|
Изображение |  | Номер в госреестре | |
| Наименование | Стенд измерительный для СБИС |
| Обозначение типа | Verigy V93000 Pin Scale 1600 |
| Производитель | Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия |
| Описание типа | Скачать |
| Методика поверки | Скачать |
| Межповерочный интервал (МПИ) | 1 год |
| Допускается поверка партии | Нет |
| Наличие периодической поверки | Да |
| Сведения о типе | Заводской номер |
| Срок свидетельства или заводской номер | зав.№ MY04601811 |
| Назначение | Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 (далее по тексту – стенд) предназначен для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
|
| Описание | Принцип работы стенда основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности (ТП) 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B) и DCS DPS32 (E8013CS).
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 выполнен в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Внешний вид стенда представлен на рисунке 1.
| место пломбирования (защитная краска под винт) | | | место размещения знака утверждения типа и знака поверки | Рисунок 1 – Внешний вид стенда измерительного для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 |
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
– универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, максимальное количество 16 шт., всего до 2048 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются широкодиапазонный драйвер и два широкодиапазонных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий аналого-цифровой преобразователь BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
– одноканальные платы прецизионных источников-измерителей напряжения и силы тока HPPMU, максимальное количество 2 шт.;
– 8-ми канальные платы источников питания MS DPS (E9711A/B), максимальное количество 2 шт.;
– 32-х канальные платы измерительных источников питания DCS DPS32 (E8013CS), максимальное количество 16 шт.
|
| Программное обеспечение | Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств стенда, а также обработку и документирование измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений – «низкий» по Р50.2.077-2014, класс риска “A” по WELMEC 7.2, Issue 5.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
| Идентификационные данные (признаки) | Значение | | идентификационное наименование | SmarTest | | идентификационный номер версии | 7.1.4.12 и выше |
|
| Метрологические и технические характеристики | Метрологические и технические характеристики стенда представлены в таблице 2.
Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение х-ки | | 1 | 2 | | диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс | от 2,5 до 31250 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
длительности Т вектора тестовой последовательности, нс | ± 15∙10-6∙Т | | диапазон установки временных меток формирования
выходных импульсов D1–D8, стробирующих импульсов R1–R8, нс | от минус 4∙Т до + 12∙Т | | крайние значения временных меток, мкс | минус 6,3; + 19 | | разрешение временных меток, пс | 1 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1–D8 и R1–R8, пс | ± 150 | | максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера, нс | | при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,6 | | при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,7 | | при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,8 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс | | при амплитуде 1,0 В | 0,7 | | при амплитуде 1,8 В | 0,8 | | при амплитуде 3,0 В | 0,9 | | максимальная длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс | | при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 9 | | при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 250 | | максимальная длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс | | при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 10,5 | | при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 30 | | диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В | от минус 1,5 до + 6,5 | | разрешение уровней напряжения драйвера, мВ | 1 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера, мВ | ± 5 | | выходное сопротивление драйвера, Ом | от 47,5 до 52,5 | | диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В | | диапазон VIL/VIH | от 0,0 до + 6,5 | | диапазон VHH | от + 6,0 до + 13,4 | | разрешение уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ | 1 