|
Изображение | |
| Номер в госреестре | |
| Наименование | Стенды измерительные для СБИС |
| Обозначение типа | Verigy V93000 Pin Scale 1600 |
| Производитель | Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия |
| Описание типа | Скачать |
| Методика поверки | Файл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС» |
| Межповерочный интервал (МПИ) | 1 год |
| Допускается поверка партии | Нет |
| Наличие периодической поверки | Да |
| Сведения о типе | Заводской номер |
| Срок свидетельства или заводской номер | на 2 шт. с зав.№ исп. ATH: MY04600968, исп. CTH: MY04600777 |
| Назначение | Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 предназначены для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
|
| Описание | Принцип работы стендов измерительных для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов Pin Scale 1600 (PS1600) в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов PS1600 в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности (ТП) 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B) и DCS DPS32 (E8013CS).
Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 выполнены в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 имеют два варианта исполнения измерительного головного блока: ATH (A-test head) и CTH (Compact test head). Внешний вид стендов измерительных для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 в исполнениях ATH и CTH представлен на рисунке ниже.
Внешний вид стенда измерительного для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
В состав измерительного головного блока в зависимости от варианта исполнения входят следующие основные части:
– универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, максимальное количество 8 и 16 шт., всего до 1024 и 2048 универсальных измерительных каналов соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются высоковольтный драйвер и два высоковольтных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий АЦП BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
– одноканальные платы прецизионных источников-измерителей напряжения и силы тока HPPMU, максимальное количество 1 и 2 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН;
– платы источников питания MS DPS (E9711A/B) в зависимости от конфигурации 4-х или 8-ми канальные, максимальное количество 1 и 2 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН;
– платы источников питания DCS DPS32 (E8013CS) 32-х канальные, максимальное количество 8 и 16 шт. соответственно для вариантов исполнения АТН и СТН.
По условиям эксплуатации стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 соответствует группе 2 ГОСТ 22261-94 с рабочим диапазоном температур от 20 до 30 оС.
|
| Программное обеспечение | Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств стенда, а также обработку и документирование измерительной информации.
Общие сведения о программном обеспечении приведены в таблице ниже.
| уровень защиты (класс риска) | «низкий» по Р50.2.077-2014 (класс A по WELMEC 7.2) | | идентификационное наименование | SmarTest | | идентификационный номер версии | 7.1.4.12 и выше |
|
| Метрологические и технические характеристики | | диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности | от 2,5 до 31250 нс | | пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
длительности Т вектора тестовой последовательности, нс | ± 15∙10-6∙Т | | диапазон установки временных меток формирования
выходных импульсов D1–D8, стробирующих импульсов R1–R8, нс | от минус 4∙Т до + 12∙Т | | крайние значения временных меток | минус 6,3 мкс; + 19 мкс | | разрешение временных меток | 1 пс | | пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1–D8 и R1–R8 | ± 150 пс | | максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера | | при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,6 нс | | при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,7 нс | | при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,8 нс | | минимальная длительность выходных импульсов драйвера | | при амплитуде 1,0 В | 0,7 нс | | при амплитуде 1,8 В | 0,8 нс | | при амплитуде 3,0 В | 0,9 нс | | максимальная длительность фронта выходных импульсов высоковольтного драйвера | | при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 9 нс | | при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 250 нс | | максимальная длительность спада выходных импульсов высоковольтного драйвера | | при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 10,5 нс | | при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 30 нс |
| диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера | от минус 1,5 до + 6,5 В | | разрешение уровней напряжения драйвера | 1 мВ | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера | ± 5 мВ | | выходное сопротивление драйвера | от 47,5 до 52,5 Ом | | диапазон воспроизводимых уровней напряжения высоковольтного драйвера | | диапазон VIL/VIH | от 0,0 до + 6,5 В | | диапазон VHH | от + 6,0 до + 13,4 В | | разрешение уровней напряжения высоковольтного драйвера | 1 мВ | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения высоковольтного драйвера | ± 15 мВ | | выходное сопротивление высоковольтного драйвера | | при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В | от 45 до 55 Ом | | при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В | максимум 10 Ом | | диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора | от минус 1,5 до + 6,5 В | | разрешение уровней напряжения компаратора | 1 мВ | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором | ± 15 мВ | | диапазон установки уровней напряжения высоковольтного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах высоковольтного компаратора | от минус 3,0 до + 13,4 В | | разрешение уровней напряжения высоковольтного компаратора | 1 мВ | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения высоковольтным компаратором | | | при уровнях напряжения от 0 до 8 В | ± 20 мВ | | при уровнях напряжения от минус 3,0 до 13,4 В | ± 50 мВ | | диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора | от минус 1,5 до + 6,5 В | | диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора | от минус 1,0 до + 1,0 В | | разрешение уровней напряжения дифференциального компаратора | 1 мВ | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором | ± 15 мВ | | диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) | от минус 25 до + 25 мА | | разрешение силы тока активной нагрузки | 12,5 мкА | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мкА | ± (1·10-2 ∙I + 75 мкА) | | диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В | | при силе тока в пределах ± 1 мА | от минус 1,5 до + 6,5 В | | при силе тока в пределах ± 25 мА | от минус 1,0 до + 5,5 В | | пределы воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU | | при силе тока в пределах ± 1 мА | от минус 2,0 до + 6,5 В | | при силе тока в пределах ± 40 мА | от минус 2,0 до + 5,75 В | | разрешение воспроизведения напряжения PMU | 200 мкВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | ± (3 мВ + I·R), R = 1 Ом | | разрешение измерения напряжения PMU | 75 мкВ | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | | в диапазоне от минус 2,0 до + 6,5 В | ± (4 мВ + I·R), R = 1 Ом | | в диапазоне от 0,0 до + 3,3 В | ± (2 мВ + I·R), R = 1 Ом | | пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600
не более 1,6 А) | 2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА | | разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU | | на пределе 2 мкА | 1 нА | | на пределе 10 мкА | 5 нА | | на пределе 100 мкА | 50 нА | | на пределе 1 мА | 0,5 мкА | | на пределе 40 мА | 20 мкА | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I
источником-измерителем PMU, нА (мкА) | | на пределе 2 мкА | ± (5·10-3·I + 40 нА) | | на пределе 10 мкА | ± (5·10-3·I + 100 нА) | | на пределе 100 мкА | ± (5·10-3·I + 500 нА) | | на пределе 1 мА | ± (5·10-3·I + 5 мкА) | | на пределе 40 мА | ± (5·10-3·I + 50 мкА) | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I
источником-измерителем PMU, нА (мкА) | | на пределе 2 мкА | ± (5·10-3·I + 10 нА) | | на пределе 10 мкА | ± (5·10-3·I + 50 нА) | | на пределе 100 мкА | ± (5·10-3·I + 200 нА) | | на пределе 1 мА | ± (5·10-3·I + 1,25 мкА) | | на пределе 40 мА | ± (5·10-3·I + 50 мкА) | | пределы измерения напряжения АЦП BADC | | в стандартном режиме | от минус 3,0 до + 8,0 В | | в высоковольтном режиме | от минус 6,0 до + 13,4 В | | разрешение измерения напряжения АЦП BADC | | | в стандартном режиме | 75 мкВ | | в высоковольтном режиме | 150 мкВ | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения АЦП BADC | | в стандартном режиме | ± 1 мВ | | в высоковольтном режиме | ± 10 мВ | | входное сопротивление АЦП BADC | более 100 МОм | | пределы воспроизведения и измерения напряжения U прецизионным источником-измерителем HPPMU | | подключение через плату PS1600 | от минус 1,5 до + 6 В | | подключение через разъем UTILITY pogo block | от минус 5 до + 8 В | | разрешение воспроизведения и измерения напряжения HPPMU | 250 мкВ |
| пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | | подключение через плату PS1600 | ± (2 мВ + I·R), R = 1 Ом | | подключение через разъем UTILITY pogo block | ± 2 мВ | | пределы воспроизведения и измерения силы тока I
