|
Изображение |  | Номер в госреестре | |
| Наименование | Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем |
| Обозначение типа | V93000 Pin Scale 1600/CTH |
| Производитель | Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия |
| Описание типа | Скачать |
| Методика поверки | Скачать |
| Межповерочный интервал (МПИ) | 1 год |
| Допускается поверка партии | Нет |
| Наличие периодической поверки | Да |
| Сведения о типе | Заводской номер |
| Срок свидетельства или заводской номер | зав.№ MY04601879 |
| Назначение | Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH (далее – стенд) предназначен для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (далее – СБИС) на пластине и в корпусе.
|
| Описание | Принцип работы стенда основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока) и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B).
Стенд выполнен в виде измерительного головного блока, имеющего вариант исполнения CTH (Compact test head), манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливаются измерительная оснастка с объектом контроля или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Внешний вид стенда представлен на рисунке 1.
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, количество до 16 шт., всего до 1024 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются широкодиапазонный драйвер и два широкодиапазонных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий аналого-цифровой преобразователь BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
- одноканальная плата прецизионного источника-измерителя напряжения и силы тока HPPMU, количество до 2 шт.;
- 8-ми канальные платы измерительных источников питания MS DPS (E9711A/B), количество до 2 шт.
|
| Программное обеспечение | Программное обеспечение выполняет функции создания и редактирования параметров функционального и параметрического контроля, обработки и документирования измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений – «низкий» по Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение | | идентификационное наименование | SmarTest | | идентификационный номер версии | 7.2.3.0 и выше |
| место пломбирования (стикер)
место размещения знака утверждения типа и знака поверки
Рисунок 1 – Общий вид стенда V93000 Pin Scale 1600/CTH | $$$$$
| Метрологические и технические характеристики | представлены в таблицах 2 и 3.
Таблица 2 – Метрологические характеристики
| Наименование | Значение | | 1 | 2 | | Диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс | от 2,5 до 31250 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
длительности вектора тестовой последовательности, нс | ±15∙10-6∙Т | | Диапазон установки временных меток формирования
выходных импульсов D1–D8, стробирующих импульсов R1–R8, нс | от –4∙Т до +12∙Т | | Крайние значения временных меток, мкс | –6,3; +19 | | Разрешение временных меток, пс | 1 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1–D8 и R1–R8, пс | ±150 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | Длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера, нс, не более | | при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,6 | | при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,7 | | при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,8 | | Минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс | | при амплитуде 1,0 В | 0,7 | | при амплитуде 1,8 В | 0,8 | | при амплитуде 3,0 В | 0,9 | | Длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более | | при амплитуде 3 В (по уровням 20 и 80 %) | 9 | | при амплитуде 10 В (по уровням 20 и 80 %) | 250 | | Длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более | | при амплитуде 3 В (по уровням 20 и 80 %) | 10,5 | | при амплитуде 10 В (по уровням 20 и 80 %) | 30 | | Диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В | от –1,5 до +6,5 | | Разрешение напряжения драйвера, мВ | 1 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения драйвером, мВ | ±5 | | Выходное сопротивление драйвера, Ом | от 47,5 до 52,5 | | Диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В | | диапазон VIL/VIH | от 0 до 6,5 | | диапазон VHH | от 6 до 13,4 | | Разрешение широкодиапазонного драйвера, мВ | 1 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения широкодиапазонным драйвером, мВ | ±15 | | Выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом | | при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В | от 45 до 55 | | при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В | не более 10 | | Диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, В | от –1,5 до +6,5 | | Разрешение