Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407

Описание

Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407 — техническое средство с номером в госреестре 71948-18 и сроком свидетельства (заводским номером) 27.07.2024. Имеет обозначение типа СИ: EDA 407.
Произведен предприятием: Фирма "InProcess Instruments", Германия.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
71948-18
НаименованиеАнализаторы газа в электронных устройствах
Обозначение типаEDA 407
ПроизводительФирма "InProcess Instruments", Германия
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер27.07.2024
НазначениеАнализаторы газа в электронных устройствах EDA 407 (далее – анализаторы газа) предназначены для качественного и количественного анализа заполняющего газа (H2O, He, Ar, H2, N2, O2, CO, CO2, CH4) в герметично закрытых электронных устройствах и применяются в машиностроении, в авиакосмической промышленности, нанотехнологическом производстве и научных исследованиях.
ОписаниеАнализаторы газа представляют собой стационарные приборы, в основу работы которых положен метод масс-спектрометрического анализа, в ходе которого анализируемая проба газа подвергается ионизации электронным ударом с энергией движущих электронов до 80 эВ. Полученные ионы впоследствии подвергаются разделению в квадрупольном фильтре масс по их соотношению массы к заряду (m/z), которое в свою очередь определяется траекториями движения ионов, задаваемыми переменным электрическим полем . В ходе анализа образцы прокалываются металлической иглой в одной из двух испытательных камер с ультравысоким вакуумом. Камеры изготовлены из нержавеющей стали со специальным покрытием. Газ из образца заполняет камеру и затем поступают в анализатор, где находиться квадрупольный масс-спектрометр. Одновременно с анализом газа происходит его откачка турбомолекулярным насосом. Испытательные камеры соединены с калибровочными блоками. Каждый из блоков позволяет определенному количеству газа с определенным составом заполнять анализатор как для определения коэффициента калибровки, так и для подготовки образца через испытательную камеру. Конструкция анализаторов газа включает в себя следующие основные блоки: - квадрупольный масс-анализатор, сопряженный с двумя испытательными камерами; - испытательные камеры, отличающиеся размером, предназначены для ввода малых и более крупных электронных устройств соответственно. Испытательные камеры снабжены системой вскрытия электронных устройств путем прокола с помощью иглы. Испытательные камеры соединены с квадрупольным масс-спектрометром и калибровочным блоком. Испытательные камеры и блоки их соединения с масс-спектрометром могут быть нагреты до температуры плюс 130 °C; - стойка с электронной аппаратурой, предназначенная для индикации и контроля за состоянием вакуумной системы, уровнем давления, температуры в испытательных камерах и масс-спектрометре. В верхней части стойки расположен блок индикации и управления турбонасосом (БИУ); - генератор и датчик точки росы, предназначенные для калибровки анализатора газа по содержанию воды. Генератор увлажняет входящий сухой газ до заданного значения влажности. Точное измерение значения содержания воды проводится с помощью датчика точки росы конденсационным методом, при выполнении измерений которым наличие или отсутствие росы на конденсационной поверхности фиксирует оптическая система; Относительная влажность воздуха рассчитывается по эмпирическим выражениям исходя из значения температуры точки росы воды. - ВЧ-генератор QMH 400-5; - регулятор давления сжатого воздуха; - система водяного охлаждения. Конструктивно анализаторы газа выполнены в виде крупногабаритного прибора, состоящего из нескольких блоков, описанных выше. Управление процессом измерения и обработки выходной информации осуществляется с помощью ПО, установленного на персональном компьютере. Общий вид анализаторов газа представлен на рисунке 1. Место нанесения знака поверки обозначено стрелкой. Пломбирование анализаторов газа не предусмотрено. Рисунок 1 – Общий вид анализаторов газа в электронных устройствах EDA 407
