|
Вид эталона: | ГПСЭ |
| Номер в госреестре: | гэт183-2022 |
| Наименование эталона: | ГПСЭ единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей |
| Хранитель эталона: | ФГБУ "ВНИИМС" |
| Состав эталона: | Первичный эталон состоит из:- автоматизированной установки на базе интерферометра Физо с реализованным методом фазовых шагов для измерений отклонений формы плоских оптических поверхностей «ФИЗО»;- эталонной интерференционной установки на базе Физо-интерферометрии для измерений параметров отклонений формы выпуклых и вогнутых сферических поверхностей «ФТИ»;- эталонной интерференционной установки с ортогональным ходом лучей для измерений отклонений формы выпуклых сферических поверхностей «УИП».Вспомогательное оборудование:- меры отклонений от плоскостности диаметрами 100, 200 и 280 мм;- комплект мер отклонений от сферичности для выпуклых и вогнутых поверхностей c разными номинальными радиусами кривизны поверхности R;- мера отклонения от сферичности диаметром 25,4 мм. |
| Способ создания: | Создан хозспособом с привлечением контрагентов и покупкой составляющих |
| Вид измерения: | Измерения геометрических величин |
| Область применения: | Оптическая промышленность, микроэлектроника, приборостроение |
| Описание: | Измерение отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе деформации формы интерференционных полос возникающих в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов |
| Номинальные значения, диапазон: | единицы длины, от 0,002 до 2 мкм |
| Межаттестационный интервал |
| Межаттестанционный интервал (лет): | 5 |
| Межаттестанционный интервал (месяцев): | 0 |
| Ученый-хранитель |
| ФИО: | Новиков Денис Александрович |
| Телефон: | ( 495) 781 - 86 - 53 |
| Email: | dnovikov@vniims.ru |
| Стандартная неопределённость |
| Стандартная неопределённость, оценённая по типу A: | 0,8 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 50 до 100 мм)1,4 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 100 до 200 мм)1,5 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 200 до 280 мм)3,0 нм (для оптических вогнутых сферических поверхностей размером от 25 до 250 мм)3,0 нм (для оптических выпуклых сферических поверхностей размером от 25 до 80 мм)5,0 нм (для оптических выпуклых сферических поверхностей размером св. 80 до 250 мм) |
| Стандартная неопределённость, оценённая по типу B: | 0,9 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 50 до 100 мм)1,3 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 100 до 200 мм)2,7 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 200 до 280 мм)9,5 нм (для оптических вогнутых сферических поверхностей размером от 25 до 250 мм)9,5 нм (для оптических выпуклых сферических поверхностей размером от 25 до 80 мм)28,0 нм (для оптических выпуклых сферических поверхностей размером св. 80 до 250 мм) |
| Суммарная стандартная неопределённость: | 1,2 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 50 до 100 мм)1,9 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 100 до 200 мм)3,1 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 200 до 280 мм)10,0 нм (для оптических вогнутых сферических поверхностей размером от 25 до 250 мм)10,0 нм (для оптических выпуклых сферических поверхностей размером от 25 до 80 мм)30,0 нм (для оптических выпуклых сферических поверхностей размером св. 80 до 250 мм) |
| Расширенная неопределённость при коэффициенте охвата k=2: | 2,4 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 50 до 100 мм)3,8 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 100 до 200 мм)6,2 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 200 до 280 мм)20,0 нм (для оптических вогнутых сферических поверхностей размером от 25 до 250 мм)20,0 нм (для оптических выпуклых сферических поверхностей размером от 25 до 80 мм)60,0 нм (для оптических выпуклых сферических поверхностей размером св. 80 до 250 мм) |
| Характеристики точности |
| Номинальные значения, диапазон: | единицы длины, от 0,002 до 2 мкм |
| Оценка случайной погрешности воспроизведения единиц: | 0,8 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 50 до 100 мм)1,4 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 100 до 200 мм)1,5 нм (для оптических плоских поверхностей размером от 200 до 280 мм)10,0 нм (для оптических вогнутых сферических поверхностей размером от 25 до 250 мм)10,0 нм (для оптических выпуклых сферических поверхностей размером от 25 до 80 мм)10,0 нм (для оптических выпуклых сферических поверхностей размером св. 80 до 250 мм) |
| Оценка неисключённой систематической погрешности воспроизведения: | |
| Сопровождающие документы |
| Номер стандарта: | Приказ Росстандарта № 3189 от 15.12.2022 |
| Наименование стандарта: | Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонений от плоскостности и сферичности оптических поверхностей |
| Наименование приказа: | Приказ Росстандарта № 378 от 16.02.2022 |
| Дата приказа: | 16.02.2022 |
| Наличие технической и иной документации на ГЭ: | Комплект документов по Р 50.2.078-2011 |
| Публикации: | Лысенко В.Г., Табачникова Н.А., Новиков Д.А. Государственный первичный специальный эталон единицы длины дляпараметров отклонений отплоскостности оптических поверхностей размером до200 мм, Законодательная и прикладная метрология. 2015. №6(139). С. 10-12. Новиков Д.А., Иванникова Н.В. Совершенствование государственного первичного специального эталона ГЭТ 183-2010. Акустооптические и радиолокационные методы измерений и обработки информации Материалы 11-й Международной научно-технической конференции. Российское НТОРЭС им. А.С. Попова. 2018. С. 203-205.Новиков Д.А., Е.А. Милованова, Н.В. Иванникова, Н.А. Табачникова. Государственный первичный специальный эталон единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей ГЭТ 183-2019. Измерительная техника №11, 2019. 3-6 |
| Создание и Техническое состояние |
| Организация-изготовитель: | ФГУП "ВНИИМС" |
| Способ создания: | Создан хозспособом с привлечением контрагентов и покупкой составляющих |
| Год выпуска: | 2007 |
| Год утверждения (переутверждения): | 2022 |
| Год последней аттестации: | 2021 |
| Первоначальная (восстановительная) стоимость, руб. (с учетом переоценки на 01.01.2003): | 3000 |
| Норма амортизации (износа), %: | 0 |
| Начисленная амортизация (износ): | 0 |
| Средняя стоимость обслуживания в год, руб.: | 1200 |
| Техническое состояние и способ использования: | Работоспособен. Используется самостоятельно |
| Обеспечение единства измерений, участие в программе CIPM MRA |
| Международные сличения: | COOMET.L-S15 |
| Дата и участники последних сличений: | COOMET.L-S15 |
| Планируемые, очередные сличения: | Ключевые в рамках КООМЕТ -2014 |
| Прочая информация |
| Способ учета (в составе основных средств, МБП, за балансом): | В составе основных средств |
| sortkey(Нет обозначения на сайте): | 2022 |
| Источник приобретения: | Бюджетные средства, средства ФГУП "ВНИИМС" |
| Примечание: | Передача размера единицы длины отклонений от плоскостности оптических поверхностей исходным средствам измерений Украины и Республики Беларусь |
| Статус: | Действует |
|