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ | ± 15 | | выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом | | при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В | от 45 до 55 | | при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В, не более | 10 | | диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, В | от минус 1,5 до + 6,5 | | разрешение по напряжению компаратора, мВ | 1 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором, мВ | ± 15 | | диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, В | от минус 3,0 до + 13,4 | | разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ | 1 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения широкодиапазонным компаратором, мВ | | | при уровнях напряжения от 0 до 8 В | ± 20 | | при уровнях напряжения от минус 3,0 до 13,4 В | ± 50 | | диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, В | от минус 1,5 до + 6,5 | | диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В | от минус 1,0 до + 1,0 | | разрешение уровней напряжения дифференциального компаратора, мВ | 1 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором, мВ | ± 15 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мА (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) | от минус 25 до + 25 | | разрешение силы тока активной нагрузки, мкА | 12,5 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мкА | ± (1·10-2 ∙I + 75 мкА) | | диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В | | при силе тока в пределах ± 1 мА | от минус 1,5 до + 6,5 | | при силе тока в пределах ± 25 мА | от минус 1,0 до + 5,5 | | пределы воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU, В | | при силе тока в пределах ± 1 мА | от минус 2,0 до + 6,5 | | при силе тока в пределах ± 40 мА | от минус 2,0 до + 5,75 | | разрешение воспроизведения напряжения PMU, мкВ | 200 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | ± (3 мВ + I·R), R = 1 Ом | | разрешение измерения напряжения PMU, мкВ | 75 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | | в диапазоне от минус 2,0 до + 6,5 В | ± (4 мВ + I·R), R = 1 Ом | | в диапазоне от 0,0 до + 3,3 В | ± (2 мВ + I·R), R = 1 Ом | | пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600
не более 1,6 А) | 2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА | | разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU | | на пределе 2 мкА | 1 нА | | на пределе 10 мкА | 5 нА | | на пределе 100 мкА | 50 нА | | на пределе 1 мА | 0,5 мкА | | на пределе 40 мА | 20 мкА | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I
источником-измерителем PMU, нА (мкА) | | на пределе 2 мкА | ± (5·10-3·I + 40 нА) | | на пределе 10 мкА | ± (5·10-3·I + 100 нА) | | на пределе 100 мкА | ± (5·10-3·I + 500 нА) | | на пределе 1 мА | ± (5·10-3·I + 5 мкА) | | на пределе 40 мА | ± (5·10-3·I + 50 мкА) | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I
источником-измерителем PMU, нА (мкА) | | на пределе 2 мкА | ± (5·10-3·I + 10 нА) | | на пределе 10 мкА | ± (5·10-3·I + 50 нА) | | на пределе 100 мкА | ± (5·10-3·I + 200 нА) | | на пределе 1 мА | ± (5·10-3·I + 1,25 мкА) | | на пределе 40 мА | ± (5·10-3·I + 50 мкА) | | пределы измерения напряжения АЦП BADC, В | | в стандартном режиме | от минус 3,0 до + 8,0 | | в широкодиапазонном режиме | от минус 6,0 до + 13,4 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | разрешение измерения напряжения АЦП BADC, мкВ | | в стандартном режиме | 75 | | в широкодиапазонном режиме | 150 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения АЦП BADC, мВ | | в стандартном режиме | ± 1 | | в широкодиапазонном режиме | ± 10 | | входное сопротивление АЦП BADC, МОм | более 100 | | пределы воспроизведения и измерения напряжения U прецизионным источником-измерителем HPPMU, В | | подключение через плату PS1600 | от минус 1,5 до + 6 | | подключение через разъем UTILITY pogo block | от минус 5 до + 8 | | разрешение воспроизведения и измерения напряжения
HPPMU, мкВ | 250 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | | подключение через плату PS1600 | ± (2 мВ + I·R), R = 1 Ом | | подключение через разъем UTILITY pogo block | ± 2 мВ | | пределы воспроизведения и измерения силы тока I
