Профилометр оптический TMS-100

Описание

Профилометр оптический TMS-100 — техническое средство с номером в госреестре 52087-12 и сроком свидетельства (заводским номером) зав.№ 0127586. Имеет обозначение типа СИ: TMS-100.
Произведен предприятием: Фирма "Polytec GmbH", Германия.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Профилометр оптический TMS-100.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Файл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Профилометр оптический TMS-100.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Номер в госреестре
НаименованиеПрофилометр оптический
Обозначение типаTMS-100
ПроизводительФирма "Polytec GmbH", Германия
Описание типаСкачать
Методика поверкиФайл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерзав.№ 0127586
НазначениеПрофилометр оптический TMS-100 (далее – профилометр) предназначен для бесконтактных измерений высоты профиля поверхности плоских шероховатых и/или отражающих объектов, а также для измерения расстояния между двумя или более плоскими поверхностями, разнесенными по высоте до 70 мм.
ОписаниеПринцип действия профилометра основан на интерференции белого света, отраженного от объекта и опорного зеркала. Профилометр является вертикально сканирующим интерферометром белого света. Оптическая часть профилометра выполнена по схеме интерферометра Майкельсона с использованием широкого параллельного пучка света и телецентрической оптической системы для построения изображения объекта. В предметное плечо интерферометра устанавливается исследуемый объект. Только для тех точек объекта, для которых оптическая длина пути излучения совпадает с оптической длиной пути в опорном плече интерферометра, создается контрастная интерференционная картина. Для остальных точек объекта контраст полос резко падает, т.к. используется источник света с малой длиной когерентности (источник белого света). Далее вся оптическая система профилометра перемещается в вертикальном направлении z, перпендикулярном плоскости (x, y) расположения образца, и последовательно плоскость за плоскостью сканирует объект по высоте. Так как в профилометре используются параллельные пучки света и телецентрическая оптическая система с малой числовой апертурой, то он может измерять объекты только с небольшими градиентами профиля поверхности. Однако за счет прецизионной системы перемещения интерферометра по вертикали профилометр позволяет измерять высоту объектов типа «ступеньки» с высокой точностью и в большом динамическом диапазоне. Информация, зарегистрированная видеокамерой, в оцифрованном виде поступает в персональный компьютер (ПЭВМ), где с помощью программы TMS производится ее автоматическая обработка. Результаты измерений в виде двумерных (или трехмерных) профилей исследуемых объектов, псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на мониторе компьютера. Видеоизображение объекта отображается на экране жидкокристаллического монитора в режиме реального времени, что позволяет настроить область измерения непосредственно на данном видеоизображении. Все настройки выполняются в программе TMS, установленной на персональном компьютере. Конструктивно профилометр выполнен из трех элементов: интерферометра (оптическая система профилометра), персонального или промышленного компьютера (в зависимости от комплекта поставки) и жидкокристаллического монитора. Основным элементом профилометра является интерферометр, выполненный в виде стационарного настольного прибора, подключаемого к персональному компьютеру. В зависимости от предметного столика, которым комплектуется интерферометр возможны две конфигурации прибора: стандартная (предметный столик не имеет подвижек и занимает всю область наблюдения) и конфигурация с системой ХУ-позиционирования (применяется двухкоординатный предметный столик, с направляющими вдоль осей х и у), что позволяет выполнять измерения более крупных объектов с последующей программной склейкой полученных результатов измерений. Управление прибором осуществляется с помощью программного обеспечения, установленного в персональный компьютер. Рисунок 1 – Внешний вид профилометра оптического TMS-100 1 - Предупреждающая метка прибора; 2 - Сетевые тумблеры; 3 - Сетевой разъем (розетка для стандартного шнура питания со встроенными предохранителями); 4 - Идентификационная метка (На идентификационной метке кроме прочей информации находится серийный номер прибора); 5 - Интерфейс USB (Universal Serial Bus, type B); 6 - Интерфейс IEEE-1394 CAMERA (подключение FireWire). Рисунок 2 – Профилометр вид сзади
