|
Изображение |  | Номер в госреестре | |
| Наименование | Системы оптические измерительные |
| Обозначение типа | TRScan и TRScan Premium |
| Производитель | Фирма "TRIMOS S.A.", Швейцария |
| Описание типа | Скачать |
| Методика поверки | Скачать |
| Межповерочный интервал (МПИ) | 1 год |
| Допускается поверка партии | Нет |
| Наличие периодической поверки | Да |
| Сведения о типе | Срок свидетельства |
| Срок свидетельства или заводской номер | 01.06.2024 |
| Назначение | Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium (далее по тексту - системы) предназначены для измерений параметров шероховатости и микроконтура поверхностей.
|
| Описание | Принцип действия системы основан на сканировании измеряемой поверхности оптическим датчиком. Результаты измерений выводятся на монитор компьютера (в виде профилей, числовых значений параметров шероховатости и геометрических параметров микроконтура).
Система состоит из чугунного основания, которое устанавливается на три опоры, моторизованного предметного стола и вертикальной колонны с моторизованным приводом. На вертикальную колонну устанавливается оптический датчик.
Общий вид систем представлен на рисунках 1 и 2.
Система может оснащаться следующими оптическими датчиками: датчиком точечной хроматической конфокальной микроскопии CCMP (рис. 3), датчиком цифровой голографической микроскопии DHM (рис. 4) и датчиком линейной хроматической конфокальной микроскопии CCML (рис. 5).
Датчики CCMP модификаций CL1, CL2, CL3, CL100 µm, CL300 µm, CL350 µm, CL400 µm, CL600 µm, CL1000 µm, CL100 µm 90°, CL300 µm 90°, CL350 µm 90°, CL400 µm 90°, CL600 µm 90°, CL1000 µm 90° и датчики CCML модификации CCM-L1 0,2mm могут измерять как микроконтур, так и шероховатость поверхности. Датчики CCMP модификаций CL4, CL5, CL6, CL2 mm, CL3 mm, CL6 mm, CL10 mm, CL25 mm, CL2 mm 90°, CL3 mm 90°, CL6 mm 90°, CL10 mm 90°, CL25 mm 90° и датчики CCML модификаций CCM-L1 1mm и CCM-L1 4mm могут измерять только микроконтур поверхности. Датчики DHM модификаций DHMS1, DHMS2 и DHMS3 могут измерять только шероховатость поверхности.
Система выпускается в следующих модификациях: TRScan и TRScan Premium, которые отличаются внешним видом, техническими и метрологическими характеристиками. Системы модификации TRScan могут комплектоваться только датчиками CCMP, системы модификации TRScan Premium могут комплектоваться датчиками CCMP, DHM и CCML.
Система модификации TRScan выпускается двух исполнений: с одно- или двухосевым моторизованным предметным столом.
Пломбировка системы от несанкционированного доступа не предусмотрена.
Рисунок 1 - Общий вид систем оптических измерительных TRScan
Рисунок 2 - Общий вид систем оптических измерительных TRScan Premium
Рисунок 3 - Общий вид датчика точечной хроматической конфокальной микроскопии (CCMP)
Рисунок 4 - Общий вид датчика цифровой голографической микроскопии (DHM)
Рисунок 5 - Общий вид датчиков хроматической конфокальной микроскопии (CCML)
|
| Программное обеспечение | Системы имеют в своем составе программное обеспечение (ПО) Nanoware Measure, осуществляющее измерительные функции, и Nanoware Analysis, осуществляющее функции расчета параметров шероховатости и микроконтура поверхности. ПО Nanoware Analysis имеет 5 модулей, позволяющих рассчитывать различные параметры шероховатости: LT, XT, STT, XTT и PRO.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение | | Идентификационное наименование ПО | Nanoware Measure | Nanoware Analysis | | Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | 2.1 | 7.4.8164 | | Цифровой идентификатор ПО | - | - |
Программное обеспечение и его окружение являются неизменными, средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Уровень защиты программного обеспечения приборов «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
|
| Метрологические и технические характеристики | Таблица 2 - Технические характеристики систем
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация | TRScan | TRScan Premium | | Моторизованные оси с измерительной системой | X/Z или X/Y/Z | X/Y/Z | | Диапазон перемещений, мм:
по оси X
по оси Y
по оси Z | от 0 до 100
от 0 до 1001)
от 0 до 240 | от 0 до 100
от 0 до 100