Программное обеспечениеАнализаторы газа оснащены автономным программным обеспечением ПО IPI QuardStar, которое управляет работой анализаторов газа и отображает, обрабатывает и хранит полученные данные. Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1. К метрологически значимой части ПО относится исполняемый файл IPI QuardStar.exe. Метрологически значимая часть ПО выполняет управление анализатором газа, установкой режимов работы анализатора газа, качественным и количественным анализом, проводит построение калибровочных зависимостей, обработку и хранение результатов измерений, диагностику прибора. Конструкция анализаторов газа исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» по Р 50.2.077-2014. Таблица 1 – Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОIPI QuardStar
Номер версии (идентификационный номер) ПОне ниже 1.0
Цифровой идентификатор ПО-
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон массовых чисел, а.е.м.от 0 до 300
Предел допускаемого относительного СКО выходного сигнала, (10
Диапазон измерений относительной влажности, %от 0 до 50
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений относительной влажности, %±10
Диапазон измерений молярных долей газов (He, Ar, H2, N2, O2, CO, CO2, CH4), %от 0,001 до 100
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений молярных долей газов (He, Ar, H2, N2, O2, CO, CO2, CH4), %±10
Диапазон показаний температуры точки росы воды, °Сот -40 до +10
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Параметры электрического питания: - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц230±23 50(1
Потребляемая мощность, В(А, не более2000
Габаритные размеры масс-спектрометра, мм, не более: - длина - ширина - высота Габаритные размеры стойки с электронным оборудованием, мм, не более: - длина - ширина - высота700 986 1330 600 800 1350
Масса, кг, не более: - масс-спектрометр - стойка с электронным оборудованием237 120
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, оС - относительная влажность, %от +15 до +40 от 20 до 75
Средний срок службы, лет10
Наработка на отказ, ч, не менее5000
КомплектностьТаблица 4 – Комплектность средства измерений
Наименование ОбозначениеКоличество
Анализатор газа в электронных устройствах EDA 407-1 шт.
Инструкция по эксплуатации-1 экз.
Методика поверки МП 212-241-20171 экз.
Поверкаосуществляется по документу МП 212-241-2017 «ГСИ. Анализаторы газа в электронных устройствах EDA 407. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 26 марта 2018 г. Основные средства поверки: - стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей бензол, метил, этил- и винилбензил, диметилбензолы (БЛ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10767-2016; - стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей инертные, постоянные газы (ИП-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10768-2016; - стандартный образец состава искусственной газовой смеси с кислородсодержащими и азотсодержащими газами (КА-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10769-2016; - стандартный образец состава искусственной газо-жидкостной смеси, содержащей углеводороды (СЖ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10770-2016; - стандартный образец состава искусственной газовой смеси с серосодержащими газами (СС-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10771-2016; - стандартный образец состава искусственной газовой смеси, содержащей углеводородные газы (УВ-ВНИИМ-ЭС) ГСО 10772-2016; - государственный эталон единиц относительной влажности газов 2-го разряда по ГОСТ 8.5472009 «Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений влажности газов». Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых анализаторов газа с требуемой точностью. Знак поверки в виде наклейки наносится на анализатор в соответствии с рисунком 1.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к анализаторам газа в электронных устройствах EDA 407 Техническая документация изготовителя «InProcess Instruments», Германия
ЗаявительФирма «InProcess Instruments», Германия Адрес: Sophie-Germain-Str. 1, 28201 Bremen, Germany Телефон (факс): +49 (0) 421 52593 0, +49 (0) 421 52593 10 Web-сайт: http://www.in-process.com E-mail: mail@in-process.com
Испытательный центрФедеральное Государственное Унитарное Предприятие «Уральский научно-исследовательский институт метрологии» Адрес: 620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4 Телефон (факс): +7 (343) 350-26-18, +7 (343) 350-20-39 Web-сайт: http://www.uniim.ru E-mail: uniim@uniim.ru Аттестат аккредитации ФГУП «УНИИМ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311373 от 10.11.2015 г.