Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340

Описание

Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340 — техническое средство с номером в госреестре 63408-16 и сроком свидетельства (заводским номером) 11.03.2021. Имеет обозначение типа СИ: МИМ-340.
Произведен предприятием: АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ), г.Екатеринбург.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
63408-16
НаименованиеМикроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами
Обозначение типаМИМ-340
ПроизводительАО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ), г.Екатеринбург
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер11.03.2021
НазначениеМикроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340 (далее по тексту – микроскопы МИМ), предназначены для трехмерного анализа рельефа отражающей поверхности в микро- и нанодиапазоне, создания графических изображений и их цифрового анализа с целью получения высокоточных данных о структуре поверхности исследуемого объекта.
ОписаниеПринцип действия микроскопов лазерных МИМ с длинноходовым предметным столом, основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого микрообъекта. Основой микроскопов МИМ является микроинтерферометр, построенный по схеме Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэлементе (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью высокочувствительной видеокамеры и обрабатываются на ПЭВМ. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, на основе которой получаются данные о высоте профиля поверхности. Микроскоп позволяет измерять параметры высоты профиля поверхности, изменяющиеся во времени – динамические параметры, с частотой до 3 Гц в диапазоне от 0,03 до 3 мкм в латеральной плоскости и от /350 до /4 по высоте. Результаты измерений отображаются на экране компьютера в виде топографических изображений (псевдоцветных карт), а также двумерных профилей с текстовой (цифровой) информацией о структуре и статистических параметрах рельефа измеряемого микрообъекта Рисунок 1 – Общий вид микроскопов лазерных МИМ с длинноходовыми предметными столами модель МИМ-340 с обозначением мест пломбирования, нанесения маркировки и знака поверки
Программное обеспечениеДля управления микроскопами МИМ предназначена рабочая станция с двумя мониторами и установленным программным обеспечением: MIMSoft-3 – для настройки и управления работой оптической системы микроскопов МИМ, MIM Visualizer – для анализа и обработки результатов исследования; MIM Stage – для управления длинноходовым предметным столом. Программа MIM Soft-3 предназначена для управления оптической системой микроскопов МИМ. Она позволяет использовать любые аппаратные и программные настройки узлов оптической системы микроскопов МИМ для работы в различных режимах, а также получать и сохранять исследовательские данные и настройки всех узлов оптической системы микроскопов в специальном формате .tlk. Позволяет оптимизировать процедуру получения изображений исследуемого образца микроструктуры в режимах измерения микрорельефа, белого света, отражения в лазерном свете при различных поляризациях. Программа MIM Stage предназначена для управления длинноходовым предметным столом микроскопов МИМ и позволяет получать, использовать и сохранять аппаратные и программные настройки элементов длинноходового предметного стола для работы приборов в различных режимах перемещения длинноходового предметного стола, а также обеспечивает взаимосвязь растровых и интерференционных датчиков перемещений с контроллерами управления координатными приводами длинноходового предметного стола по особому алгоритму, обеспечивающему минимальную ошибку позиционирования при подходе к точке с заданными координатами Программа MIM Visualizer предназначена для визуализации и обработки результатов исследования материаловедческой микроструктуры на микроскопах МИМ. Программа предназначена для редактирования фазовых изображений, калибровки масштаба изображения, формирования «масштабного отрезка», измерения длин отрезков и углов, медианной фильтрации изображения; построения профиля сечения фазового изображения в произвольном направлении, восстановления скачков фазы λ/2, анализа гистограммы распределения высот и вычитания фона, пространственного Фурье-преобразования изображения и вычитания шумов, вычитания поверхностей первого и второго порядка, поворота изображения на произвольный угол; построения и отображения трехмерного вида объекта. Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОMIM Visualizer MIM Soft-3 MIM Stage