от 0 до 240 | | Точность позиционирования по осям (без учета оптического датчика), мкм | 1 | 1 | | Совместимые оптические датчики | Точечная конфокальная хроматическая микроскопия (CCMP) | Точечная конфокальная хроматическая микроскопия (CCMP), линейная конфокальная хроматическая микроскопия (CCML), цифровая голографическая микроскопия (DHM) | | Габаритные размеры (без учета оптического датчика), мм, не более:
длина
ширина
высота | 698
505
700 | | Масса (без учета оптического датчика), кг, не более | 100 | | Параметры электрического питания (от внешней сети):
напряжение переменного тока, В
частота переменного тока, Гц |
50/60 | | Условия эксплуатации:
температура окружающей среды, °С
относительная влажность воздуха, %, не более | от +15 до +25
65 | | 1) - при наличии моторизованной оси Y |
Таблица 3 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL1, CL2 и CL3
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация оптического датчика | CL1 | CL2 | CL3 | | Верхний предел измерений по оси Z, мкм | 130 | 400 | 1400 | | Разрешение по оси Z, нм | 8 | 22 | 60 | | Модель увеличительного стекла | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG70 | MG140 | MG70 | | Диаметр пятна, мкм | 1,9 | 2,8 | 2,3 | 3,4 | 6,9 | 4 | 8 | | Разрешение по оси X и Y, мкм | 0,9 | 1,4 | 1,2 | 1,7 | 3,5 | 2 | 4 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
при Ra > 0,1 мкм | 10
3 | 10
3 | -
3 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм | ±0,04 | ±2·d | | d - разрешение датчика по оси Z, мкм |
Таблица 4 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL4, CL5 и CL6
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация оптического датчика | CL4 | CL5 | CL6 | | Верхний предел измерений по оси Z, мкм | 4000 | 12000 | 24000 | | Разрешение по оси Z, нм | 130 | 400 | 780 | | Модель увеличительного стекла | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 | | Диаметр пятна, мкм | 8 | 14 | 14 | 22,5 | 16 | 28 | | Разрешение по оси X и Y, мкм | 4 | 7 | 7 | 12,3 | 8 | 14 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм | ±2·d | | d - разрешение датчика по оси Z, мкм |
Таблица 5 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL100 µm, CL300 µm, CL350 µm и CL400 µm
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация оптического датчика | CL100 µm | CL300 µm | CL350 µm | CL400 µm | | Верхний предел измерений по оси Z, мкм | 100 | 300 | 350 | 400 | | Разрешение по оси Z, нм | 3 | 10 | 12 | 14 | | Диаметр пятна, мкм | 3,5 | 5 | 5 | 4 | | Разрешение по оси X и Y, мкм | 1,8 | 2,5 | 2,5 | 2 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
при Ra > 0,1 мкм | 10
3 | 10
3 | 10
3 | 10
3 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм | ±0,04 |
Таблица 6 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL600 µm, CL1000 µm, CL2 mm и CL3 mm
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация оптического датчика | CL600 µm | CL1000 µm | CL2 mm | CL3 mm | | Верхний предел измерений по оси Z, мкм | 600 | 1000 | 2000 | 3000 | | Разрешение по оси Z, нм | 20 | 35 | 70 | 100 | | Диаметр пятна, мкм | 4 | 3,5 | 12,5 | 12 | | Разрешение по оси X и Y, мкм | 2 | 1,8 | 6 | 6 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
при Ra > 0,1 мкм | 10
3 | -
3 | -
- | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм | ±2·d | | d - разрешение датчика по оси Z, мкм |
Таблица 7 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL6 mm, CL10 mm и CL25 mm
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация оптического датчика | CL6 mm | CL10 mm | CL25 mm | | Верхний предел измерений по оси Z, мкм | 6000 | 10000 | 25000 | | Разрешение по оси Z, нм | 200 | 300 | 800 | | Диаметр пятна, мкм | 16 | 24 | 25 | | Разрешение по оси X и Y, мкм | 8 | 12 | 12 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм | ±2·d | | d - разрешение датчика по оси Z, мкм |
Таблица 8 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL100 µm 90°, CL300 µm 90°, CL350 µm 90° и CL400 µm 90°
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация оптического датчика | CL100 µm 90° | CL300 µm 90° | CL350 µm 90° | CL400 µm 90° | | Верхний предел измерений по оси Z, мкм | 100 | 300 | 350 | 400 | | Разрешение по оси Z, нм | 3 | 10 | 12 | 14 | | Диаметр пятна, мкм | 3,5 | 5 | 5 | 4 | | Разрешение по оси X и Y, мкм | 1,8 | 2,5 | 2,5 | 2 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
при Ra > 0,1 мкм | 10
3 | 10