источником-измерителем HPPMU | 5; 200 мкА; 5; 200 мА | | разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU | | на пределе 5 мкА | 250 пА | | на пределе 200 мкА | 6 нА | | на пределе 5 мА | 250 нА | | на пределе 200 мА | 6 мкА | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU, нА (мкА) | | на пределе 5 мкА, подключение через плату PS1600 | ± (1·10-3·I + 50 нА) | | на пределе 5 мкА, подкл. через разъем UTILITY pogo block | ± (1·10-3·I + 10 нА) | | на пределе 200 мкА | ± (1·10-3·I + 200 нА) | | на пределе 5 мА | ± (1·10-3·I + 10 мкА) | | на пределе 200 мА | ± (1·10-3·I + 200 мкА) | | пределы воспроизведения напряжения U измерительным источником питания MS DPS, В | от минус 8 до + 8 | | разрешение воспроизведения напряжения MS DPS, мкВ | 300 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U, мВ, измерительным источником питания MS DPS при силе тока нагрузки I, А | | в 4-х канальном режиме, сопротивление нагрузки R = 4 мОм | ± (1·10-3∙U + 4 мВ + I·R) | | в 8-ми канальном режиме, сопротивление нагрузки R = 4 мОм | ± (1·10-3∙U + 2 мВ + I·R) | | максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 4-х канальном режиме, А | | при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В | от минус 1,5 до + 8,0 | | при воспроизведении напряжения от + 7 до + 8 В | от минус 1,5 до + 4,0 | | при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В | от минус 4,0 до + 1,5 | | максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 8-и канальном режиме, А | | при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В | от минус 1,5 до + 4,0 | | при воспроизведении напряжения от +7 до + 8 В | от минус 1,5 до + 2,0 | | при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В | от минус 2,0 до + 1,5 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | пределы измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS | | в 4-х канальном режиме | 100 мкА; 1; 10 мА; 0,3; 8 А | | в 8-ми канальном режиме | 0,01; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А | | разрешение измерения силы тока MS DPS в 4-х канальном режиме | | на пределе 100 мкА | 5 нА | | на пределе 1 мА | 50 нА | | на пределе 10 мА | 500 нА | | на пределе 0,3 А | 15 мкА | | на пределе 8 А | 150 мкА | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS в 4-х канальном режиме, нА (мкА) | | на пределе 100 мкА | ± (1·10-3·I + 100 нА) | | на пределе 1 мА | ± (1·10-3·I + 1 мкА) | | на пределе 10 мА | ± (1·10-3·I + 10 мкА) | | на пределе 0,3 А | ± (1·10-3·I + 300 мкА) | | на пределе 8 А | ± (1·10-3·I + 20 мА) | | разрешение измерения силы тока MS DPS в 8-ми канальном режиме | | на пределе 10 мкА | 500 пА | | на пределе 100 мкА | 5 нА | | на пределе 1 мА | 50 нА | | на пределе 10 мА | 500 нА | | на пределе 0,3 А | 15 мкА | | на пределе 4 А | 150 мкА | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS в 8-ми канальном режиме, нА (мкА) | | на пределе 10 мкА | ± (1·10-3·I + 10 нА) | | на пределе 100 мкА | ± (1·10-3·I + 100 нА) | | на пределе 1 мА | ± (1·10-3·I + 1 мкА) | | на пределе 10 мА | ± (1·10-3·I + 10 мкА) | | на пределе 0,3 А | ± (1·10-3·I + 300 мкА) | | на пределе 4 А | ± (1·10-3·I + 10 мА) | | пределы воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32, В | от 0 до + 7 | | разрешение воспроизведения напряжения DCS DPS32, мкВ | 200 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32, мВ | ± 3 | | максимальная сила тока в нагрузке DCS DPS32, А | | при воспроизведении напряжения до + 3,0 В | от минус 1,5 до + 1,5 | | при воспроизведении напряжения до + 3,6 В | от минус 1,2 до + 1,2 | | при воспроизведении напряжения до + 7,0 В | от минус 0,5 до + 0,5 | | пределы измерения силы тока DCS DPS32 | 100 мкА; 2; 50 мА; 1,5 А | | разрешение измерения силы тока DCS DPS32 | | на пределе 100 мкА | 5 нА | | на пределе 2 мА | 100 нА | | на пределе 50 мА | 2,5 мкА | | на пределе 1,5 А | 100 мкА |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания DCS DPS32, нА (мкА) | | на пределе 100 мкА | ± (1·10-3·I + 100 нА) | | на пределе 2 мА | ± (1·10-3·I + 2 мкА) | | на пределе 50 мА | ± (1·10-3·I + 50 мкА) | | на пределе 1,5 А | ± (1·10-3·I + 1,59 мА) | | ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | | габаритные размеры (высота × ширина × глубина), мм | | головной блок с манипулятором | 1880 × 1290 × 2270 | | установка водяного охлаждения | 950 × 520 × 870 | | масса головного блока с манипулятором, кг, не более | 1118 | | масса установки водяного охлаждения, кг, не более | 185 | | напряжение питания (сеть трехфазного тока частотой 50 Гц), В | от 360 до 440 | | потребляемая мощность, кВ∙А | 15 | | температура окружающей среды, °С | от 20 до 30 | | относительная влажность при температуре 30 °С, не более | 70 % |
|
| Комплектность | Комплектность стенда представлена в таблице 3.
