Спектрометр оже-электронный PHI-670xi

Описание

Спектрометр оже-электронный PHI-670xi — техническое средство с номером в госреестре 75035-19 и сроком свидетельства (заводским номером) 167. Имеет обозначение типа СИ: PHI-670xi.
Произведен предприятием: Фирма "Physical Electronics, Inc.", США.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Спектрометр оже-электронный PHI-670xi.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Спектрометр оже-электронный PHI-670xi.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
75035-19
НаименованиеСпектрометр оже-электронный
Обозначение типаPHI-670xi
ПроизводительФирма "Physical Electronics, Inc.", США
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номер167
НазначениеСпектрометр оже-электронный PHI-670xi (далее по тексту – спектрометр) предназначены для измерений энергии и интенсивности линий оже-электронов, эмиттируемых образцом при облучении его электронным пучком.
ОписаниеПринцип действия спектрометра основан на явлении испускания оже-электронов твердым объектом под действием облучения сфокусированным пучком электронов с энергией от 0,1 до 25 кэВ в условиях сверхвысокого вакуума. Возникающие вторичные электроны, в том числе оже-электроны, поступают в анализатор оже-электронов типа цилиндрическое зеркало, который позволяет регистрировать зависимость потокаоже-электронов от их кинетической энергии. Образование оже-электрона происходит в результате многоступенчатого процесса: при взаимодействии первичного пучка электронов с образцом с глубокого энергетического уровня атома выбивается электрон, образовавшаяся вакансия заполняется электроном с более высокого уровня, выделившаяся энергия передается электрону с внешней оболочки атома (оже-электрону), в результате чего оже-электрон покидает образец. Глубина выхода оже-электронов составляет от 1 до 10 нм. Энергия пика оже-электрона не зависит от энергии первичного электронного пучка, а определяется структурой энергетических уровней атомов образца, (и является специфичной для каждого химического элемента), что позволяет идентифицировать химические элементы в приповерхностной области исследуемого объекта толщиной от 1 до 10 нм. Оже-профиль получается в результате ионного распыления образца пучком ионов Ar+ под углом к поверхности, при этом через равные промежутки времени регистрируется интенсивность сигналов присутствующих в данной структуре оже-пиков. Таким образом, получался набор данных – значений интенсивности оже-пика для разной толщины стравленного слоя образца. Спектрометр позволяет получать карты распределения элементов на поверхности путем зондирования электронным пучком поверхности образца в растровом режиме. При этом регистрируется интенсивность оже-сигнала данного элемента в каждой точке сканирования и создается изображение, в котором яркость каждого пиксела определяется интенсивностью оже-сигнала в соответствующей точке сканирования. Оже-карты могут быть представлены в разных цветовых гаммах. Конструктивно спектрометр состоит из: - основного блока, включающего вакуумную систему, электронную пушку с электронно-оптической системой для формирования первичного электронного пучка, анализатор энергетического спектра оже-электронов типа «цилиндрическое зеркало», ионную пушку, использующую аргон в качестве источника ионов; - блока электроники с управляющим компьютером. Общий вид спектрометра и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1. Место нанесения знака поверки Рисунок 1 - Общий вид спектрометра оже-электронного PHI-670xi Пломбирование спектрометра не предусмотрено.
Программное обеспечениеУправление спектрометром осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО). Программное обеспечение (ПО) «Smart Soft-AES» является специализированным ПО микроскопа. ПО «Smart Soft-AES» предназначено для управления спектрометром, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «Smart Soft-AES» не может быть использовано отдельно от спектрометра. Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1. Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения спектрометра
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОSmart Soft-AES
Номер версии (идентификационный номер) ПО4.4.0.9
Цифровой идентификатор ПО-
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Относительное энергетическое разрешение спектрометра, %, не более0,6
Предел допускаемого значения относительного СКО интенсивности линий оже-электронов, %0,5
Отношение сигнал/шум при регистрации оже-электронов на линии меди Cu LMM, не менее300:1
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Энергия первичного пучка электронов, кэВот 0,1 до 25
Максимальный ток первичного пучка электронов, нА, не менее 100
Ускоряющее напряжение первичных ионов аргона Ar+, кВот 0,2 до 5
Максимальный ток ионов Ar+, мкА, не менее5
Диапазон регистрируемых энергий электронов, эВот 0 до 3200
Масса, кг, не более1950
Габаритные размеры (ДxШхВ), мм, не более: - основной блок - блок электроники с управляющим компьютером980×1400×2100 2300×1350×1540
Условия эксплуатации: - температуры окружающей среды, ºС -относительная влажность воздуха, %, не болееот +17 до +23 50
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, Вот 210 до 230
Потребляемая мощность, Вт, не более5000
КомплектностьКомплектность спектрометра представлена в таблице 4. Таблица 4 – Комплектность спектрометра
НаименованиеОбозначениеКоличество
Спектрометр оже-электронный PHI-670xi1 шт.
Руководство по эксплуатации-1 экз.
Методика поверки-1 экз.
Поверкаосуществляется по документу «Спектрометр оже-электронный PHI-670xi. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 15 января 2019 г. Основные средства поверки: - СО состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171) - ГСО 6319-92/6323-92, образец с индексом 1715. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого спектрометра с требуемой точностью. Знак поверки наносится на лицевую панель спектрометра в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к спектрометру оже-электронному PHI-670xi Техническая документация фирмы-изготовителя
ЗаявительФирма Physical Electronics, Inc., США Адрес: 18725 Lake Drive East, Chanhassen, MN 55317, USA Тел.: (952) 828-6100 E-mail: sales@phi.com
Испытательный центрАкционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1 Тел./факс: (495) 935-97-77 E-mail: nicpv@mail.ru Аттестат аккредитации АО «НИЦПВ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311409 от 08.02.2017 г.