3 | 10
3 | 10
3 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм | ±0,04 | ±4·d | | d - разрешение датчика по оси Z, мкм |
Таблица 9 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL600 µm 90°, CL1000 µm 90°, CL2 mm 90° и CL3 mm 90°
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация оптического датчика | CL600 µm 90° | CL1000 µm 90° | CL2 mm 90° | CL3 mm 90° | | Верхний предел измерений по оси Z, мкм | 600 | 1000 | 2000 | 3000 | | Разрешение по оси Z, нм | 20 | 35 | 70 | 10 | | Диаметр пятна, мкм | 4 | 3,5 | 12,5 | 12 | | Разрешение по оси X и Y, мкм | 2 | 1,8 | 6 | 6 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
при Ra > 0,1 мкм | 10
3 | -
3 | -
- | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм | ±4·d | | d - разрешение датчика по оси Z, мкм |
Таблица 10 - Метрологические и технические характеристики датчиков точечной конфокальной хроматической микроскопии (CCMP) модификаций CL6 mm 90°, CL10 mm 90° и CL25 mm 90°
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация оптического датчика | CL6 mm 90° | CL10 mm 90° | CL25 mm 90° | | Верхний предел измерений по оси Z, мкм | 6000 | 10000 | 25000 | | Разрешение по оси Z, нм | 200 | 300 | 800 | | Диаметр пятна, мкм | 16 | 24 | 25 | | Разрешение по оси X и Y, мкм | 8 | 12 | 12 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм | ±4·d | | d - разрешение датчика по оси Z, мкм |
Таблица 11 - Метрологические и технические характеристики датчиков линейной конфокальной хроматической микроскопии (CCML)
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация оптического датчика | CCM-L1 0,2mm | CCM-L1 1mm | CCM-L1 4mm | | Верхний предел измерений по оси Z, мкм | 200 | 950 | 3900 | | Ширина полосы, мм | 0,96 ± 0,01 | 1,91 ± 0,01 | 4,78 ± 0,01 | | Расстояние между линиями профилями, мкм | 5 | 10 | 25 | | Разрешение по оси Z, нм | 20 | 80 | 320 | | Диаметр пятна, мкм | 2 | 4 | 10 | | Разрешение по оси X и Y, мкм | 1 | 2 | 5 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
при Ra > 0,1 мкм | -
3 | -
- | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений по оси Z, мкм | ±0,08 | ±0,3 | ±1,2 |
Таблица 12 - Метрологические и технические характеристики датчиков цифровой голографической микроскопии (DHM)
| Наименование характеристики | Значение | | Модификация оптического датчика | DHMS1 | DHMS2 | DHMS3 | | Верхний предел измерений по оси Z, мкм | 3 | 7 | 7 | | Разрешение по оси Z, нм | 0,1 | 0,1 | 0,1 | | Поле зрения, мм | 0,25×0,25 | 0,33×0,33 | 0,33×0,33 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, %:
при Ra ≤ 0,1 мкм
при Ra > 0,1 мкм | 10
- | 10
- | 10
- |
|
| Комплектность | Таблица 12 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество | | Система оптическая измерительная TRScan или TRScan Premium | - | 1 шт. | | Оптический датчик выбранной модификации | - | по заказу1) | | Компьютер с двумя мониторами | - | 1 шт. | | Руководство по эксплуатации | - | 1 экз. | | Методика поверки | МП 203-67-2017 | 1 экз. | | 1) - но не менее 1 шт. |
|
| Поверка | осуществляется по документу МП 203-67-2017 «Системы оптические измерительные TRScan и TRScan Premium. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 22 сентября 2017 г.
Основные средства поверки:
меры шероховатости с регулярным профилем 1-го (для мер с номинальным значением Ra от 0,1 до 0,4 мкм) или 2-го разряда (для мер с номинальным значением Ra до 0,1 мкм и св. 0,4 мкм) по ГОСТ 8.296-2015;
мера для поверки приборов для измерений шероховатости поверхности PEN 10-1 (Рег. № 52740-13).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде оттиска клейма или на корпус системы в виде наклейки.
| | Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к системам оптическим измерительным TRScan и TRScan Premium
ГОСТ 8.296-2015 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм
Техническая документация фирмы-изготовителя |
| Заявитель | Trimos SA, Швейцария
Адрес: av. de Longemalle 5 CH-1020, Renens, Switzerland
Тел.: +41 (21) 633-01-01
Факс: +41 (21) 633-01-02
Web-сайт: www.trimos.com
E-mail: office@trimos.ch
|
| Испытательный центр | Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел.: +7 (495) 437-55-77
Факс: +7 (495) 437-56-66
Web-сайт: www.vniims.ru
E-mail: office@vniims.ru
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
| |