Таблица 3
| Наименование | Обозначение | Кол-во | | Измерительный головной блок | E8014A зав. № MY04601811 | 1 шт. | | Манипулятор | Е6979LC зав. № 2301.384219 | 1 шт. | | Установка водяного охлаждения | E2760FAL зав. № 147296 | 1 шт. | | Программа управляющая | SmarTest | 1 шт. | | Компьютер | HP Z620 | 1 шт. | | Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600. Руководство по эксплуатации | | 1 шт. | | Методика поверки | МП РТ 090/551-2015 | 1 шт. | | Программа для поверки | PR_POV_777 | 1 шт. | | Комплект оснастки для поверки в составе | | устройство согласования | ТСКЯ.418133.251 (Вер.2) | 1 шт. | | устройство согласования | ТСКЯ.418133.253 | 1 шт. | | устройство согласования | ТСКЯ.418133.254 (Вер.1) | 1 шт. | | устройство согласования | ТСКЯ.418133.256 (Вер.1) | 1 шт. | | плата коммутационная | E7010E | 1 шт. | | шлюз LAN/GPIB | Agilent E5810B | 1 шт. |
|
| Поверка | осуществляется по документу «ГСИ. МП РТ 090/551-2015. Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600», утвержденному руководителем ФБУ «Ростест-Москва» 27.04.2015 г.
Средства поверки указаны в таблице 4.
Таблица 4
| Наименование | Метрологические характеристики | | частотомер электронно-счетный Agilent 53132A с опциями 012 и 030 | абсолютная погрешность измерения периода Т в диапазоне
от 0,33 нс до 10 с не более ± 4·10-9(Т | | осциллограф цифровой
Tektronix DPO7254 с пробником Р6158А | абсолютная погрешность измерения временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (3,5·10-6(Т + 6 пс) | | мультиметр цифровой
Keithley 2000 | абсолютная погрешность измерения напряжения U на пределах
10 В не более ± (3·10-5·U + 50 мкВ)
100 В не более ± (4,5·10-5·U + 0,6 мВ) | | калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 | абсолютная погрешность воспроизведения напряжения U на пределе
20 В не более ± (2·10-4·U + 2,4 мВ) | | абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах
10 мкА не более ± (3,3·10-4·I + 0,7 нА)
100 мкА не более ± (3,1·10-4·I + 6 нА)
1 мА не более ± (3,4·10-4·I + 60 нА)
100 мА не более ± (6,6·10-4·I + 6 мкА) | | абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I на пределах
10 мкА не более ± (3,3·10-4·I + 2 нА)
100 мкА не более ± (3,1·10-4·I + 20 нА)
1 мА не более ± (3,4·10-4·I + 200 нА)
100 мА не более ± (6,6·10-4·I + 20 мкА) | | мультиметр Agilent 3458А | абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах
10 мкА не более ± (10·10-6·I + 7 пА)
100 мкА не более ± (10·10-6·I + 0,6 нА)
1 мА не более ± (10·10-6·I + 4 нА)
10 мА не более ± (10·10-6·I + 40 нА)
1 А не более ± (10·10-5·I + 10 мкА) | | калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А | абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I в режиме электронной нагрузки при напряжении до 20 В на пределах
5 А не более ± (8∙10-4·I + 3,5 мА)
10 А не более ± (1,5∙10-3·I + 6 мА) | | калибратор
универсальный Fluke 9100 | абсолютная погрешность установки силы тока I на пределах
320 мА не более ± (1,6·10-4·I + 9,6 мкА)
3,2 А не более ± (6·10-4·I + 118 мкА)
10,5 А не более ± (5,5·10-4·I + 0,94 мА) |
| | Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к стенду измерительному для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1·10-16 ÷ 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
|
| Заявитель | Компания “Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen”, Германия;
Адрес: Herrenberger Strasse 130, 71034, Boeblingen, Germany
тел. +49-7031-4357-000, факс +49-7031-4357-497
|
| Испытательный центр | Федеральное бюджетное учреждение «Государственный региональный центр стандартизации, метрологии и испытаний в Москве» (ФБУ «Ростест-Москва»)
Адрес: 117418 Москва, Нахимовский пр., 31;
тел. (499)129-19-11, факс (499)129-99-96.
Аттестат аккредитации № RA.RU.310639 выдан 16.04.2015 г.
| |