компаратора, мВ | 1 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения компаратором, мВ | ±15 | | Диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, В | от –3,0 до +13,4 | | Разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ | 1 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения широкодиапазонным компаратором, мВ | | | при уровнях напряжения от 0 до 8 В | ±20 | | при уровнях напряжения от –3,0 до +13,4 В | ±50 | | Диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, В | от –1,5 до +6,5 | | Диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В | ±1 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | Разрешение дифференциального компаратора, мВ | 1 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения дифференциальным компаратором, мВ | ±15 | | Диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А), мА | ±25 | | Разрешение силы тока активной нагрузки, мкА | 12,5 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока I активной нагрузки, мкА | ±(1·10-2∙I + I0),
I0 = 75 мкА | | Диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В | | при силе тока в пределах ±1 мА | от –1,5 до +6,5 | | при силе тока в пределах ±25 мА | от –1,0 до +5,5 | | Диапазон воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU, В | | при силе тока в пределах ±1 мА | от –2,0 до +6,5 | | при силе тока в пределах ±40 мА | от –2,0 до +5,75 | | Разрешение по напряжению источника-измерителя PMU, мкВ | | воспроизведение напряжения | 200 | | измерение напряжения | 75 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения ΔU источника-измерителя PMU определяются по формуле
ΔU = ±(U0 + I·R),
где I – сила тока нагрузки, мА; R = 1 Ом;
U0 = 3 мВ для воспроизведения напряжения;
U0 = 2 мВ для измерения напряжения от 0 до +3,3 В;
U0 = 4 мВ для измерения напряжения от –2,0 до 0 и от +3,3 до +6,5 В | | Верхние пределы воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) | 2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА | | Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU | | на пределе 2 мкА | 1 нА | | на пределе 10 мкА | 5 нА | | на пределе 100 мкА | 50 нА | | на пределе 1 мА | 0,5 мкА | | на пределе 40 мА | 20 мкА | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы постоянного тока ΔI источником-измерителем PMU определяются по формуле
Δ I = ±(5·10-3∙I + I0),
где I – сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже:
верхний предел
значения I0, мкА
воспроизведение силы тока
измерение силы тока
2 мкА
0,04
0,01
10 мкА
0,1
0,05
100 мкА
0,5
0,2
1 мА
5
1,25
40 мА
50
50 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | Диапазон измерения напряжения АЦП BADC, В | | в стандартном режиме | от –3,0 до +8,0 | | в широкодиапазонном режиме | от –6,0 до +13,4 | | Входное сопротивление АЦП BADC, не менее, МОм | 100 | | Разрешение АЦП BADC, мкВ | | в стандартном режиме | 75 | | в широкодиапазонном режиме | 150 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения АЦП BADC, мВ | | в стандартном режиме | ±1 | | в широкодиапазонном режиме | ±10 | | Диапазон воспроизведения и измерения напряжения прецизионным источником-измерителем HPPMU, В | | при подключении через плату PS1600 | от –1,5 до +6 | | при подключении через разъем UTILITY pogo block | от –5 до +8 | | Разрешение по напряжению HPPMU, мкВ | 250 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ | | при подключении через плату PS1600 | ±(U0 + I·R)
I – сила тока нагрузки, мА
U0 = 2 мВ; R = 1 Ом | | при подключении через разъем UTILITY pogo block | ±2 | | Верхние пределы воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU | 5; 200 мкА; 5; 200 мА | | Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU | | на пределе 5 мкА | 250 пА | | на пределе 200 мкА | 6 нА | | на пределе 5 мА | 250 нА | | на пределе 200 мА | 6 мкА | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы постоянного тока ΔI источником-измерителем HPPMU определяются по формуле
ΔI = ±(1·10-3∙I + I0),
где I – сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже:
верхний предел
значения I0, мкА
5 мкА через плату PS1600
0,05
5 мкА через разъем UTILITY pogo block
0,01
200 мкА
0,2
5 мА
10
200 мА
200 |
Окончание таблицы 2
| 1 | 2 | | Диапазон воспроизведения напряжения измерительным источником питания MS DPS, В | от –8 до +8 | | Разрешение воспроизведения напряжения MS DPS, мкВ | 300 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения ΔU измерительным источником питания MS DPS определяются по формуле
ΔU = ±(1·10-3∙U + U0 + I·R),
где U – напряжение, мВ; I – сила тока нагрузки, А; R = 4 мОм;
U0 = 4 мВ для 4-х канального режима;
