Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100

Описание

Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100 — техническое средство с номером в госреестре 74813-19 и сроком свидетельства (заводским номером) 212258. Имеет обозначение типа СИ: ToF.SIMS 5-100.
Произведен предприятием: Фирма "ION-TOF GmbH", Германия.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
74813-19
НаименованиеМасс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный
Обозначение типаToF.SIMS 5-100
ПроизводительФирма "ION-TOF GmbH", Германия
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номер212258
НазначениеМасс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100 (далее – прибор) предназначен для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов. Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин p-n переходов, послойного и трёхмерного элементного анализа в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях.
ОписаниеПринцип действия прибора основан на явлении вторичной эмиссии: испускании твердым телом ионов при облучении поверхности первичным ионным пучком. В результате взаимодействия первичного иона с энергией в несколько килоэлектронвольт с образцом возникает каскад атомных столкновений, некоторые из которых приводят к эмиссии из приповерхностных слоев как отдельных атомов, так и кластеров, состоящих из нескольких атомов. Определенная доля этих атомов в процессе эмиссии приобретает положительный или отрицательный заряд (вторичные ионы). Эти вторичные ионы несут в себе информацию об элементном и изотопном составе анализируемой области. Прибор использует принцип двух ионных пучков – синхронное чередование импульсных анализирующего и распыляющего пучков. Анализирующий пучок формируется жидкометаллической ионной пушкой с ионами Bi с очень низкой величиной тока (~1 пА), энергией 30 кэВ и очень короткими импульсами (длительностью менее 1 нс) с частотой повторения до 50 кГц. Для формирования распыляющего пучка используется сдвоенная ионная пушка с ионами О2+ и Cs+ с энергиями пучка от 200 эВ до 2 кэВ с возможностью варьирования в широких пределах угла падения ионного пучка. Измерение масс-спектра вторичных ионов осуществляется масс-анализатором времяпролетного типа с импульсным режимом работы. Масса вторичных ионов измеряется по времени их пролёта от распыляемого образца до детектора. В зависимости от поставленной задачи прибор может работать в следующих режимах: - «Режим спектрометра». Используется для измерения масс-спектров поверхности и профилей распределения элементов по глубине. Отличается высоким разрешением по массе, но имеет невысокое латеральное разрешение. - «Режим изображения». Используется для получения сканирующих ионных изображений поверхности и карт трёхмерного распределения элементов. Отличается высоким латеральным разрешением, но имеет сниженное разрешение по массе. - «Оптимальный режим изображения». За счет использования запатентованного пакетного режима первичного пучка сочетает высокое разрешение по массе с высоким латеральным разрешением. Прибор представляет собой автоматизированную многофункциональную измерительную систему. Прибор состоит из основного блока, включающего жидкометаллическую ионную пушку на основе сплава BiMn, сдвоенную распыляющую ионную пушку, рабочую камеру, времяпролетный масс-спектрометр, регистрирующую систему, вакуумную систему, систему управления, и рабочего стола с управляющим компьютером и блоком электроники. Внешний вид прибора и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1. Место нанесения знака поверки Рисунок 1 – Внешний вид масс-спектрометра времяпролетного вторично-ионногоToF.SIMS 5-100 Пломбирование прибора не предусмотрено.
Программное обеспечениеУправление прибором осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «SurfaceLab». ПО «SurfaceLab» предназначено для управления прибором, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «SurfaceLab» не может быть использовано отдельно от прибора. Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1. Таблица 1 – Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОSurfaceLab
Номер версии (идентификационный номер) ПО6.4.ХХХХХ
Цифровой идентификатор ПО-
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Масс-спектральное разрешение, не менее10000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений массы положительных вторичных ионов, а.е.м. (Мном – номинальное значение массы соответствующего положительного вторичного иона, а.е.м.)±(0,1+Мном·10-3)
Продолжение таблицы 2
Наименование характеристикиЗначение
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений массы отрицательных вторичных ионов, а.е.м. (Мном – номинальное значение массы соответствующего отрицательного вторичного иона, а.е.м.)±(0,1+Мном·10-3)
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Максимальная энергия первичного пучка Bi+, кэВ30
Максимальный ток первичного пучка Bi+ в режиме постоянного тока, нА, не менее 30
Ускоряющее напряжение первичных ионов цезия Cs+, кВот 0,2 до 2
Максимальный ток ионов Cs+, нА, не менее: - энергия пучка 0,5 кВ - энергия пучка 1 кВ - энергия пучка 2 кВ40 75 150
Ускоряющее напряжение первичных ионов кислорода О2+, кВот 0,25до 2
Максимальный ток ионов О2+, нА, не менее: - энергия пучка 0,5 кВ - энергия пучка 1 кВ - энергия пучка 2 кВ100 250 600
Масса, кг, не более - основной блок - рабочий стол с управляющим компьютером и блоком электроники900 300
Габаритные размеры основных составных частей (Д××В), мм, не более: - основной блок - рабочий стол с управляющим компьютером и блоком электроники930×1820×2050 1650×1730×757
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, ºС - относительная влажность воздуха, %от +18 до +22 от 20 до 80
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, Вот 210 до 230
Потребляемая мощность, не более, Вт3500
КомплектностьКомплектность средства измерений представлена в таблице 4. Таблица 4 – Комплектность средства измерений Наименование Обозначение Количество Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100 - 1 шт. Руководство по эксплуатации - 1 экз. Методика поверки - 1 экз.
Поверкаосуществляется по документу МП 74813-19 «Масс-спектрометр времяпролетный вторично-ионный ToF.SIMS 5-100. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 25 октября 2018 г. Основные средства поверки: - стандартный образец карбида кремния типа КК (К9) ГСО 4302-88. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого масс-спектрометра с требуемой точностью. Знак поверки наносится на лицевую панель прибора в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельстве о поверке.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к масс-спектрометру времяпролетному вторично-ионному ToF.SIMS 5-100 Техническая документация фирмы-изготовителя.
ЗаявительФирма ION-TOF GmbH, Германия Адрес: Heisenbergstraβe 15, 48149 Münster, Germany Тел./факс: +49(0)251-1622-100/+49(0)251-1622-199 E-mail: sales@iontof.com
Испытательный центрАкционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1 Тел./факс: +7 (495) 935-97-77 E-mail: nicpv@mail.ru Аттестат аккредитации АО «НИЦПВ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311409 от 08.02.2017 г.