Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A

Описание

Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A — техническое средство с номером в госреестре 71894-18 и сроком свидетельства (заводским номером) на 12 шт. с зав.№ Agilent 4071А: JP10D00266, JP10D00284, JP10D00293; Agilent 4072A: JP10G20134, JP10G20151, JP20G20170, JP20G20185, JP20G20221; Agilent 4073A: JP10H30120, JP10H30123, JP10H30130, JP10H30129. Имеет обозначение типа СИ: Agilent 4071А, 4072A, 4073A.
Произведен предприятием: Фирма "Agilent Technologies, Japan, Ltd.", Япония.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
71894-18
НаименованиеСистемы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем
Обозначение типаAgilent 4071А, 4072A, 4073A
ПроизводительФирма "Agilent Technologies, Japan, Ltd.", Япония
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерна 12 шт. с зав.№ Agilent 4071А: JP10D00266, JP10D00284, JP10D00293; Agilent 4072A: JP10G20134, JP10G20151, JP20G20170, JP20G20185, JP20G20221; Agilent 4073A: JP10H30120, JP10H30123, JP10H30130, JP10H30129
Назначение Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A (далее – системы) предназначены для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока, измерений электрической емкости и электрической проводимости при исследовании тестовых структур полупроводниковых кристаллов.
ОписаниеПринцип действия систем основан на подаче входных электрических сигналов с программируемыми параметрами на входы исследуемого объекта и измерении выходных электрических сигналов объекта при помощи аналогово-цифровых преобразователей. Конструктивно системы состоят из основной стойки с присоединенным измерительным блоком, манипулятора и рабочей станции (управляющей ПЭВМ), состоящей из монитора и процессорного блока. В состав измерительного блока систем входят модули: - универсальные источники и измерители напряжения и тока SMU: MPSMU (для моделей систем 4071А, 4072A и 4073А) и HRSMU (для модели системы 4073А): - платы коммутирования на выводы проб-карты; - программируемый цифровой вольтметр DVM (Agilent 3458А); - измеритель емкости и проводимости CMU (RLC измеритель Agilent E4980 или 4284A). В состав универсальных источников и измерителей напряжения и тока MPSMU и HRSMU входят быстродействующие и прецизионные АЦП. Общий вид систем, место нанесения знака утверждения типа, место пломбировки от несанкционированного доступа приведены на рисунке 1. Рисунок 1 - Общий вид системы
Программное обеспечениеПрограммное обеспечение (ПО) предназначено для управления работой системы. Идентификационные данные (признаки) ПО приведены в таблице 1. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «низкий» по Р 50.2.077-2014. Таблица 1 – Идентификационные данные (признаки) ПО
Наименование программного обеспеченияЗначение
Идентификационное наименование ПОsys4070
Номер версии (идентификационный номер) ПОне ниже C.04.02
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)-
Метрологические и технические характеристикиприведены в таблицах 2 и 3. Таблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Универсальные источники и измерители напряжения и тока MPSMU
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, В от -100 до +100
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ: в диапазоне (2 В в диапазоне (20 В в диапазоне (40 В в диапазоне (100 В((0,0005·U+1 мВ+R·I)* ((0,0005·U+10 мВ+R·I) ((0,0005·U+20 мВ+R·I) ((0,0005·U+50 мВ+R·I)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мВ: в диапазоне (2 В в диапазоне (20 В в диапазоне (40 В в диапазоне (100 В((0,0004·U+0,8 мВ+R·I) ((0,0004·U+8 мВ+R·I) ((0,0004·U+16 мВ+R·I) ((0,0004·U+40 мВ+R·I)
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока, мАот -100 до +100
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: в диапазоне (1 нА в диапазоне (10 нА в диапазоне (100 нА в диапазоне (1 мкА в диапазоне (10 мкА в диапазоне (100 мкА в диапазоне (1 мА в диапазоне (10 мА в диапазоне (100 мА±(0,01·I+0,006 нА)** ±(0,01·I+0,034 нА)** ±(0,002·I+0,35 нА) ±(0,002·I+1,7 нА) ±(0,0012·I+0,015 мкА) ±(0,0012·I+0,15 мкА) ±(0,0012·I+1,5 мкА) ±(0,0012·I+15 мкА) ±(0,0012·I+150 мкА)
Продолжение таблицы 2
Наименование характеристикиЗначение
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мА: в диапазоне (1 нА в диапазоне (10 нА в диапазоне (100 нА в диапазоне (1 мкА в диапазоне (10 мкА в диапазоне (100 мкА в диапазоне (1 мА в диапазоне (10 мА в диапазоне (100 мА((0,01·I+0,006 нА)** ((0,01·I+0,033 нА)** ((0,002·I+0,300 нА) ((0,002·I+1,2 нА) ((0,001·I+0,01 мкА) ((0,001·I+0,1 мкА) ((0,001·I+1 мкА) ((0,001·I+10 мкА) ((0,001·I+100 мкА)
Универсальные источники и измерители напряжения и тока HRSMU
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, В от -100 до +100
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ: в диапазоне (2 В в диапазоне (20 В в диапазоне (40 В в диапазоне (100 В((0,0003·U+0,7 мВ+R·I) ((0,0003·U+4 мВ+R·I) ((0,0003·U+8 мВ+R·I) ((0,0005·U+20 мВ+R·I)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мВ: в диапазоне (2 В в диапазоне (20 В в диапазоне (40 В в диапазоне (100 В((0,0002·U+0,5 мВ+R·I) ((0,0003·U+3 мВ+R·I) ((0,0003·U+6 мВ+R·I) ((0,0005·U+15 мВ+R·I)
