Профилометры оптические Neox

Описание

Профилометры оптические Neox — техническое средство с номером в госреестре 57850-15 и сроком свидетельства (заводским номером) 19.03.2020. Имеет обозначение типа СИ: Neox.
Произведен предприятием: Фирма "Sensofar-Tech, SL", Испания.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Профилометры оптические Neox.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Файл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Профилометры оптические Neox.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
57850-15
НаименованиеПрофилометры оптические
Обозначение типаNeox
ПроизводительФирма "Sensofar-Tech, SL", Испания
Описание типаСкачать
Методика поверкиФайл не найден, для получения обратитесь в архив ФГБУ «ВНИИМС»
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер19.03.2020
НазначениеПрофилометры оптические Neox (далее – профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и анализа поверхностей объектов.
ОписаниеПрофилометры оптические Neox имеют две модификации «S Neox» и «Plu Neox» с одинаковыми метрологическими характеристиками, различающиеся тем, что модификация «Plu Neox» имеет 2 LED источника света, а модификация «S Neox» имеет 4 LED источника света. Профилометры оптические «Neox» относятся к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции и смещении конфокальной плоскости освещения. Метод когерентной корреляционной интерферометрии основан на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 400 мкм. Положение реперного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе. Метод конфокальной микроскопии основан на размещении в плоскости измерения апертуры, дающей возможность получения максимального контраста изображения при нахождении измеряемого участка поверхности в фокусе. Метод позволяет измерять поверхности с неровностями до 20 мм (в данном устройстве изображение программно сшивается после проведения замеров в заданном диапазоне высот). Профилометры оптические состоят из блока осветителя с источником света, конструктивно выполненного в виде моноблока, входящего в состав измерительной головки, расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна установлена на гранитном или металлическом основании, оснащенном антивибрационными пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной головке располагается оптическая система (набор диафрагм, фильтров, делитель светового пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифровая камера и микродисплей, выполняющий функцию источника проецируемого изображения для осуществления измерений в конфокальном режиме. На основании установлен автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона. В состав профилометров входит компьютер и контроллер с интерфейсными платами для обработки видеосигнала, управления пьезоприводом, приемом-передачей прочих управляющих сигналов, а также приемом сигналов о результатах измерений. Измерения проводятся в трехмерной системе координат. При вертикальном сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали. Специализированная программа служит для управления механическими частями профилометров, для непосредственного измерения, для обработки полученных результатов, построения трехмерных изображений рельефа поверхности, выделения отдельных профилей поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости. Режимы работы профилометров устанавливаются пользователем с помощью органов управления или программного обеспечения (далее - ПО) управляющей ПЭВМ. Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней панели соответственно. Внешний вид профилометра приведен на рисунках 1 - 2. - место для размещения наклеек Рисунок 1 – Общий вид профилометра Neox. Вид спереди. - места пломбировки от несанкционированного доступа Рисунок 2 – Общий вид профилометра Neox. Вид сзади.
Программное обеспечениеПрограммное обеспечение «SensoSCAN» является специализированным ПО профилометров. ПО «SensoSCAN» предназначено для управления и обеспечения полной интеграции периферийных устройств профилометров, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «SensoSCAN» не может быть использовано отдельно от профилометров. Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики профилометров не выходит за пределы согласованного допуска. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1. Таблица 1
Наименование ПОИдентификационное наименование ПОНомер версии (идентификационный номер) ПОЦифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)Алгоритм вычисления идентификатора ПО
ПО управления профилометром и обработки результатов измеренийSensoSCAN Ver 5.1.463d08c2еГОСТ Р34.11-94
Метрологически значимая часть ПО профилометров и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристикиОсновные метрологические и технические характеристики профилометров приведены в таблице 2. Таблица 2
Наименование характеристикиЗначение характеристики
Диапазон измерений линейных размеров (ось Z), ммот 0 до 40
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров (ось Z) в диапазоне от 0 до 1 мкм, нм± 50
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров (ось Z) в диапазоне от 1 мкм до 40 мм, %± 5
Повторяемость (среднеквадратическая погрешность) измерений высоты ступеньки, %0,1
Максимальное разрешение по оси Z, нм0,1
Диапазон измерений линейных размеров по оси X, мкм, для объектива: 2,5х 5х 10х 20х 50х 100х 150хот 5,16 до 7000 от 2,58 до 3500 от 1,29 до 1750 от 0,65 до 870 от 0,26 до 350 от 0,13 до 170 от 0.09 до 110
Диапазон измерений линейных размеров по оси Y, мкм, для объектива: 2,5х 5х 10х 20х 50х 100х 150хот 5,16 до 5280 от 2,58 до 2640 от 1,29 до 1320 от 0,65 до 660 от 0,26 до 260 от 0,13 до 130 от 0.09 до 88
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY %± 8
Максимальное разрешение в плоскости XY, нм90
Максимальный диапазон перемещений предметного стола (оси Х, У) и сенсорной головки (ось Z), мм: по оси Х, У по оси Z600×600 800
Максимальный размер образца (ширина×длина×высота), мм, не более600×600×800
Габаритные размеры (ширина×высота×глубина), мм, не более358×537×517
Масса без ЗИП и упаковки, кг, не более 92
Рабочий диапазон температуры окружающей среды, ºСот 15 до 25
Относительная влажность воздуха при температуре 20 (С, %, не болееот 5 до 80
Диапазон атмосферного давления, кПаот 97 до 105
Вибрация, Гцот 1 до 120
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В220 ± 22
Потребляемая мощность, В·А, не более210
КомплектностьКомплект поставки включает: - профилометр оптический Neox - 1 шт.; - комплект эксплуатационной документации (Профилометры оптические Neox. Руководство по эксплуатации) – 1 комплект; - одиночный комплект ЗИП; - методика поверки – 1 шт.
Поверкаосуществляется по документу МП 57850-14 «Инструкция. Профилометры оптические Neox. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 19.02.2014 г. Основные средства поверки: - мера ширины и периода специальная (МШПС 2.0К), изготовленная по ГОСТ Р 8.628; - набор мер длины концевых плоскопараллельных по ГОСТ 9038-90; - микроскоп электронный растровый JSM-6460LV.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометрам оптическим Neox Техническая документация фирмы-изготовителя. Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений Отсутствуют.
ЗаявительФирма Sensofar-Tech, SL, Испания Адрес: Parc Audiovisual de Catalunya, Crta. BV-1274 km1, E-08225 Terrassa, Spain.
Испытательный центрГосударственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ») Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1, Тел./Факс (495) 935-97-77, E-mail: nicpv@mail.ru Аттестат аккредитации государственного центра испытаний средств измерений № 30036-10 от 10.06.2010 г.