| Метрологические и технические характеристики | Таблица 2 - Метрологические характеристики приборов Surftest SJ-500 и SV-2100| Модификация | SJ-500 и SJ-500P | SV-2100M4 SV-2100M4P | SV-2100 S4 | SV-2100 H4 | SV-2100 W4 | | Диапазон перемещения щупа, мм | ось Х | От 0 до 50 | От 0 до 100 | | Разрешение, мкм | ось Х | 0,05 мкм | | Диапазон измерений, мкм/
Разрешение, мкм | ось Z1 | от 0 до 800 /0,010; от 0 до 80/0,001;
от 0 до 8 /0,0001 | | Пределы допускаемой относительной погрешности по параметру Ra, % | | ±2 | | Допускаемое отклонение от прямолинейности перемещения, мкм/мм | ось Х | 0,2/50 | 0,15/100 |
Таблица 3 - Технические характеристики приборов Surftest SJ-500 и SV-2100
| Модификация | SJ-500 и SJ-500P | SV-2100M4 SV-2100M4P | SV-2100 S4 | SV-2100 H4 | SV-2100 W4 | | Метод измерения | ось Х | Керамические направляющие/линейная шкала | | Щуп | | угол 60°, радиус 2 мкм (угол 90°, радиус 5 мкм) | | Измерительное усилие, мН | | 0,75 (4) | | Измеряемые параметры | | Ra, Rc, Ry, Rz, Rmax, R3z, Rt, Rp, Rv, Rq, RPc, Sm, S, Pc, mr©, δc, mr, tp, Htp, Lo, Lr, Ppi, HSC, Δа, Δq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, λa, λq, R, AR, Rx, W, AW, Wx, Wte (43 параметра) | | Фильтры | | Гаусс, 2СR75, PC75 | | Отсечка шага | мм | λc | 0,025; 0,08; 0,25; 0,8; 2,5; 8; 25; 80 | | Диапазон вертикального перемещения, мм | ось Z2 | - | От 0 до 350 | От 0 до 550 | | Разрешение, мкм | ось Z2 | - | - | 1 | | Размеры плиты, мм, не более
-длина;
-ширина | | - | 600
450 | 1000
450 | | Габаритные размеры, мм, не более
-ширина,
-длина
-высота | | 425
94
160 | 716
450
863 | 766
482
966 | 766
482
1166 | 1166
482
1176 | | Масса, кг, не более | | 6,7 | 140 | 150 | 220 |
Таблица 4 - Метрологические характеристики приборов Surftest SV-3200
| Модификация | SV-3200 | SV-3200 | SV-3200 | SV-3200 | SV-3200 | SV-3200 | SV-3200 | SV-3200 | | Диапазон перемещения щупа, мм | ось Х | От 0 до 100 | От 0 до 200 | | Разрешение, мкм | ось Х | 0,05 | | Диапазон измерений, мкм/ разрешение, мкм | ось Z1 | От 0 до 800/0,010; от 0 до 80/0,001;
от 0 до 8 /0,0001 | | Пределы допускаемой относительной погрешности по параметру Ra, % | | ±2 | | Допускаемое отклонение от прямолинейности перемещения, мкм | ось Х | 0,05+0,001∙L,
где L длина перемещения в мм | 0,1+0,001∙L,
где L длина перемещения в мм |
Таблица 5 - Технические характеристики приборов Surftest SV-3200
| Метод измерений | ось Х | Керамические направляющие/линейная шкала | | Щуп | - | угол 60°, радиус 2 мкм (угол 90°, радиус 5 мкм) | | Измерительное усилие, мН | | 0,75 (4) | | Измеряемые параметры | - | Ra, Rc, Ry, RyDIN, Rz, RzDIN, Rmax, R3z, R3y, Rt, Rp, Rv, Rq, RPc, Sm, S, Pc, mr©, δc, mr, mrd, tp, Htp, Lo, Lr, Ppi, HSC, Δq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, λa, λq, R, AR, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, Rx, W, AW, Wx, Wte, NW, SW, SAW | | Фильтры | - | Гаусс, 2СR75, 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50 | | Отсечка шага | мм | λc | 0,0025; 0,08; 0,25; 0,8; 2,5; 8; 25; 80 | | Диапазон вертикального перемещения, мм | Ось Z2, | От 0 до 300 | От 0 до 500 | От 0 до 700 | От 0 до 300 | От 0 до 500 | От 0 до 700 | | Разрешение, мкм | ось Z2 | 1 | | Размеры плиты, мм, не более | | | | | | | | -длина; | | -ширина | | Габаритные размеры, мм, не более | | | | | | | | | | | -ширина, | | -длина | | -высота | | Масса, кг, не более | | 140 | 150 | 220 | 270 | 140 | 150 | 220 | 270 |
Таблица 6 - Метрологические характеристики приборов Surftest SV-3000 CNC
| Модификация | SV-3000CNC-S | SV-3000CNC-H | | Диапазон перемещения щупа, мм | Ось Х | От 0 до 200 | | Разрешение, мкм | Ось Х | 0,05 | | Допускаемое отклонение от прямолинейности перемещения, мкм/мм | Ось Х | 0,5/200 | | Диапазон перемещений, мм | Ось Z2 | От 0 до 300 | От 0 до 500 | | Разрешение, мкм | Ось Z2 | 0,05 | | Диапазон измерений, мкм/
Разрешение, мкм | Ось Z1 | От 0 до 800/0,010; от 0 до 80/0,001;
от 0 до 8/0,0001 | | Пределы допускаемой основной относительной погрешности прибора по параметру Ra, % | | ±2 | | Диапазон перемещений, мм | Ось Y | От 0 до 200 | От 0 до 200 | | Разрешение, мкм | Ось Y | 0,05 | 0,05 | | Допускаемое отклонение от прямолинейности перемещения, мкм/мм | Ось Y | 0,5/200 | 0,5/200 |
Таблица 7 - Технические характеристики приборов Surftest SV-3000 CNC
| | SV-3000CNC-S | SV-3000CNC-H | | Размеры стола, мм, не более
-длина;
-ширина | | 200
200 | 200
200 | | Щуп | | угол 60°, радиус 2 мкм (угол 90°, радиус 5 мкм) | | Измерительное усилие, мН | | 0,75 (4) | | Измеряемые параметры | | Ra, Rc, Ry, RyDIN, Rz, RzDIN, Rmax, R3z, R3y, Rt, Rp, Rv, Rq, RPc, Sm, S, Pc, mr, δc, mr, mrd, tp, Htp, Lo, Lr, Ppi, HSC, Δq, Ku, Sk, Rpk, Rvk, Rk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, λa, λq, R, AR, NR, NCRX, CPM, SR, SAR, Rx, W, AW, Wx, Wte, NW, SW, SAW | | Фильтры | | Гаусс, 2СR75, 2CRPC75, 2CRPC50, 2CR75, 2CR50 | | Отсечка шага | мм | λc | 0,0025; 0,08; 0,25; 0,8; 2,5; 8; 25; 80 | | Размеры плиты, мм, не более
-длина;
-ширина | | 750
600 | | Габаритные размеры, мм, не более
-ширина,
-длина
-высота | | 800
620
1000 | 800
620
1200 | | Масса, кг, не более | | 240 | 250 |
Таблица 8 - Эксплуатационные характеристики приборов серии 178
| Модификация | SJ-500 | SV-2100 | SV-3200 | SV-3000CNC | | Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, °С
-относительная влажность воздуха (без конденсата), % | От +15 до +25
от 20 до 80 | | Диапазон температур при хранении, °C | от-10 до +50 | | Допустимая влажность воздуха при хранении (без конденсата), % | от 5 до 90 | | Параметры электрического питания: | от 100 до 240 | от 100 до 120, от 200 до 240 | | -напряжение переменного тока, В | | -частота переменного тока, Гц | 50 - 60 | | Мощность, В∙А | 75 | 140 | 500 |
|
