Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом 233DC

Описание

Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом 233DC — техническое средство с номером в госреестре 74997-19 и сроком свидетельства (заводским номером) 141102-IS30BC. Имеет обозначение типа СИ: 233DC.
Произведен предприятием: Фирма "Four Dimensions, Inc.", США.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 2 года
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом 233DC.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом 233DC.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
74997-19
НаименованиеУстановка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
Обозначение типа233DC
ПроизводительФирма "Four Dimensions, Inc.", США
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)2 года
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номер141102-IS30BC
НазначениеУстановка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модель 233DC (далее — установка) предназначена для измерений поверхностного электрического сопротивления полупроводниковых пластин.
ОписаниеПринцип действия установки основан на четырехзондовом методе измерения поверхностного сопротивления. На плоскую поверхность пластины опускается зондовая головка с четырьмя игольчатыми зондами. Через зонды «1» и «4» пропускается ток, а между зондами «2» и «3» измеряется падение напряжения. Результаты измерений автоматически пересчитываются в значения поверхностного сопротивления. Установка позволяет проводить последовательные измерения пластин диаметром до 200 мм, размещенных в кассете. Для обеспечения перемещения пластин из кассеты в кассету, а также их загрузки-выгрузки требуется подключение вакуумной системы и подачи сжатого воздуха. Установка конструктивно выполнена в виде стойки-моноблока и состоит из автоматической системы измерения электрического сопротивления зондовым методом, видеосистемы Cognex для определения центра пластины и лифта, управляющего вертикальным движением кассеты. В стойке обеспечена возможность размещения ПК и принтера. На дисплее установки отображаются результаты измерений поверхностного электрического сопротивления в Ом на квадрат поверхности объекта измерения. Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1. Пломба в виде неразрушаемой наклейки клеится на дверцу корпуса установки, перекрывая зазор между дверцей и корпусом. Рисунок 1 – Общий вид установки
Программное обеспечениеУстановка имеет встроенное и автономное программное обеспечение (ПО). Встроенное ПО выполняет функции сбора, обработки, отображения, хранения и передачи измеренных данных. Автономное ПО выполняет функции обработки, отображения, хранения и передачи измеренных данных. Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствие сР50.2.077-2014. Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик. Таблица 1 – Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки) Значение
Идентификационное наименование ПО-Auto Four-point Probe 233A DI
Номер версии (идентификационный номер) ПО-не ниже 5.51
Цифровой идентификатор ПО--
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений поверхностного электрического сопротивления постоянному току (на квадрат поверхности), Омот 1∙10-3 до 8∙109
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений поверхностного электрического сопротивления постоянному току, %±1,0
Пределы допускаемых относительных отклонений действительных значений электрического сопротивления резисторов калибровочного набора от их номинальных значений, %
20 мОм±0,3
0,2 Ом±0,2
2 Ом±0,04
20 Ом±0,04
0,2 кОм±0,04
2 кОм±0,04
20 кОм±0,04
0,2 МОм±0,1
2 МОм±0,3
20 МОм±0,3
0,2 ГОм±0,3
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Напряжение питающей сети переменного тока, В 220±22
Частота питающей сети, Гц50/60
Потребляемая мощность, Вт, не более1000
Габаритные размеры (длина × ширина × высота), мм, не более600 × 1055 × 1645
Масса, кг, не более100
Средний срок службы, лет10
Средняя наработка на отказ, ч20000
Условия эксплуатации: температура окружающей среды, °С относительная влажность, % атмосферное давление, кПаот +20 до +24 от 40 до 60 50±10 от 97 до 105
КомплектностьТаблица 4 – Комплектность установки
НаименованиеОбозначениеКоличество
Установка 233DC1 шт.
Калибровочный набор из 11 резисторов:
20 мОмCAL-11 шт.
0,2 ОмCAL 01 шт.
2 ОмCAL 11 шт.
20 ОмCAL 21 шт.
0,2 кОмCAL 31 шт.
2 кОмCAL 41 шт.
20 кОмCAL 51 шт.
0,2 МОмCAL 61 шт.
2 МОмCAL 71 шт.
20 МОмCAL 81 шт.
0,2 ГОмCAL 91 шт.
Руководство по эксплуатации (на CD диске)-1 экз.
Программное обеспечение (на CD диске)Auto Four-point Probe 233A DI1 экз.
Методика поверки МП 2202-0073-20181 экз.
Поверкаосуществляется по документу МП 2202-0073-2018 «ГСИ. Установка для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модель 233DC. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 10 декабря 2018 г. Основные средства поверки: - нановольтметр/микроомметр 34420А, диапазон измерений электрического сопротивления 1 мкОм – 1 МОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления ±(0,006 – 0,007) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 47886-11; - измеритель малых токов B2987A, диапазон измерений электрического сопротивления 10 Ом – 10 ПОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления в необходимом диапазоне измерений ±(0,135 – 0,285) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 68608-17; - катушка электрического сопротивления Р4030, 1000 МОм, класс точности 0,01, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 2825-72. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого СИ с требуемой точностью. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке или на лицевую стенку установки, как указано на рисунке 1.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке для измерения поверхностного сопротивления четырехзондовым методом модель 233DC Приказ Росстандарта № 146 от 15 февраля 2016 г. «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления» ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия
ЗаявительФирма «Four Dimensions, Inc.», США Адрес: 3138 Diablo Ave., Hayward, CA 94545, USA Телефон: (510) 782-1843 Факс: (510) 786-9321 Web-сайт: www.4dimensions.com
Испытательный центрФедеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19 Телефон: (812) 251-76-01 Факс: (812) 713- 01-14 Web-сайт: www.vniim.ru E-mail: info@vniim.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311541 от 23.03.2016 г.