- Главная
- Госреестр средств измерений
- Эллипсометр
Описание
Эллипсометр FILMTEK 2000 PAR-SE — техническое средство с номером в госреестре 66804-17 и сроком свидетельства (заводским номером) зав.№ 140917. Имеет обозначение типа СИ: FILMTEK 2000 PAR-SE. Произведен предприятием: Фирма "Scientific Computing International", США.
Требуется ли периодическая поверка прибора?
Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.
Допускается ли поверка партии?
Допущение поверки партии приборов: Нет.
Методика поверки:
Эллипсометр FILMTEK 2000 PAR-SE.С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.
Описание типа:
Эллипсометр FILMTEK 2000 PAR-SE.С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.
| Изображение |  | ||||||||||||
| Номер в госреестре | 66804-17 | ||||||||||||
| Наименование | Эллипсометр | ||||||||||||
| Обозначение типа | FILMTEK 2000 PAR-SE | ||||||||||||
| Производитель | Фирма "Scientific Computing International", США | ||||||||||||
| Описание типа | Скачать | ||||||||||||
| Методика поверки | Скачать | ||||||||||||
| Межповерочный интервал (МПИ) | 1 год | ||||||||||||
| Допускается поверка партии | Нет | ||||||||||||
| Наличие периодической поверки | Да | ||||||||||||
| Сведения о типе | Заводской номер | ||||||||||||
| Срок свидетельства или заводской номер | зав.№ 140917 | ||||||||||||
| Назначение | Эллипсометр FilmTek 2000 PAR-SЕ (далее по тексту - эллипсометр) предназначен для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и Дельта) полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры). | ||||||||||||
| Описание | Принцип действия эллипсометра основан на комбинировании двух методов исследования тонких пленок - спектральной эллипсометрии с вращающимся компенсатором и многоракурсной поляризационной рефлектометрии. Оба метода рефлектометрия и эллипсометрия основаны на регистрации изменений параметров света, прошедшего или отраженного от исследуемого объекта. В методе рефлектометрии регистрируются изменения интенсивности отраженного света, а в методе эллипсометрии - изменения поляризационных параметров света, которые называются эллипсометрическими углами Пси и Дельта. В эллипсометре сбор данных проводится по трем измерительным каналам: -рефлектометрия (спектрофотометрия) при нормальном падении света на объект; -рефлектометрия поляризованного света при отражении под углом 70 градусов; -спектральная эллипсометрия под углом 70 градусов. В состав средства измерений входят спектральный эллипсометр, источник света Hamamatsu L10290 с размером пятна от 25 до 300 мкм (при нормальном падении) и 2 мм (при падении под углом 70°), приборный столик с тефлоновым покрытием, цифровая камера CCD STC-620CC, роботизированная система загрузки пластин Brooks с автофокусировкой, 6 встроенных калибровочных эллипсометрических пластин (сер.№ 1 - 6), фильтро-вентиляционный модуль типа HEPA, 8’’ SMIF порт, ПК с многоядерным процессором и операционной системой Windows 7 ™. Общий вид автоматизированного аппаратного оборудования эллипсометра представлен на рисунке 1. Рисунок 1 - Общий вид автоматизированного аппаратного оборудования эллипсометра FILMTEK 2000 PAR-SE: 1 - Рефлектометр PAR нормального освещения объекта, 2 - плечо освещения объекта под углом 70°, 3 - плечо регистрации излучения, отраженного от объекта под углом 70 °, 4 - видеокамера с регулировкой увеличения для наблюдения области измерения объекта Схема пломбировки от несанкционированного доступа, маркировка и обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2. Рисунок 2 - Внешний вид оборудования эллипсометра FILMTEK 2000 PAR-SE: 1 - место нанесения знака поверки, 2 - маркировка, 3 - пломбировка от несанкционированного доступа | ||||||||||||
| Программное обеспечение |
Управление процессом измерения в эллипсометре осуществляется с помощью специального программного обеспечения Film Tek SE. Программное обеспечение служит для настройки эллипсометра, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализ и обработку полученных данных.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные:
Таблица 1
| ||||||||||||
| Метрологические и технические характеристики | приведены в таблице 2. Таблица 2 Наименование характеристики Значение характеристики Метрологические характеристики Диапазон измерения величины эллипсометрических углов, градус: -Пси -Дельта от 0 до 90 от 0 до 360 Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения величин эллипсометрических углов, градус: -Пси -Дельта ±0,2 ±0,3 Технические характеристики Спектральный диапазон показаний, нм от 200 до 1700 Диапазон показаний толщин, мкм от 0,0001 до 150 Габаритные размеры, мм, не более 1651(1397(1854 Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц От 210 до 230 50/60 Потребляемая мощность, кВт, не более 2,2 Условия эксплуатации: Температура окружающей среды, ºС Относительная влажность, не более % от +15 до +35 80 | ||||||||||||
| Комплектность | Таблица 3
| ||||||||||||
| Поверка | осуществляется по документу МП 059.М44-16 «Государственная система обеспечения единства измерений Эллипсометр FilmTek 2000PAR-SE. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 28 декабря 2016 г.
Основные средства поверки:
Государственный рабочий эталон 2-го разряда единиц эллипсометрических углов в диапазоне от 0 до 360° по углу Дельта и от 0 до 90° по углу Пси согласно ГОСТ 8.605-2011.
Таблица 4 - Основные метрологические характеристики
| ||||||||||||
| Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к эллипсометру FILMTEK 2000 PAR-SE 1 ГОСТ 8.605-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов» 2 Техническая документация фирмы «Scientific Computing International», США | ||||||||||||
| Заявитель | «Scientific Computing International», США Адрес: 6355 Corte Del Abeto, Suite C-105, Carlsbad, CA 92011 USA Тел: (760) 634-3822 Факс: (760) 634-3826 E-mail: info@sci-soft.com | ||||||||||||
| Испытательный центр | Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46 Телефон: (495) 437-56-33, факс: 437-31-47 E-mail: vniiofi@vniiofi.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г. |
