Установка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур V93000 SOC Series System E8000SYS

Описание

Установка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур V93000 SOC Series System E8000SYS — техническое средство с номером в госреестре 74509-19 и сроком свидетельства (заводским номером) зав.№ MY04603082. Имеет обозначение типа СИ: V93000 SOC Series System E8000SYS.
Произведен предприятием: Фирма "Advantest Europe GmbH", Германия.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Установка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур V93000 SOC Series System E8000SYS.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Установка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур V93000 SOC Series System E8000SYS.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Номер в госреестре
НаименованиеУстановка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур
Обозначение типаV93000 SOC Series System E8000SYS
ПроизводительФирма "Advantest Europe GmbH", Германия
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерзав.№ MY04603082
НазначениеУстановка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур V93000 SOC Series System E8000SYS (далее - установка) предназначена: для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока; частоты следования прямоугольных импульсов при функциональном и параметрическом контроле параметров полупроводниковых структур.
ОписаниеПринцип действия установки при функциональном и параметрическом контроле основан на подаче входных электрических сигналов с программируемыми параметрами на входы объекта контроля (ОК) и сравнении выходных электрических сигналов с ожидаемым (эталонным) набором сигналов. Конструктивно установка состоит из: измерительного блока; манипулятора; устройства охлаждения; калибровочного робота; рабочей станции (управляющей ПЭВМ), состоящей из монитора и процессорного блока. В состав измерительного блока, выполненного по модульному принципу, входят: - универсальные цифровые измерительные модули PS1600. В состав модулей входят: компараторы; цифровая активная нагрузка; память тестовой последовательности функционального контроля; память ошибок; устройство управления генерированием тестовой последовательности; программируемый источник-измеритель статических параметров (PPMU); прецизионные программируемые источники-измерители напряжения и силы тока (HPPMU); АЦП с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения; - модули источников питания объекта контроля DPS64-HC. При проведении функционального контроля на вход тестируемой полупроводниковой структуры от установки подаётся набор сигналов, при этом набор выходных сигналов тестируемой полупроводниковой структуры сравнивается с ожидаемым (эталонным) набором сигналов. Формирование входного набора сигналов полупроводниковых структур производиться генератором тестовой последовательности. Выходной набор сигналов полупроводниковых структур преобразуется в цифровой код. Для проведения параметрического контроля используются измерители статических параметров, в том числе высокоточные, которые работают в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Для задания специальных режимов измерения на выходе объекта контроля применяется активная электронная нагрузка. Активная электронная нагрузка используется как эквивалент нагрузки цифровых выходов тестируемой микросхемы и представляет собой источник постоянного тока, для которого можно задать силу тока и его направление. Сила тока активной электронной нагрузки задается напрямую, а направление тока определяется величиной напряжения переключения. Если напряжение на выходе тестируемой микросхемы выше напряжения переключения, то ток втекает в активную электронную нагрузку, если ниже -вытекает из активной электронной нагрузки. Питание объектов контроля осуществляется с помощью измерительных источников питания. Для проведения калибровочных работ установки применяется калибровочный робот. Общий вид установки с указанием места нанесения знака утверждения типа, место пломбировки от несанкционированного доступа приведены на рисунке 1. Общий вид калибровочного робота представлен на рисунке 2. Рисунок 1 - Общий вид установки Рисунок 2 - Общий вид калибровочного робота E8006В
Программное обеспечениеПрограммное обеспечение (ПО) предназначено для управления работой установки. ПО работает под управлением операционной системы не ниже «RedHatEnterpriseLinux 5.8» Уровень защиты ПО «низкий» в соответствии с Р50.2.077-2014. Таблица 1- Идентификационные данные (признаки) ПО
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОSmarTest
Номер версии (идентификационный номер) ПОне ниже 7.4.3.3
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)-
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 – Метрологические характеристики установки при функциональном контроле
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, Bот -1,5 до +13,4
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока в поддиапазонах, мВ: от -1,5 до +6,5 В включ. св. +6,5 до +13,4 В±5 ±15
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока в режиме компараторов, мВ±(0,005·U+5+I·R)*
Диапазон установки частоты следования циклов, МГц **от 0,032 до 400
Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты следования циклов, %±0,0015
Цифровая активная нагрузка