Диапазон воспроизведения (измерения) силы постоянного тока, мАот -100 до +100
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мА: в диапазоне ±10 пА в диапазоне ±100 пА в диапазоне (1 нА в диапазоне (10 нА в диапазоне (100 нА в диапазоне (1 мкА в диапазоне (10 мкА в диапазоне (100 мкА в диапазоне (1 мА в диапазоне (10 мА в диапазоне (100 мА((0,6·I+1 пА) ((0,2·I+1 пА) ((0,01·I+3,9 пА) ((0,01·I+0,009 нА) ((0,0012·I+0,06 нА) ((0,0012·I+0,5 нА) ((0,0007·I+6 нА) ((0,0007·I+0,05 мкА) ((0,0006·I+0,6 мкА) ((0,0006·I+5 мкА) ((0,0012·I+60 мкА)
Продолжение таблицы 2
Наименование характеристикиЗначение
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока быстродействующими и прецизионными АЦП, мА: в диапазоне ±10 пА в диапазоне ±100 пА в диапазоне (1 нА в диапазоне (10 нА в диапазоне (100 нА в диапазоне (1 мкА в диапазоне (10 мкА в диапазоне (100 мкА в диапазоне (1 мА в диапазоне (10 мА в диапазоне (100 мА((0,6·I+1 пА) ((0,2·I+1 пА) ((0,01·I+3,4 пА) ((0,01·I+0,008 нА) ((0,0012·I+0,05 нА) ((0,0012·I+0,45 нА) ((0,0006·I+5 нА) ((0,0006·I+0,045 мкА) ((0,0006·I+0,5 мкА) ((0,0006·I+4 мкА) ((0,001·I+50 мкА)
Программируемый цифровой вольтметр DVM
Диапазон измерений напряжения постоянного тока, Вот -100 до +100
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока, мВ: в диапазоне (0,1 В в диапазоне (1 В в диапазоне (10 В в диапазоне (100 Вдля моделей 4071А, 4072Адля модели 4073А
Измеритель емкости и проводимости CMU
Диапазон измерений электрической емкости, пФот 102 до 105
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости, %2
Диапазон измерений электрической проводимости, Смот 10-4 до 10-2
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической проводимости, % 1
___________ * U – напряжение постоянного тока, мВ; I - сила тока постоянного тока, мА; R- электрическое сопротивление платы коммутирования, Ом ** Погрешность при сопротивлении нагрузки менее 1 ГОм
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц220±10 50±1
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, оС - относительная влажность окружающего воздуха, % - атмосферное давление, кПаот +18 до +28 от 20 до 70 от 97 до 105
Габаритные размеры, мм, не более: основная стойка - высота - ширина - длина измерительный блок - высота - ширина - длина1600 600 906 422 640 642
манипулятор - высота - ширина - длина рабочая станция - высота - ширина - длина1600 1400 1600 450 230 510
Масса, кг, не более: - основная стойка - измерительный блок - манипулятор - рабочая станция270 75 420 35
КомплектностьКомплектность системы приведена в таблице 4. Таблица 4 - Комплектность системы Наименование Обозначение Количество, шт. 1 Система автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем в составе: Agilent 4071А, или Agilent 4072A, или Agilent 4073A 1 1.1 Основная стойка 1 1.2 Измерительный блок 1 1.3 Манипулятор 1 1.4 Рабочая станция 1 2 Руководство по эксплуатации 1 3 Методика поверки 651-18-012 1
Поверкаосуществляется по документу 651-18-012 «Инструкция. Системы автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИФТРИ» 25 января 2018 г. Основные средства поверки: - мультиметр 3458А, регистрационный номер 25900-03 в Федеральном информационном фонде; - меры электрического сопротивления однозначные Р3030, регистрационный номер 18445-99 в Федеральном информационном фонде; - меры электрического сопротивления измерительные Р4015, Р4016, Р4017, Р4018, регистрационный номер 7791-80 в Федеральном информационном фонде; - меры емкости образцовые Р597, регистрационный номер 2684-70 в Федеральном информационном фонде; - набор мер емкости образцовых 3-го разряда Е1-3, регистрационный номер 8174-88 в Федеральном информационном фонде; - набор мер сопротивления образцовых Е1-5, регистрационный номер 8175-81 в Федеральном информационном фонде. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска поверительного клейма.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к системам автоматизированного измерения электрических параметров компонентов интегральных схем Agilent 4071А, 4072A, 4073A ГОСТ 8.022-91 ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от 1·10-16 до 30 А ГОСТ 8.027-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы ГОСТ 8.371-80 ГСИ. Государственный первичный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений электрической емкости Техническая документация фирмы-изготовителя
Заявитель Фирма «Agilent Technologies Japan, Ltd.», Япония Адрес: Hachioji Semiconductor Test Division 9-1, Takakura-cho, Hachioji-shi Tokyj, 192-8510 Japan Телефон: 0120-477-111 Факс: 0120-56-5154 Web-сайт: www.keysight.com
Испытательный центрФедеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений» (ФГУП «ВНИИФТРИ») Адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский р-н, п/о Менделеево Юридический адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский р-н, рабочий поселок Менделеево, промзона ВНИИФТРИ, корпус 11 Телефон (факс): 8(495) 526-63-00 Web-сайт: www.vniiftri.ru E-mail: office@vniiftri.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИФТРИ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30002-13 от 11.05.2018 г.