Программное обеспечениеДля управления профилометром используется оригинальное программное обеспечение TMS, разработанное для операционной системы Microsoft Windows XP (Vista). Программное обеспечение является защищенным: системный блок персонального компьютера оборудован закрывающейся на замок панелью, при входе в программное обеспечение необходимо ввести логин и пароль. Никакие изменения кода программы невозможны. Обновления программного обеспечения производятся производителем путем выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям. Программное обеспечение является открытой системой. Программное обеспечение соответствует EN ISO 13485 и FDA QSR и содержит алгоритм расчета профиля поверхности по данным, измеренным профилометром, изменить алгоритм может только производитель. Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1: Таблица 1
Наименование программного обеспечения Идентификационное наименование Программного обеспечения Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения
Topography Measurement SystemTMS Software2.10x03b43caeCRC-32
Идентификация ПО осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении прибора. Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен наличием пароля. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристики Метрологические и технические характеристики профилометров приведены в таблице 2. Таблица 2
Наименование характеристики прибораЗначение
Диапазон измерения линейных размеров по высоте вдоль оси Z, мм 0 - 70
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров по высоте вдоль оси Z, мкм: 0÷0,005 мм; 0,005÷0,05 мм; 0,05÷70 мм0,5 4,0 7,5
Диапазоны измерения линейных размеров в поперечном сечении XY, мм - изображение регистрируется камерой scA 640 - изображение регистрируется камерой scA 100038 × 28 37 × 28
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров в поперечном сечении XY, мкм - изображение регистрируется камерой scA 640 - изображение регистрируется камерой scA 1000± 58 ± 36
Рабочая длина волны, нм525
Габаритные размеры интерферометра, мм, не более580 × 340 × 372
Масса интерферометра, кг, не более30
Потребляемая мощность, Вт, не более40
Напряжение питания, В при частоте, Гц(100 - 240) ± 10 % 50/60
Условия эксплуатации: - диапазон температур окружающей среды, °С - диапазон относительной влажности воздуха, % - диапазон атмосферного давления, кПа5 - 35 35 - 85 75 - 106
КомплектностьТаблица 3
НаименованиеКоличество, шт
Интерферометр TMS-1001
Компьютер (настольный или промышленный)1
Устройства управления и ввода информации (манипулятор мышь, клавиатура)1
ЖК монитор1
сетевой кабель для подключения монитора1
сетевой кабель2
Программное обеспечениеTMS1
Электронный ключ (Dongle)1
Кабель USB1
Кабель IEEE-1394 FireWire1
Планка M44
Испытательный объект Polytec1
Торцевой ключ (размер 2 мм)1
Руководство по эксплуатации1
Методика поверки 1
Поверкаосуществляется по документу «Профилометры оптические TMS-100. Методика поверки МП 42.Д4-12», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 24 февраля 2012 г. Основные средства поверки: 1 Меры длины штриховые, класс точности 5 по ГОСТ 12069-90. - Метрологические характеристики: - Номинальная длина 60мм - Допускаемое отклонение от номинального значения меры 22,0 мкм 2 Меры длины концевые плоскопараллельные, класс точности 1 по ГОСТ 9038-90
Номинальные значения длины концевых мер, ммДопускаемые отклонения длины от номинального значения, мкм
Св. 0,9 до 10± 0,20
Св. 10 до 25± 0,30
Св. 25 до 50± 0,40
3 Вторичный эталон ВЭТ 113-2-09 (Рабочий эталон в области измерения параметров шероховатости поверхности в составе трех мер высоты неровности и меры периода и глубины профиля поверхности). Метрологические характеристики: - Номинальное значение высоты ступеньки 1,781 мкм - Расширенная неопределенность аттестованного значения высоты ступеньки 0,011 мкм
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометрам оптическим TMS-100 Техническая документация фирмы “Polytec GmbH”, Германия Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
ЗаявительФирма “Polytec GmbH”, Германия Polytec Platz 1-7, 76337 Waldbronn, Germany Тел.: +49 (0) 7243 604-0 Факс: +49 (0) 7243 69944 info@polytec.de  
Испытательный центрГосударственный центр испытаний средств измерений федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ»), аттестат аккредитации государственного центра испытаний (испытательной, измерительной лаборатории) средств измерений № 30003-08 от 30.12.2008 г. Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46. Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47 E-mail: vniiofi@vniiofi.ru