до + 0,01 мА | ±0,001∙ Iв ± 0,5
±0,0005∙Iв ± 0,025
±0,0005∙Iв ± 0,0025
±0,0005∙Iв ± 0,00025
±0,0005∙Iв ± 0,000025
±0,0005∙Iв ± 0,00001 | | Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3, В | от -100 до +100
от -50 до +50
от -20 до +20
от -5 до +5
от -2 до +2
от -1 до +1 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 3, мА:
для диапазона от -100 до +100 В
для диапазона от -50 до +50 В
для диапазона от -20 до +20 В
для диапазона от -5 до +5 В
для диапазона от -2 до +2 В
для диапазона от -1 до +1 В | ±0,0005∙Uизм ± 0,01
±0,0005∙Uизм ± 0,005
±0,0005∙Uизм ± 0,003
±0,0005∙Uизм ± 0,0015
±0,0005∙Uизм ± 0,001
±0,0005∙Uизм ± 0,0005 |
Продолжение таблицы 2
| Наименование характеристики | Значение | | Модуль IPPS | | Диапазон воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | от 0 до 20 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | ±0,001∙Uв ± 0,01 | | Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, А | от 0 до 128
от 0 до 64 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, А
для диапазона от 0 до 128 А
для диапазона от 0 до 64 А | ±0,002∙Iв ± 0,128
±0,002∙Iв ± 0,064 | | Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В | от 0 до 5
от 0 до 10
от 0 до 20 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В:
для диапазона от 0 до 5 В
для диапазона от 0 до 10 В
для диапазона от 0 до 20 В | ±0,0005∙Uизм ± 0,001
±0,0005∙Uизм ± 0,002
±0,0005∙Uизм ± 0,004 | | Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, А | от 0 до 16
от 0 до 32
от 0 до 64
от 0 до 128 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, А
для диапазона от 0 до 16 А
для диапазона от 0 до 32 А
для диапазона от 0 до 64 А
для диапазона от 0 до 128 А | ±0,005∙Iизм ± 0,016
±0,005∙Iизм ± 0,032
±0,005∙Iизм ± 0,064
±0,005∙Iизм ± 0,128 | | Источник напряжения и тока высоковольтный HVS | | Диапазоны воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | от 0 до 2500
от 0 до 1000
от 0 до 500
от 0 до 200 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений напряжения постоянного тока по каналам типа № 1, В | ±0,005∙Uв ± 0,001∙Uпред | | Диапазоны воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА | от 0 до 50
от 0 до 5
от 0 до 1
от 0 до 0,1 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведений силы постоянного тока по каналам типа № 1, мА | ±0,01∙Iв ± 0,001∙Iпред | | Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В | от 0 до 2500
от 0 до 1250
от 0 до 500
от 0 до 250 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 2, В | ±0,005∙Uизм ± 0,001∙Uпред |
Продолжение таблицы 2
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазоны измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, мА | от 0 до 50
от 0 до 25
от 0 до 10
от 0 до 5
от 0 до 2,5
от 0 до 1
от 0 до 0,5
от 0 до 0,2
от 0 до 0,1
от 0 до 0,05
от 0 до 0,02
от 0 до 0,01 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока по каналам типа № 3, мА | ±0,002∙ Iизм ± 0,001∙Iпред | | Диапазоны измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4, В | от 0 до 2500
от 0 до 1250
от 0 до 500
от 0 до 250 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока по каналам типа № 4, В | ±0,005∙Uизм ± 0,004∙Uпред | | Примечания
Iизм и Uизм – значение силы и напряжения постоянного тока измеренное при помощи тестера;
Iв и Uв – значение силы и напряжения постоянного тока воспроизведенное при помощи тестера;
Iпред и Uпред – верхний предел измерений (или воспроизведений) силы (или напряжения) постоянного тока |
Таблица 3 – Основные технические характеристики
| Наименование характеристики | Значение | | Максимальная нагрузка, нФ:
предел воспроизведения силы постоянного тока 0,1 мА
предел воспроизведения силы постоянного тока 1 мА
предел воспроизведения силы постоянного тока 5 мА
предел воспроизведения силы постоянного тока 50 мА | 33
47
47
47 | | Рабочие условия:
температура окружающего воздуха, °С
относительная влажность воздуха, % | от +15 до +25
65±15 | | Габаритные размеры (высота × длина × ширина), мм, не более | 2000 × 1500 × 1500 | | Масса, кг, не более | 1500 | | Средний срок службы, лет, не менее | 10 |
|
| Комплектность | Комплект поставки тестеров представлен в таблице 3.
Таблица 3 - Комплектность тестеров
| Наименование | Количество | | Тестер | 1 шт. | | Методика поверки | 1 экз. | | Паспорт | 1 экз. |
|
| Поверка |
осуществляется по документу МП 68066-17 «Тестеры полупроводниковых компонентов серий SPEA C430, SPEA С600. Методика поверки», утвержденному ООО «ИЦРМ» 18.04.2017 г.
Основные средства поверки:
калибратор универсальный 9100 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 25985-09);
мультиметр цифровой прецизионный Fluke 8508A (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 25984-14);
шунт токовый АКИП-7501 (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде № 49121-12);
делитель напряжений ДН-400 (диапазон измерений от 1 до 2,5 кВ, пределы допускаемой относительная погрешности ±0,1 %).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки в виде наклейки или оттиска поверительного клейма наносится в паспорт.
| | Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к тестерам полупроводниковых компонентов серий SPEA C430, SPEA С600
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия
ГОСТ 14014-91 Приборы и преобразователи измерительные цифровые напряжения, тока, сопротивления. Общие технические требования и методы испытаний
Техническая документация фирмы-изготовителя
|
| Заявитель | Фирма «SPEA S.p.A», Италия
Адрес: 16, Via Torino, 10088 Volpiano-Italy
Телефон: +39 011 98 25 400
Факс: +39 011 98 25 405
Web-сайт:http://www.spea.com
|
| Испытательный центр | разработок в области метрологии» (ООО «ИЦРМ»)
Адрес: 142700, Московская область, Ленинский район, г. Видное, Промзона тер. корп. 526
Телефон: +7 (495) 278-02-48
Web-сайт: www.ic-rm.ru
E-mail: info@ic-rm.ru
Аттестат аккредитации ООО «ИЦРМ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311390 от 18.11.2015 г.
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел./факс: +7 (495) 437-55-77/+7 (495) 437 56 66
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
|
|
