- Главная
- Госреестр средств измерений
- Микроскоп электронный сканирующий
Описание
Микроскоп электронный сканирующий Quattro S ESEM — техническое средство с номером в госреестре 80322-20 и сроком свидетельства (заводским номером) 9950565. Имеет обозначение типа СИ: Quattro S ESEM. Произведен предприятием: Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy, США.
Требуется ли периодическая поверка прибора?
Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.
Допускается ли поверка партии?
Допущение поверки партии приборов: Нет.
Методика поверки:
Микроскоп электронный сканирующий Quattro S ESEM.С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.
Описание типа:
Микроскоп электронный сканирующий Quattro S ESEM.С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.
| Изображение |  | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Номер в госреестре | 80322-20 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Наименование | Микроскоп электронный сканирующий | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Обозначение типа | Quattro S ESEM | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Производитель | Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy, США | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Описание типа | Скачать | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Методика поверки | Скачать | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Межповерочный интервал (МПИ) | 1 год | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Допускается поверка партии | Нет | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Наличие периодической поверки | Да | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Сведения о типе | Заводской номер | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Срок свидетельства или заводской номер | 9950565 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Назначение | Микроскоп электронный сканирующий Quattro S ESEM (далее – микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и нанорельефа поверхности различных твердотельных объектов, в том числе биологических в режиме сверхнизкого вакуума естественной среды, исследования их элементного состава методом энергодисперсионной спектроскопии. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Описание | Принцип действия микроскопа основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно рассеянных электронов для формирования изображения на экране управляющего компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Формирование изображения в микроскопе происходит за счет модуляции яркости соответствующей точки экрана сигналами, поступающего с детектора электронов. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Конструктивно микроскоп выполнен в напольном варианте и состоит из основного блока, стойки электроники и рабочего стола с управляющим компьютером. Основной блок включает электронно-оптическую систему (колонну) с автоэмиссионным катодом типа Шоттки, камеру образцов на основе предметного столика с механизмом его перемещения, детекторы вторичных и отраженных электронов, вакуумную систему, блок электроники, энергодисперсионный спектрометр Bruker XFlash 6. Вакуумная система микроскопа включает 2 форвакуумных насоса, турбомолекулярный насос и 2 геттерно-ионных насоса. Механизм перемещения предметного столика обеспечивает его перемещение вдоль осей X, Y, Z, вращение на 360 градусов вокруг оси Z и наклон вокруг оси Х. Вакуумная камера оборудована системой плазменной очистки образцов и содержимого камеры от углеводородных загрязнений. Микроскоп может работать в следующих режимах: - вторичной электронной эмиссии; -детектирования обратно отраженных электронов, - определения элементного состава в приповерхностной области исследуемого объекта в точке, вдоль линии, картирования элементного состава. Для повышения разрешения в режиме малых энергий электронов пучка в микроскопе предусмотрен режим торможения электронного пучка посредством приложения напряжения смещения к образцу. Исследование биологических образцов возможно в режиме, который обеспечивает в камере образцов низкий вакуум или сверхнизкий (до 4000 Па) вакуум естественной среды при условии регистрации вторичных электронов от исследуемого объекта. Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака поверки приведены на рисунке 1. Место нанесения знака поверки Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного сканирующего Quattro S ESEM | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Программное обеспечение |
Управление микроскопом и обработка результатов измерений осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «XT UI». ПО «XT UI» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X и Y. ПО «XT UI» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Метрологические и технические характеристики | Таблица 2 - Метрологические характеристики
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Комплектность | Таблица 4 – Комплектность средства измерений Наименование Обозначение Количество Микроскоп электронный сканирующий Quattro S ESEM 1 шт. Руководство по эксплуатации - 1 экз. Методика поверки - 1 экз. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Поверка | осуществляется по документу МП 80322-20 «ГСИ. Микроскоп электронный сканирующий Quattro S ESEM. Методика поверки», утвержденному АО «НИЦПВ» 18 марта 2020 г. Основные средства поверки: -мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (рег. №33598-06); - мера длины концевая плоскопараллельная номинальным значением 1 мм 3-го разряда согласно Государственной поверочной схеме (Приказ Росстандарта от 29.12.2018 №2840); - стандартный образец состава марганца металлического типа Мн95 (Ф5) ГСО 1095-90П Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемого микроскопа с требуемой точностью. Знак поверки наносится на лицевую панель основного блока микроскопа в виде наклейки, как показано на рисунке 1 и на свидетельство о поверке. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к микроскопу электронному сканирующему Quattro S ESEM Техническая документация фирмы Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy, США | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Заявитель | Фирма Thermo Fisher Scientific Electron Microscopy, США Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, OR 97124, USA Тел./Факс: +1 5037267500/+1 503 726 2570 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| Испытательный центр | Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ») Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1 Тел./Факс: (495) 935-97-77 E-mail: nicpv@mail.ru Аттестат аккредитации АО «НИЦПВ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа №RA.RU.311409 от 19.11.2015. |
