Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD

Описание

Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD — техническое средство с номером в госреестре 68090-17 и сроком свидетельства (заводским номером) 20.07.2022. Имеет обозначение типа СИ: J750Ex-HD.
Произведен предприятием: Фирма "Teradyne Inc.", США.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Номер в госреестре
НаименованиеСтенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем
Обозначение типаJ750Ex-HD
ПроизводительФирма "Teradyne Inc.", США
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер20.07.2022
НазначениеСтенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD (далее – стенды) предназначены для измерения вольт-амперных характеристик микросхем с высокой степенью интеграции.
ОписаниеСтенды представляют собой автоматизированную многоканальную аппаратуру для функционального и параметрического контроля, который осуществляется путем подачи сигналов напряжения и тока на выводы тестируемой микросхемы и измерения выходных сигналов напряжения и тока, или сравнении выходных сигналов с заданными (ожидаемыми) сигналами. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с выбранной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется измерительными каналами в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля. В режиме функционального контроля каждый из каналов выполняет измерения параметров микросхемы в определенной тестовой последовательности с заданием параметров амплитуды, положения фронта и спада выходных импульсов. Амплитуда импульса определяется значениями верхнего и нижнего уровней напряжения драйвера, положения фронтов и спадов импульсов задаются временными метками драйверов. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы, в которых задаются верхний и нижний уровни напряжения, и время контроля. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала, регулируемая по силе тока и уровням напряжения переключения полярности тока. Параметры функционального контроля устанавливаются независимо по каждому каналу. В режиме параметрических измерений используются источники-измерители PPMU, параметры которых задаются независимо по каждому каналу, а также общий источник-измеритель BPMU на цифровом канальном модуле, и измерительные источники питания. На тестируемый объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения). Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания DPS, HDDPS и HDVIS. Стенды состоят из измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки охлаждения, и управляющего компьютера. На верхнюю панель измерительного головного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. Внешний вид составных частей стендов приведен на рисунках 1, 2.
Рисунок 1 – Общий вид стендов
Рисунок 2 – Вид измерительного головного блока (а) место нанесения знака утверждения типа и знака поверки (б) схема пломбировки от несанкционированного доступа
Программное обеспечениеУстановленный на компьютере программный продукт IG-XL служит для разработки, отладки и исполнения программ тестирования, выполняет функции управления режимами, обработки и представления измерительной информации. Программа J750Maint предназначена для автоматизированной поверки стендов. Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений «низкий» по Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1. Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование IG-XLv. 3.50.50 и выше
Номер версии (идентификационный номер) J750Maintv. 7.60.50 и выше
Метрологические и технические характеристикиМетрологические и технические характеристики представлены в таблицах 2 и 3. Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
12
ГЕНЕРАТОР ТЕСТОВОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ
Максимальная длина тестовой последовательности, Мбит64
Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности, МГц400
Частота опорного сигнала, МГц100
Пределы допускаемой абсолютной погрешности частоты опорного сигнала, МГц±0,001
ДРАЙВЕР (ИСТОЧНИК НАПРЯЖЕНИЯ)
Диапазоны воспроизводимых уровней постоянного напряжения, В
высокий уровеньот –1,45 до +6,50
низкий уровеньот –1,50 до +6,45
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ±7,5
ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ PPMU
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения, Вот –1,5 до +6,5
Разрешение по постоянному напряжению, мкВ150
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения, мВ±5,0
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности ΔI воспроизведения и измерения силы постоянного тока воспроизведение измерение DI / RI ΔI DI / RI ΔI ±2 мкА / 0,1 нА ±0,028 мкА ±20 мкА / 1 нА ±0,14 мкА ±20 мкА / 1 нА ±0,14 мкА ±200 мкА / 10 нА ±1,4 мкА ±200 мкА / 10 нА 1,4 мкА ±2 мА / 100 нА ±14 мкА ±2 мА / 100 нА ±14 мкА ±50 мА / 2 мкА ±(0,002∙I + 0,2) мА 1) ±50 мА / 2 мкА ±(0,002∙I + 0,2) мА 1)
________________ 1) I – числовое значение силы тока в миллиамперах
Продолжение таблицы 2
12
ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ BPMU
Диапазоны DU / разрешение RU и пределы допускаемой абсолютной погрешности ΔU воспроизведения и измерения постоянного напряжения DU / RU ΔU ±2 В / 0,0625 мВ ±(0,001∙U + 0,0015) 1) ±5 В / 0,156 мВ ±(0,001∙U + 0,003) 1) ±10 В / 0,312 мВ ±(0,001∙U + 0,006) 1) ±24 В / 0,937 мВ ±(0,001∙U + 0,018) 1)