источником-измерителем HPPMU | 5; 200 мкА; 5; 200 мА | | разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU | | на пределе 5 мкА | 250 пА | | на пределе 200 мкА | 6 нА | | на пределе 5 мА | 250 нА | | на пределе 200 мА | 6 мкА | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU, нА (мкА) | | на пределе 5 мкА | | | при подключении через плату PS1600 | ± (1·10-3·I + 50 нА) | | при подключении через разъем UTILITY pogo block | ± (1·10-3·I + 10 нА) | | на пределе 200 мкА | ± (1·10-3·I + 200 нА) | | на пределе 5 мА | ± (1·10-3·I + 10 мкА) | | на пределе 200 мА | ± (1·10-3·I + 200 мкА) | | пределы воспроизведения напряжения U измерительным источником питания MS DPS | от минус 8 до + 8 В | | разрешение воспроизведения напряжения MS DPS | 300 мкВ | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U, мВ, измерительным источником питания MS DPS при силе тока нагрузки I, А | | в 4-х канальном режиме | ± (1·10-3∙U + 4 мВ + I·R),
R = 4 мОм | | в 8-ми канальном режиме | ± (1·10-3∙U + 2 мВ + I·R),
R = 4 мОм | | максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 4-х канальном режиме | | при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В | от минус 1,5 до + 8,0 А | | при воспроизведении напряжения от + 7 до + 8 В | от минус 1,5 до + 4,0 А | | при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В | от минус 4,0 до + 1,5 А | | максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 8-и канальном режиме | | при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В | от минус 1,5 до + 4,0 А | | при воспроизведении напряжения от +7 до + 8 В | от минус 1,5 до + 2,0 А | | при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В | от минус 2,0 до + 1,5 А | | пределы измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS | | в 4-х канальном режиме | 100 мкА; 1; 10 мА; 0,3; 8 А | | в 8-ми канальном режиме | 0,01; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А | | разрешение измерения силы тока MS DPS в 4-х канальном режиме | | на пределе 100 мкА | 5 нА | | на пределе 1 мА | 50 нА | | на пределе 10 мА | 500 нА | | на пределе 0,3 А | 15 мкА | | на пределе 8 А | 150 мкА | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS в 4-х канальном режиме, нА (мкА) | | на пределе 100 мкА | ± (1·10-3·I + 100 нА) |
| на пределе 1 мА | ± (1·10-3·I + 1 мкА) | | на пределе 10 мА | ± (1·10-3·I + 10 мкА) | | на пределе 0,3 А | ± (1·10-3·I + 300 мкА) | | на пределе 8 А | ± (1·10-3·I + 20 мА) | | разрешение измерения силы тока MS DPS в 8-ми канальном режиме | | на пределе 10 мкА | 500 пА | | на пределе 100 мкА | 5 нА | | на пределе 1 мА | 50 нА | | на пределе 10 мА | 500 нА | | на пределе 0,3 А | 15 мкА | | на пределе 4 А | 150 мкА | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS в 8-ми канальном режиме, нА (мкА) | | на пределе 10 мкА | ± (1·10-3·I + 10 нА) | | на пределе 100 мкА | ± (1·10-3·I + 100 нА) | | на пределе 1 мА | ± (1·10-3·I + 1 мкА) | | на пределе 10 мА | ± (1·10-3·I + 10 мкА) | | на пределе 0,3 А | ± (1·10-3·I + 300 мкА) | | на пределе 4 А | ± (1·10-3·I + 10 мА) | | пределы воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32 | от 0 до + 7 В | | разрешение воспроизведения напряжения DCS DPS32 | 200 мкВ | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32 | ± 3 мВ | | максимальная сила тока в нагрузке DCS DPS32 | | при воспроизведении напряжения до + 3,0 В | от минус 1,5 до + 1,5 А | | при воспроизведении напряжения до + 3,6 В | от минус 1,2 до + 1,2 А | | при воспроизведении напряжения до + 7,0 В | от минус 0,5 до + 0,5 А | | пределы измерения силы тока DCS DPS32 | 100 мкА; 2; 50 мА; 1,5 А | | разрешение измерения силы тока DCS DPS32 | | на пределе 100 мкА | 5 нА | | на пределе 2 мА | 100 нА | | на пределе 50 мА | 2,5 мкА | | на пределе 1,5 А | 100 мкА | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания DCS DPS32, нА (мкА) | | на пределе 100 мкА | ± (1·10-3·I + 100 нА) | | на пределе 2 мА | ± (1·10-3·I + 2 мкА) | | на пределе 50 мА | ± (1·10-3·I + 50 мкА) | | на пределе 1,5 А | ± (1·10-3·I + 1,59 мА) | | ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | | габаритные размеры головного блока с манипулятором в зависимости от варианта исполнения (высота × ширина × глубина), мм | | ATH | 1850 × 880 × 1920 | | CTH | 1880 × 1290 × 2270 | | габаритные размеры установки водяного охлаждения в зависимости от варианта исполнения (высота × ширина × глубина), мм | | E2760FU | 440× 240 × 650 | | E2760FAL | 950 × 520 × 870 | | Лист № 8 | | Всего листов 10 |
