Сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС

Описание

Сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС — техническое средство с номером в госреестре 74243-19 и сроком свидетельства (заводским номером) зав.№ 057. Имеет обозначение типа СИ: Рефлекс КНС.
Произведен предприятием: ООО "Рефлекс Лайт", г.Москва.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
74243-19
НаименованиеСканирующий лазерный анализатор поверхности пластин
Обозначение типаРефлекс КНС
ПроизводительООО "Рефлекс Лайт", г.Москва
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерзав.№ 057
НазначениеСканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС (далее – анализатор) предназначен для измерений поверхностной концентрации частиц и иных дефектов (царапин, рисок, светящихся точек и т.п.) на поверхности полупроводниковых пластин при контроле их качества.
ОписаниеПринцип работы анализатора основан на измерении интенсивности рассеянного дефектами на поверхности лазерного излучения. Полупроводниковая пластина освещается лазерным лучом под углом 30°. Дефекты на поверхности пластины, попадающие в зону светового пятна лазерного луча, рассеивают его. Рассеянное лазерное излучение фокусируется и направляется на фотоприемник (фотоэлектронный умножитель), где световой сигнал преобразуется в электрический сигнал. Величина электрического сигнала пропорциональна размеру анализируемого дефекта, количество сигналов ( количеству измеренных дефектов. При анализе дефектов учитывается интенсивность рассеяния лазерного излучения непосредственно самой пластиной (матовость), зависящая от качества ее изготовления и обработки. Анализатор предназначен для анализа непрозрачных полированных полупроводниковых пластин изготовленных из арсенида галлия (GaAs), кремния (Si), кремния на сапфире (КНС). Конструктивно анализатор состоит из измерительного блока и персонального компьютера. В измерительный блок входят: лазер с длиной волны 405 нм, оптическая система для формирования и направления падающего лазерного луча, предметный столик с вакуумным креплением для вертикального размещения анализируемой пластины, привод с шаговым электродвигателем, обеспечивающий спиральное перемещение предметного столика относительно неподвижного лазерного луча, оптическая система для сбора рассеянного лазерного излучения, фотоприемник (ФЭУ), электронный блок для обработки измеренных данных, а также для хранения и передачи их на компьютер. Управление анализатором и представление результатов измерений осуществляется на компьютере с помощью автономного программного обеспечения на основе операционной системы Windows. Результаты измерений представляются на компьютере в виде таблиц и дифференциальных гистограмм распределения дефектов по размерам. Питание анализатора осуществляется от сети переменного тока, связь с компьютером ( через интерфейс USB. По способу эксплуатации анализатор относится к переносному лабораторному оборудованию. Внешний вид анализатора приведен на рисунке 1, схема его пломбировки от несанкционированного доступа показана на рисунке 2. Рисунок 1 ( Внешний вид сканирующего лазерного анализатора поверхности пластин Рефлекс КНС Рисунок 2 ( Схема пломбировки сканирующего лазерного анализатора поверхности пластин Рефлекс КНС от несанкционированного доступа
Программное обеспечениеАнализатор имеет автономное программное обеспечение «Reflex» (ПО), разработанное ООО «РЕФЛЕКС ЛАЙТ» на основе операционной системы Windows. Основные функции ПО: управление работой анализатора, обработка измерительных сигналов, представление и хранение результатов измерений. ПО устанавливается на управляющий компьютер анализатора при первичном введении его в эксплуатацию. Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОReflex
Номер версии (идентификационный номер) ПО2.3
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) FABBA160
Алгоритм вычисления идентификатора ПОCRC32
Уровень защиты ПО «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 ( Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон показаний размеров обнаруживаемых частиц и дефектов, мкмот 0,12 до 3,2
Диапазон измерений поверхностной концентрации частиц и дефектов, дм-2от 3 до 100000
Пределы допускаемой приведенной1) погрешности поверхностной концентрации частиц и дефектов в диапазоне от 3 до 15 дм-2 включ., %±10
Пределы допускаемой приведенной1) погрешности поверхностной концентрации частиц и дефектов в диапазоне св. 15 до 900 дм-2 включ., %±25
Пределы допускаемой относительной погрешности поверхностной концентрации частиц и дефектов в диапазоне св. 900 до 100000 дм-2, %±30
__________ 1) погрешность нормирована как приведенная к верхней границы поддиапазона
Таблица 3 ( Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Напряжение питания от сети переменного тока частотой 50 ( 60 Гц, Вот 198 до 242
Потребляемая мощность измерительного блока, В∙А, не более100
Габаритные размеры измерительного блока анализатора, мм, не более: длина; ширина; высота200 280 300
Масса измерительного блока анализатора, кг, не более7
Рабочие условия применения: температура окружающего воздуха, °С относительная влажность окружающего воздуха %; атмосферное давление, кПа; класс чистоты окружающего воздуха по ГОСТ ИСО 14644-1-2002от +18 до +22 от 45 до 80 от 84 до 106,7 не хуже 5 ИСО
КомплектностьТаблица 4 ( Комплектность анализатора
НаименованиеОбозначениеКоличество
Сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС в составе:1 шт.
( измерительный блок1 шт.
( персональный компьютер1 шт.
Комплект сетевых кабелей1 шт.
Соединительный кабель USB 1 шт.
Руководство по эксплуатации РЕФ.000000.002РЭ1 экз.
Паспорт РЕФ.000000.002ПС1 экз.
Методика поверки МП-640-037-171 экз.
Поверка осуществляется по документу МП-640-037-17 «Инструкция. Сканирующий лазерный анализатор поверхности пластин Рефлекс КНС. Методика поверки», утвержденномуФГУП «ВНИИФТРИ» 27.07.2018 г. Основные средства поверки: Государственный первичный эталон единиц дисперсных параметров аэрозолей, взвесей и порошкообразных материалов ГЭТ 163-2010 в комплекте с образцами монодисперсных латексов по поверочной схеме ГОСТ 8-606.2012. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых анализаторов с требуемой точностью. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке анализатора в виде наклейки или оттиска поверительного клейма.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к сканирующему лазерному анализатору поверхности пластин Рефлекс КНС ГОСТ 8.606-2012 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений дисперсных параметров аэрозолей, взвесей и порошковых материалов Техническая документация фирмы-изготовителя
ЗаявительОбщество с ограниченной ответственностью «Рефлекс Лайт» (ООО «Рефлекс Лайт») ИНН 7735049020 Адрес: 124460, г. Москва, г. Зеленоград, корп. 1205, н.п. 1 Юридический адрес: 124482, г. Москва, Зеленоград, корпус 530, квартира. 126 Телефон: +7 (495) 536-02-60 Web-сайт: http://nanoreflex.ru E-mail: info@nanoreflex.ru
Испытательный центрФедеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений» Адрес: 141570, Московская область, Солнечногорский район, рабочий поселок Менделеево, промзона ВНИИФТРИ Телефон (факс): +7 (495) 526-63-00 Web-сайт: www.vniiftri.ru E-mail: office@vniiftri.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИФТРИ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30002-13 от 11.05.2018 г.