Номер версии (идентификационный номер )ПО1.0.0.11.0.0.11.0.0.1
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)f32c1789d26e20b5e842145f806431de5e873a484928e754bae02d1a573cd504c9d8af31e15720c4f9c0a56ab2aa9c14
Алгоритм хэшированияMD5MD5MD5
Программное обеспечение размещается в энергонезависимой памяти персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя. Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристикиприведены в таблице 2. Таблица 2
Наименование характеристикиЗначение характеристики
Длина волны излучения, мкм0,405
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали, мкм0,0003 – 0,2
Диапазон измерения линейных размеров по вертикали, мкм0,01 – 0,1
Диапазон измерения линейных размеров в латеральной плоскости (для объектива 100х), мкм 0,1 - 8
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров, нм: - по вертикали - в латеральной плоскости (для объектива 100х)±10 ±100
Время измерения одного кадра, с 0,30 ± 3,00(10-2
Длина хода предметного стола, мм: - по координате Х - по координате Y - по координате Z 230±5 245±5 70±5
Скорость перемещения предметного стола, мм/с, не менее - по координатам Х и Y - по координате Z1,0 0,01
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц220±22 50±0,4
Потребляемая мощность, кВт, не более1,0
Габаритные размеры, мм, не более1100(860(1600
Масса, кг, не более 900
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, не более, % - атмосферное давление, мм рт. ст.20±3 80 (при 25°С) 630 - 800
КомплектностьТаблица 3
Наименование и обозначениеКоличество, шт.
Микроскоп лазерный МИМ с длинноходовым предметным столом 1
Станция рабочая iMac с монитором Apple Thunderbolt Display1
Компакт-диск с руководством по эксплуатации 4001.00000000 РЭ 1
Продолжение таблицы 3
Наименование и обозначениеКоличество, шт.
Паспорт 4001.00000000 ПС1
Упаковка 4001.02000000– ящики для транспортировки11)
Компрессор винтовой АВАС GENESIS 5,5-13/2702)1
Кабель сетевой Hyperline PWC-IEC13-SHM-3.0-BK1
Кабель USB 2.0 А/В (L=3 м)1
Рым-болт М12.019 ГОСТ 47514
Переходник 578342 NPQH-D-G14-Q8-P10, Festo 2) 1
Ниппель переходной D c уплотнителем 534145 D-1/4I-3/4A, Festo2)1
Пневмошланг полимерный 159666 PUN-8x1,25-BL, Festo 1
Кран шаровой Base VT.217.N.05, Valtec (для подключения пневмошланга к компрессору)1
Провод РПШ 4х1,5 (380) ТУ 16.К18-0011
Призма 4001.00000101 1
Стекло предметное 4001.00000102100
Микрообъектив MPLFLN 100х/0,9, OLYMPUS12)
Микрообъектив MPLFLN 2,5х/0,08, OLYMPUS12)
Микрообъектив MPLFLN 5х/0,15, OLYMPUS12)
Микрообъектив MPLFLN 10х/0,3, OLYMPUS12)
CD-диск с программным обеспечением1
Методика поверки1
Упаковка возвратная По заказу потребителя
Поверкаосуществляется по документу МП057.М44-15 «ГСИ. Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 15 апреля 2015 г. Основные средства поверки: Эталон - мера периода и высоты линейная TGZ2 (ГР СИ № 41678-09) с аттестованным значением абсолютной погрешности определения высоты выступов не более ± 0,005 мкм. Мера периода линейная TDG01 (ГР СИ № 41676-09), пределы абсолютной погрешности определения высоты выступов не более ± 0,001 мкм.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам лазерным МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340 ТУ 4431-131-07539541-2012 «Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340. Технические условия»
Заявитель Акционерное общество «Производственное объединение «Уральский оптико-механический завод» имени Э.С. Яламова» (АО «ПО «УОМЗ») ИНН 6672315362 620100, г. Екатеринбург, ул. Восточная, 33б Тел.: +7(343) 229-81-09; Факс: +7(343) 254-81-09 E-mail: kancelyariya@uomz.com; Web: http://www.uomz.ru
Испытательный центрФедерального Государственного Унитарного Предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46 Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47 E-mail: vniiofi@vniiofi.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.