Эллипсометры спектральные OptiReader™

Описание

Эллипсометры спектральные OptiReader™ — техническое средство с номером в госреестре 78495-20 и сроком свидетельства (заводским номером) 29.06.2025. Имеет обозначение типа СИ: OptiReader™.
Произведен предприятием: Фирма "Petroleum Analyzer Company, L.P.", США.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Эллипсометры спектральные OptiReader™.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Эллипсометры спектральные OptiReader™.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Номер в госреестре
НаименованиеЭллипсометры спектральные
Обозначение типаOptiReader™
ПроизводительФирма "Petroleum Analyzer Company, L.P.", США
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер29.06.2025
НазначениеЭллипсометры спектральные OptiReader™ (далее – эллипсометры) предназначены для бесконтактных автоматизированных измерений толщины оптических покрытий, образующихся на нагревательных трубках в процессе взаимодействия жидкого топлива для газотурбинных двигателей с нагретой до определенной температуры поверхностью трубок.
ОписаниеПринцип действия эллипсометров основан на изменении состояния поляризации света, отраженного от границ раздела двух сред. Эллипсометры измеряют эллипсометрические углы Пси и Дельта на различных длинах волн, сканируя поверхность нагревательной трубки по углу и вдоль ее оси. Программное обеспечение (ПО) эллипсометров на основании измеренных данных об эллипсометрических углах с использованием математической модели определяет толщину оптических покрытий на поверхности нагревательной трубки. Результат измерений выводится в виде двумерной карты толщины покрытий с пространственным разрешением: 24 точки по окружности трубки и 50 точек вдоль оси нагревательной трубки. На лицевой стороне эллипсометров расположен сенсорный экран для управления ПО. В верхней части эллипсометров размещено гнездо с индикацией для установки нагреваетльн6ых трубок. Общий вид эллипсометров представлен на рисунке 1. Обозначение места нанесения поверки представлено на рисунке 2. Пломбирование эллипсометров от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Рисунок 1 – Общий вид эллипсометров спектральных OptiReader™ Рисунок 2 – Обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечениеВ эллипсометрах используется встроенное программное обеспечение, которое устанавливается заводом-изготовителем непосредственно в постоянное запоминающее устройство (ПЗУ) прибора. Программное обеспечение «OptiReader SW» предназначено для управления эллипсометром, контроллером внутренних исполнительных механизмов и измерительных устройств и его настроек, а также для обеспечения функционирования интерфейса, обработки информации и выдачи отчета по измерениям. ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных осуществляется через сенсорный экран, установленный на лицевой панели прибора. Карта толщин покрытий выводится в виде 2D или 3D изображения. Имеется возможность расчета и индикации объема покрытий. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключен посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля. Уровень защиты программного обеспечения «высокий» в соответствии сР 50.2.077 – 2014. Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОOptiReader SW
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже3.9
Цифровой идентификатор ПО -
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений толщины покрытий, нмот 4 до 300
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий, нм в диапазоне от 4 до 30 нм включительно в диапазоне свыше 30 до 300 нм±2 ±4
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон показаний толщины покрытий, нмот 0 до 500
Диапазон показаний объема отложений, мм3от 0 до 0,5
Габаритные размеры, мм, не более: - ширина - высота - длина255 356 420
Масса, кг, не более15
Параметры электрического питания: - напряжение сети, В - частота сети, Гцот 100 до 240 50/60
Потребляемая мощность, Вт, не более36
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, ºС - относительная влажность при температуре +25 ºС, %, не болееот +10 до +35 80
КомплектностьТаблица 4 – Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначениеКоличество
Эллипсометр спектральный OptiReader™1 шт.
Набор из пяти валидационных трубок1 шт.
Шестигранный винт1 шт.
Блок питания1 шт.
Шнур питания (европейский разъем)1 шт.
Руководство по эксплуатации1 экз.
Методика поверкиМП 059.М44-191 экз.
Поверкаосуществляется по документу МП 059.М44-19 «ГСИ. Эллипсометры спектральные OptiReader™. Методика поверки», утверждённому ФГУП «ВНИИОФИ» 02 декабря 2019 г. Основные средства поверки: Рабочий эталон единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий в диапазоне значений от 10 до 1000 нм. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью. Знак поверки наносится на корпус эллипсометра в соответствии с рисунком 2.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к эллипсометрам спектральным OptiReader™ Локальная поверочная схема ФГУП «ВНИИОФИ» для средств измерений толщины покрытий в диапазоне от 10 до 1000 нм, утвержденная 08.08.2019г Техническая документация «Petroleum Analyzer Company, L.P.», США
Заявитель«Petroleum Analyzer Company, L.P.», США Адрес: 8824 Fallbrook Drive Houston, TX 77064-9912, USA Телефон: +1-281-940-1803 Web-сайт: http://www.paclp.com
Испытательный центрФедеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46 Телефон: +7 (495) 437-56-33 Факс: +7 (495) 437-31-47 Web-сайт: www.vniiofi.ru E-mail: vniiofi@vniiofi.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30003-2014 от 23.06.2014 г.