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности ΔI воспроизведения и измерения силы постоянного тока воспроизведение измерение DI / RI ΔI DI / RI ΔI ±2 мкА / 62,5 пА ±(0,005∙I + 0,11) мкА 2) ±20 мкА / 625 пА ±(0,002∙I + 0,12) мкА 2) ±200 мкА / 6,25 нА ±(0,001∙I + 0,25) мкА 2) ±200 мкА / 6,25 нА ±(0,002∙I + 0,3) мкА 2) ±2 мА / 62,5 нА ±(0,001∙I + 0,0016) мА 3) ±2 мА / 62,5 нА ±(0,001∙I + 0,002) мА 3) ±20 мА / 625 нА ±(0,001∙I + 0,016) мА 3) ±20 мА / 625 нА ±(0,001∙I + 0,02) мА 3) ±200 мА / 6,25 мкА ±(0,001∙I + 0,16) мА 3) ±200 мА / 6,25 мкА ±(0,001∙I + 0,2) мА 3)
КОМПАРАТОР
Диапазон уровней постоянного напряжения на входах, Вот –1,5 до +6,5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения, мВ±7,5
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ DPS
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, Вот 0 до +10,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ±(0,001∙U +10) 4)
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности ΔI измерения силы постоянного тока DI / RI ΔI 5) от 0 до 50 мкА / 12,2 нА ±(0,002∙I + 0,1) мкА 2) от 0 до 500 мкА / 122 нА ±(0,001∙I + 1) мкА 2) от 0 до 10 мА / 2,44 мкА ±(0,001∙I + 0,025) мА 3) от 0 до 100 мА / 24,4 мкА ±(0,001∙I + 0,25) мА 3) от 0 до 1000 мА / 244 мкА ±(0,001∙I + 2,5) мА 3)
____________ 1) U – числовое значение напряжения в вольтах 2) I – числовое значение силы тока в микроамперах 3) I – числовое значение силы тока в миллиамперах 4) U – числовое значение напряжения в милливольтах 5) типовые справочные значения
Продолжение таблицы 2
12
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ HDDPS
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, Вот –2,0 до +11,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ±(0,001∙U + 4) 1)
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности ΔI измерения силы постоянного тока DI / RI ΔI 2) ±50 мкА / 3,82 нА ±(0,001∙I + 0,1) мкА 3) ±500 мкА / 38,2 нА ±(0,001∙I + 0,5) мкА 3) ±10 мА / 763 нА ±(0,001∙I + 0,01) мА 4) ±100 мА / 7,63 мкА ±(0,001∙I + 0,1) мА 4) ±1000 мА / 244 мкА ±(0,001∙I + 2) мА 4)
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ HDVIS
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, Вот –10,0 до +10,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ±(0,001∙U + 5) 1)
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности ΔI измерения силы постоянного тока DI / RI ΔI 2) ±5 мкА / 195,3 пА ±(0,002∙I + 0,025) мкА 3) ±50 мкА / 1,953 нА ±(0,002∙I + 0,125) мкА 3) ±500 мкА / 0,5 мкА ±(0,002∙I + 0,5) мкА 3) ±5 мА / 195,3 нА ±(0,002∙I + 0,005) мА 4) ±50 мА / 1,953 мкА ±(0,002∙I + 0,05) мА 4) ±200 мА / 7,8125 мкА ±(0,002∙I + 0,2) мА 4)
____________ 1) U – числовое значение напряжения в вольтах 2) типовые справочные значения 3) I – числовое значение силы тока в микроамперах 4) I – числовое значение силы тока в миллиамперах
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
12
Габаритные размеры (длина / ширина / высота), мм
измерительный головной блок830 / 690 /740
трансформаторный блок800 / 540 / 1120
Масса, кг, не более
измерительный головной блок250
трансформаторный блок227
Продолжение таблицы 3
12
Параметры электропитания (трехфазная сеть)
частота сети, Гц50±0,5
напряжение, В380±19
Потребляемая мощность, кВ∙А, не более15
Рабочие условия применения
температура окружающей среды, °Сот 18 до 28
относительная влажность воздуха, %, не более80
Электромагнитная совместимостьГОСТ Р МЭК 61326-1-2014
Безопасность ГОСТ IEC 61010-1-2014
Комплектностьприведена в таблице 4. Таблица 4 – Комплектность стендов
Наименование и обозначениеКол-во, шт.
Измерительный головной блок1
Трансформаторный блок1
Инженерная тележка 1 (по заказу)
Поворотный стол 1 (по заказу)
Управляющий компьютер с периферийными устройствами и установленными программами IG-XL, J750Maint1
Руководство по эксплуатации1
Методика поверки J750МП-20171
Поверкаосуществляется по документу J750МП-2017 «ГСИ. Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD. Методика поверки», утвержденному ЗАО «АКТИ-Мастер» 30.05.2017 г. Средства поверки: - мультиметр Agilent 3458A, регистрационный номер 25900-03; - частотомер электронно-счетный 53181A, регистрационный номер 26211-03. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью. Знак поверки наносится лицевую панель головного измерительного блока в виде наклейки (место нанесения показано на рисунке 2) и/или на свидетельство о поверке.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к стендам измерительным для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия. ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы. ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1·10-16 ÷ 30 А. ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты. ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014. Оборудование электрическое для измерения, управления и лабораторного применения. Требования электромагнитной совместимости. Часть 1. Общие требования. ГОСТ IEC 61010-1-2014. Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Часть 1. Общие требования.
ЗаявительФирма «Teradyne Inc.», США Адрес: 600 Riverpark Drive, North Reading, MA 01864, USA Тел.: +1/978370-2700 Е-mail: customercare@teradyne.com
Испытательный центрЗакрытое акционерное общество «АКТИ-Мастер» (ЗАО «АКТИ-Мастер») Адрес: 127254, г. Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5 Тел./факс: +7(495)926-71-85 Web-сайт: http://www.actimaster.ru E-mail: post@actimaster.ru Аттестат аккредитации ЗАО «АКТИ-Мастер» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311824 от 14.10.2016 г.