Диапазон силы втекающего и вытекающего тока цифровой активной нагрузки, мАот 0 до 25
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки силы тока цифровой активной нагрузки, мкА±(0,01·Iн +75)***
Диапазон напряжения переключения цифровой активной нагрузки, Вот -1 до +5,5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения переключения цифровой активной нагрузки, мВ±100
___________ * U - измеряемое напряжение, мВ; I – сила тока в цепи, мА; R=0,5 Ом; ** Цикл может содержать 1, 2, 3 или 4 элементарные проверки *** Iн – установленная сила тока цифровой нагрузки, мкА
Таблица 3 – Метрологические характеристики установки при параметрическом контроле
Наименование характеристикиЗначение
Измеритель статических параметров (PPMU)
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, Вот -2 до +6,5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ±(3+Iа·R)*
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока в поддиапазонах, мВ: от -2,0 до 0 В включ. и св. +3,3 до +6,5 В св. 0 до +3,3 В включ.±4 ±2
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока, мАот -40 до +40
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока в поддиапазонах, мкА: от -0,002 до +0,002 мA от -0,01 до +0,01 мA от -0,1 до +0,1 мA от -1 до +1 мA от -40 до +40 мA±(0,005·I1+0,04) ±(0,005·I1+0,1) ±(0,005·I1+0,5) ±(0,005·I1+5) ±(0,002·I1+50)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока в поддиапазонах, мкА: от -0,002 до +0,002 мA от -0,01 до +0,01 мA от - 0,1 до +0,1 мA от -1 до +1 мA от -40 до +40 мA±(0,005·I1+0,01) ±(0,005·I1+0,05) ±(0,005·I1+0,2) ±(0,005·I1+1,25) ±(0,005·I1+50)
Высокоточный измеритель статических параметров (HPPMU)
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока измерителем, В от -5 до +7,5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, мВ ±(5+Iа•R)
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока, мАот -200 до +200
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока в поддиапазонах, мкА: от -0,005 до +0,005 мA от -0,2 до +0,2 мA от -5 до +5 мA от -200 до +200 мA±(0,001·I1+0,01) ±(0,001·I1+0,2) ±(0,001·I1+10) ±(0,001·I1+200)
Источники питания DPS64-HC
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока, Вот -2,5 до +7
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока, мВ±3
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока, мВ±2
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, мАот +0,0025 до +1000
Продолжение таблицы 3
Наименование характеристикиЗначение
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока (высокоточный режим воспроизведения) в поддиапазонах, мА: от +0,0025 до +0,025 мА включ. св. +0,025 до +0,25 мА включ. св. +0,25 до +2,5 мА включ. св. +2,5 до +25 мА включ. св. +2,5 до +200 мА включ. св. +200 до +1000 мА±(0,002·I2+1,2·10-4) ±(0,002·I2+7,5·10-4) ±(0,002·I2+7,5·10 -3) ±(0,002·I2+0,075) ±(0,002·I2+0.6 ) ±(0,002·I2+3 )
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока при объединении 2-х каналов источника питания, мАот +400 до +2000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока источниками питания при объединении 2-х каналов источника питания, мА,±(0,002·I2+6)
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока при объединении 3-х каналов источника питания, мАот +600 до +3000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока источниками питания при объединении 3-х каналов источника питания, мА±(0,002·I2+9)
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока при объединении 4-х каналов источника питания, мАот +800 до +4000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока источниками питания при объединении 4-х каналов источника питания, мА,±(0,002·I2+12 мА)
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока при объединении 5-ти каналов источника питания, мАот +1000 до +5000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока источниками питания при объединении 5-ти каналов источника питания, мА±(0,002·I2+15)
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока при объединении 6-ти каналов источника питания, мАот +1200 до +6000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока источниками питания при объединении 6-ти каналов источника питания, мА,±(0,002·I2+18)
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока при объединении 7-ми каналов источника питания, мАот +1400 до +7000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока источниками питания при объединении 7-ми каналов источника питания, мА±(0,002·I2+21)
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока при объединении 8-ми каналов источника питания, мАот 1600 до +8000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока источниками питания при объединении 8-ми каналов источника питания, мА±(0,002·I2+24)
Продолжение таблицы 3
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений силы постоянного тока, мАот -1000 до +1000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока в поддиапазонах, мА: от -0,025 до +0,025 мА от -0,250 до +0,250 мА от -2,5 до +2,5 мА от -25 до +25 мА от -200 до +200 мА от -1000 до +1000 мА±(0,002·I2 +5·10-5) ±(0,001·I2+2,5·10-4) ±(0,001·I2+2,5·10-3) ±(0,001·I2+0,025) ±(0,001·I2+0,25) ±(0,001·I2+1)
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении 2-х каналов источника питания, мАот -2000 до +2000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока источниками питания при объединении 2-х каналов источника питания, мА,±(0,001·I2+2)