U0 = 2 мВ для 8-ми канального режима | | Максимальная сила тока в нагрузке одного канала MS DPS в 4-х канальном режиме, А | | при воспроизведении напряжения от 0 до +7 В | от –1,5 до +8,0 | | при воспроизведении напряжения от +7 до +8 В | от –1,5 до +4,0 | | при воспроизведении напряжения от 0 до –8 В | от –4,0 до +1,5 | | Максимальная сила тока в нагрузке одного канала MS DPS в 8-и канальном режиме, А | | при воспроизведении напряжения от 0 до +7 В | от –1,5 до +4,0 | | при воспроизведении напряжения от +7 до +8 В | от –1,5 до +2,0 | | при воспроизведении напряжения от 0 до –8 В | от –2,0 до + 1,5 | | Верхние пределы измерения силы постоянного тока измерительным источником питания
MS DPS | | в 4-х канальном режиме | 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 8 А | | в 8-ми канальном режиме | 10 мкА; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А | | Разрешение измерения силы тока MS DPS в 4-х и 8-ми канальных режимах | | на пределе 10 мкА – только для 8-ми канального режима | 500 пА | | на пределе 0,1 мА | 5 нА | | на пределе 1 мА | 50 нА | | на пределе 10 мА | 500 нА | | на пределе 0,3 А | 15 мкА | | на пределе 4 А – только для 8-ми канального режима | 150 мкА | | на пределе 8 А – только для 4-х канального режима | 150 мкА | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока ΔI одним каналом MS DPS, определяются по формуле
ΔI = ±(1·10-3∙I + I0)
где I – сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже:
предел измерения
значения I0, мкА
10 мкА – только для 8-ми канального режима
0,01
0,1 мА
0,1
1 мА
1
10 мА
10
0,3 А
300
4 А – только для 8-ми канального режима
10000
8 А – только для 4-х канального режима
20000 |
Таблица 3 – Основные технические характеристики
| Габаритные размеры (высота × ширина × глубина), мм | | головной блок с манипулятором | 1880 × 1290 × 2270 | | установка водяного охлаждения | 950 × 520 × 870 | | Масса головного блока с манипулятором, кг, не более | 1118 | | Масса установки водяного охлаждения, кг, не более | 185 | | Напряжение питания (сеть трехфазного тока) частотой 50 Гц, В | от 360 до 440 | | Потребляемая мощность, кВ∙А, не более | 15 | | Температура окружающей среды в рабочих условиях, °С | от 20 до 30 | | Относительная влажность при температуре 30 °С, %, не более | 70 |
|
| Комплектность | приведена в таблице 4.
Таблица 4 – Комплектность стенда
| Наименование и обозначение | Кол-во, шт. | | Измерительный головной блок | 1 | | Манипулятор | 1 | | Установка водяного охлаждения | 1 | | Программа управляющая SmarTest | 1 | | Управляющий компьютер HP Z640 | 1 | | Руководство по эксплуатации | 1 | | Методика поверки V93000PS1600СTH/МП-2019 | 1 |
|
| Поверка | осуществляется по документу V93000PS1600СTH/МП-2019 «ГСИ. Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH. Методика поверки», утвержденному АО «АКТИ-Мастер» 24.12.2019 г.
Основные средства поверки:
- частотомер электронно-счетный 53132A с опциями 012 и 030 (регистрационный номер 26211-03);
- осциллограф цифровой DPO7254 с пробником Р6158А (регистрационный номер53104-13);
- мультиметр цифровой 2000 (регистрационный номер 25787-08);
- калибратор-мультиметр цифровой 2420 (регистрационный номер 25789-08);
- мультиметр 3458А (регистрационный номер 25900-03);
- калибратор-измеритель напряжения и силы тока 2651А (регистрационный номер 49334-12);
- калибратор универсальный 9100 (регистрационный номер 25985-09).
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого средства измерений с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на панель корпуса измерительного головного блока и на свидетельство о поверке.
| | Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к стенду измерительному для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/СTH
ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы
ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1·10-16 ÷ 30 А
ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты (приказ Росстандарта от 31.07.2018 г. № 1621)
|
| Заявитель | Компания “Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen”, Германия
Адрес: Herrenberger Strasse 130, 71034, Boeblingen, Germany
Тел.: +49-7031-4357-000, факс: +49-7031-4357-497
Адрес производства: Plot 88A Lintang Bayan Lepas 9, Bayan Lepas, Penang 11900, Malaysia, Advantest PTE, Ltd.
|
| Испытательный центр | Акционерное общество «АКТИ-Мастер» (АО «АКТИ-Мастер»)
Адрес: 127106, г. Москва, Нововладыкинский проезд, д. 8, стр. 4, этаж 3, офис 310-314
Тел./факс: +7 (495) 926-71-70
Web: http://www.actimaster.ru
E-mail: post@actimaster.ru
Аттестат аккредитации ЗАО «АКТИ-Мастер» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311824 от 14.10.2016 г.
|
| |