| масса головного блока с манипулятором в зависимости от варианта исполнения, не более | | ATH | 610 кг | | CTH | 1118 кг | | масса установки водяного охлаждения в зависимости от варианта исполнения, не более | | E2760FU | 50 кг | | E2760FAL | 185 кг | | напряжение питания частотой от 50 Гц | | ATH (сеть однофазного тока) | от 200 до 240 В | | CTH (сеть трехфазного тока) | от 360 до 440 В | | потребляемая мощность в зависимости от варианта исполнения, не более | | ATH | 7 кВ∙А | | CTH | 15 кВ∙А | | температура окружающей среды | от 20 до 30 °С | | относительная влажность при температуре 30 °С, не более | 70 % | | электромагнитная совместимость | по ГОСТ Р 51522-99 | | безопасность | по ГОСТ Р 52319-2005 |
|
| Комплектность | | наименование и вариант исполнения | обозначение | кол-во | | измерительный головной блок | | ATH | E8015A зав. № MY04600968 | 1 шт. | | CTH | E8014A зав. № MY04600777 | 1 шт. | | манипулятор | | ATH | Е6979UC | 1 шт. | | CTH | Е6979LC | 1 шт. | | установка водяного охлаждения | | ATH | E2760FU | 1 шт. | | CTH | E2760FAL | 1 шт. | | программа управляющая | SmarTest | 1 шт. | | компьютер | HP xw4100 | 1 шт. | | Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600. Руководство по эксплуатации | | 1 шт. | | методика поверки | МП 076/551-2014 | 1 шт. | | программа для поверки | | ATH | PR_POV_968 | 1 шт. | | CTH | PR_POV_777 | 1 шт. | | комплект оснастки для поверки в составе | | устройство согласования | ТСКЯ.418133.251 (Вер.2) | 1 шт. | | устройство согласования | ТСКЯ.418133.253 | 1 шт. | | устройство согласования | ТСКЯ.418133.254 (Вер.1) | 1 шт. | | устройство согласования | ТСКЯ.418133.256 (Вер.1) | 1 шт. | | плата коммутационная | E7010E | 1 шт. | | шлюз LAN/GPIB | Agilent E5810A | 1 шт. |
|
| Поверка | осуществляется по документу МП 076/551-2014 «Стенды измерительные для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600», утвержденному ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва» 28.10.2014 г.
Средства поверки
| наименование | метрологические характеристики | | частотомер электронно-счетный Agilent 53132А с опциями 012 и 030 | абсолютная погрешность измерения периода Т в диапазоне от 0,33 нс до 10 с не более ± 4·10-9(Т | | осциллограф цифровой
Tektronix DPO7254 с пробником Р6158А | абсолютная погрешность измерения временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (3,5·10-6(Т + 6 пс) | | мультиметр цифровой
Keithley 2000 | абсолютная погрешность измерения напряжения U на пределах
10 В не более ± (3·10-5·U + 50 мкВ)
100 В не более ± (4,5·10-5·U + 0,6 мВ) | | калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 | абсолютная погрешность воспроизведения напряжения U на пределе
20 В не более ± (2·10-4·U + 2,4 мВ) | | абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах
10 мкА не более ± (3,3·10-4·I + 0,7 нА)
100 мкА не более ± (3,1·10-4·I + 6 нА)
1 мА не более ± (3,4·10-4·I + 60 нА)
100 мА не более ± (6,6·10-4·I + 6 мкА) | | абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I на пределах
10 мкА не более ± (3,3·10-4·I + 2 нА)
100 мкА не более ± (3,1·10-4·I + 20 нА)
1 мА не более ± (3,4·10-4·I + 200 нА)
100 мА не более ± (6,6·10-4·I + 20 мкА) | | мультиметр Agilent 3458А | абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах
10 мкА не более ± (10·10-6·I + 7 пА)
100 мкА не более ± (10·10-6·I + 0,6 нА)
1 мА не более ± (10·10-6·I + 4 нА)
10 мА не более ± (10·10-6·I + 40 нА)
1 А не более ± (10·10-5·I + 10 мкА) | | калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А | абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I в режиме электронной нагрузки при напряжении до 20 В на пределах
5 А не более ± (8∙10-4·I + 3,5 мА)
10 А не более ± (1,5∙10-3·I + 6 мА) | | калибратор
универсальный Fluke 9100 | абсолютная погрешность установки силы тока I на пределах
320 мА не более ± (1,6·10-4·I + 9,6 мкА)
3,2 А не более ± (6·10-4·I + 118 мкА)
10,5 А не более ± (5,5·10-4·I + 0,94 мА) |
|
| Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к стендам измерительным для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1·10-16 ÷ 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия продукции и иных объектов обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о техническом регулировании.
|
| Заявитель | Компания “Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen”, Германия;
Herrenberger Strasse 130, 71034, Boeblingen, Germany
|
| Испытательный центр | Государственный центр испытаний средств измерений Федеральное бюджетное учреждение «Государственный региональный центр стандартизации, метрологии и испытаний в Москве» (ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва»),
117418 Москва, Нахимовский пр., 31; тел. (499)129-19-11, факс (499)129-99-96
Аттестат аккредитации ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30010-10 от 15.03.2010 г.
|