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении 3-х каналов источника питания, мАот -3000 до +3000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока источниками питания при объединенных 3-х каналов источника питания, мА,±(0,001·I2+3)
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении 4-х каналов источника питания, мАот -4000 до +4000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока источниками питания при объединении 4-х каналов источника питания, мА±(0,001·I2+4)
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении 5-ти каналов источника питания, мАот -5000 до +5000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока источниками питания при объединении 5-ти каналов источника питания, мА,±(0,001·I2+5)
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении 6-ти каналов источника питания, мАот -6000 до +6000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока источниками питания при объединении 6-ти каналов источника питания, мА,±(0,001·I2+6)
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении 7-ми каналов источника питания, мАот -7000 до +7000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока источниками питания при объединении 7-ми каналов источника питания, мА,±(0,001·I2+7)
Диапазон измерений силы постоянного тока при объединении 8-ми каналов источника питания, мАот -8000 до +8000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока источниками питания при объединении 8-ми каналов источника питания, мА±(0,001·I2+8)
_____________ * Ia – сила тока в цепи, мА; R=0,5 Ом ** I1 - измеряемая (воспроизводимая) сила тока, мкА *** I2 - измеряемая (воспроизводимая) сила тока, мА
Таблица 4 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, оС - относительная влажность окружающего воздуха при температуре 30 оС, %, не болееот +15 до +30 70
Параметры электрического питания: рабочая станция (ПЭВМ), В - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц измерительный блок и система охлаждения - напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гцот 198 до 242 от 50 до 60 от 360 до 440 от 50 до 60
Габаритные размеры, мм, не более: измерительный блок с манипулятором - высота - ширина - длина устройство охлаждения - высота - ширина - длина процессорный блок рабочей станции - высота - ширина - длина монитор рабочей станции - высота - ширина - длина 1880 1290 2270 950 520 870 450 180 500 570 560 250
Масса, кг, не более: - измерительный блок с манипулятором - устройство охлаждения - процессорный блок рабочей станции - монитор рабочей станции1118 185 20 11
КомплектностьТаблица 5 - Комплектность установки
НаименованиеОбозначениеКоличество
1 Установка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур в составе:V93000 SOC Series System E8000SYS1 шт.
1.1 Измерительный блок с манипулятором1 шт.
1.2 Устройство охлаждения Е2760FAL1 шт.
1.3 Калибровочный робот E8006B1 шт.
1.4 Плата диагностическая соединительная1 шт.
1.5 Плата пользователя1 шт.
1.6 Рабочая станция1 шт.
2 Руководство по эксплуатации1 экз.
3 Методика поверки620-18-0011 экз.
Поверкаосуществляется по документу 620-18-001 МП «Инструкция. Установка прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур V93000 SOC Series System E8000SYS. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИФТРИ» 18 сентября 2018 г. Основные средства поверки: - частотомер электронно-счетный 53131, регистрационный номер 26211-03 в Федеральном информационном фонде; - мультиметр 3458А, регистрационный номер 25900-03 в Федеральном информационном фонде; - источник питания постоянного тока Agilent 6624A, регистрационный номер 39239-08 в Федеральном информационном фонде; - источник питания постоянного тока Agilent 6654A, регистрационный номер 38426-08 в Федеральном информационном фонде. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемой установки с требуемой точностью. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска поверительного клейма.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке прецизионного анализа параметров полупроводниковых структур V93000 SOC Series System E8000SYS Приказ Росстандарта от 31.07.2018 № 1621 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений времени и частоты Приказ Росстандарта от 01.10.2018 № 2091 «Об утверждении государственной поверочной схемы для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от 1·10-16 до 100 А ГОСТ 8.027-2001 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы Техническая документация фирмы-изготовителя
ЗаявительФирма «Advantest Europe GmbH», Германия Адрес: Stefan-George-Ring 2, 81929 Munich, Germany Телефон: +49- 89-993-12-0 Факс: +49-89-993-12-101 Web-сайт: www.advantest.com
Испытательный центрФедеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений» (ФГУП «ВНИИФТРИ») Адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский район, п/о Менделеево Юридический адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский район, рабочий поселок Менделеево, промзона ВНИИФТРИ Телефон (факс): +7 (495) 526-63-00 Web-сайт: www.vniiftri.ru E-mail: office@vniiftri.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИФТРИ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30002-13 от 11.05.2018 г.