| Описание | Принцип действия основан на зависимости тока самостоятельного газового разряда, возникающего в результате ионизации молекул газа в скрещенных магнитном и электрическом полях от давления.
Ионизация молекул газа происходит в результате столкновений электронов, вылетающих из катода в результате автоэлектронной эмиссии и движущихся по спиральной траектории в скрещенных электрическом и магнитном поле, с молекулами газа. Положительные ионы газа, образовавшиеся в результате столкновений с электронами, движутся к катоду, в результате чего возникает ионный ток. Количество ионизированных молекул газа, а, следовательно, и возникающий ионный ток, пропорциональны давлению.
Конструктивно вакуумметр состоит из магнитного электроразрядного датчика(далее – датчик), соединенного электрическим кабелем с контроллером.
Вакуумметры выпускаются в следующих модификациях: IKR 251 PT R25 500, IKR 251 PT R25 501, IKR 251 PT R25 502, IKR 261 PT R25 750, IKR 261 PT R25 751, IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 251, IKR 270 PT R21 261, IKR 360 PT T00 140 01х (х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии), IKR 360 PT T00 150 01х (х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии), IKR 360 PT T00 350 01х (х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии), IKR 361 PT T01 140 01х (х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии), IKR 361 PT T01 150 01х (х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии), IKR 361 PT T01 350 01х (х = 0 – без защиты от коррозии; х = 1 – с защитой от коррозии).
Модификации отличаются диапазоном измерений, погрешностью, внешним видом, видом присоединительного фланца, габаритными размерами, массой, комплектностью и характеристиками питания. В перечисленных выше вакуумметрах применяются контроллеры TPG 361, TPG 362, TPG 366, DCU, используемые для выбора единицы измерений давления, приема, обработки и отображения измерительной информации, формирования выходных сигналов, передачи данных, включения/выключения реле блокировок с целью выключения прибора при превышении допустимого давления, автоматической диагностики состояния прибора, вывода на экран контроллера сообщений об ошибках.
В качестве единицы измерений давления используется Па. При необходимости в качестве единиц измерений могут быть использованы: мбар, мм рт.ст., гПа, Торр (1 Торр = 1,3(102 Па).
Пломбирование вакуумметров не предусмотрено.
Общий вид датчика вакуумметров IKR 251 PT R25 500, IKR 251 PT R25 501, IKR 251 PT R25 502, IKR 261 PT R25 750, IKR 261 PT R25 751, IKR 270 PT R21 251 представлен на рисунке 1.
Общий вид датчика вакуумметров IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 261 представлен на рисунке 2.
Общий вид датчика вакуумметров IKR 360 PT T00 140 010, IKR 360 PT T00 140 011, IKR 360 PT T00 150 010, IKR 360 PT T00 150 011, IKR 360 PT T00 350 010, IKR 360 PT T00 350 011, IKR 361 PT T01 140 010, IKR 361 PT T01 140 011, IKR 361 PT T01 150 010, IKR 361 PT T01 150 011, IKR 361 PT T01 350 010, IKR 361 PT T01 350 011 представлен на рисунке 3.
Общий вид одноканального контроллера TPG 361 представлен на рисунке 4.
Общий вид двухканального контроллера TPG 362 представлен на рисунке 5.
Общий вид шестиканального контроллера TPG 366 представлен на рисунке 6.
Общий вид контроллера DCU с возможностью управления турбомолекулярным насосом представлен на рисунке 7.
| | | Рисунок 1 – Общий вид датчика вакуумметров IKR 251 PT R25 500, IKR 251 PT R25 501, IKR 251 PT R25 502,IKR 261 PT R25 750, IKR 261 PT R25 751,IKR 270 PT R21 251 | Рисунок 2 – Общий вид датчика вакуумметров IKR 261 PT R25 761, IKR 270 PT R21 261 |
| | Рисунок 3 – Общий вид датчика вакуумметров IKR 360 PT T00 140 010, IKR 360 PT T00 140 011, IKR 360 PT T00 150 010, IKR 360 PT T00 150 011, IKR 360 PT T00 350 010, IKR 360 PT T00 350 011, IKR 361 PT T01 140 010, IKR 361 PT T01 140 011, IKR 361 PT T01 150 010, IKR 361 PT T01 150 011, IKR 361 PT T01 350 010, IKR 361 PT T01 350 011 | | | | | Рисунок 4 – Общий вид контроллера TPG 361 | Рисунок 5 – Общий вид контроллера TPG 362 | | | | Рисунок 6 – Общий вид контроллера TPG 366 | Рисунок 7 – Общий вид контроллера DCU |
|
| Метрологические и технические характеристики | Таблица 2 – Метрологические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 2·10-7 до 5·10-1 | | Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1·10-5 до 1·10-1 | от 1·10-5 до 1·10-1 | от 1·10-6 до 1·10-1 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 3 – Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Параметры электрического питания:
- напряжение постоянного тока, В | от 16,0 до 30,0 | | Габаритные размеры, мм, не более
(диаметр×длина) | 71,5×111 | | Масса, кг, не более | 1,0 | | Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более
- атмосферное давление, кПа | от +10 до +30
80
от 84 до 106,7 | | Присоединительный фланец | DN 25 ISO-KF | DN 40 ISO-KF | DN 40 CF-F | | Средняя наработка на отказ, ч | 15000 | | Средний срок службы, лет | 5 |
Таблица 4 – Метрологические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 2·10-7 до 5·10-1 | | Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1·10-5 до 1·10-1 | от 1·10-6 до 1·10-1 | от 1·10-6 до 1·10-1 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 5 – Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Параметры электрического питания:
- напряжение постоянного тока, В | от 15,0 до 30,0 | | Габаритные размеры, мм, не более
(диаметр×длина) | 71,5×111 | 71,5×111 | 71,5×216,5 | | Масса, кг, не более | 1,2 | | Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более
- атмосферное давление, кПа | от +10 до +30
80
от 84 до 106,7 | | Присоединительный фланец | DN 40 ISO-KF | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F | | Средняя наработка на отказ, ч | 15000 | | Средний срок службы, лет | 5 |
Таблица 6 – Метрологические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 5·10-9 до 5·10-1 | | Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1·10-7 до 1·10-1 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 7 – Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Параметры электрического питания:
- напряжение постоянного тока, В | от 14,5 до 30,0 | | Габаритные размеры, мм, не более
(диаметр×длина) | 71,5×111 | 71,5×216,5 | | Масса, кг, не более | 1,2 | | Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более
- атмосферное давление, кПа | от +10 до +30
80
от 84 до 106,7 | | Присоединительный фланец | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F | | Средняя наработка на отказ, ч | 15000 | | Средний срок службы, лет | 5 |
Таблица 8 – Метрологические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 1·10-7 до 5·10-1 | | Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1·10-5 до 1·10-1 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 9 – Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Параметры электрического питания:
- напряжение постоянного тока, В | от 14,5 до 30,0 | | Габаритные размеры, мм, не более
(высота×ширина×длина) | 102×47×47 | | Масса, кг, не более | 0,6 | | Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более
- атмосферное давление, кПа | от +10 до +30
80
от 84 до 106,7 | | Присоединительный фланец | DN 25 ISO-KF | DN 25 ISO-KF | DN 40 ISO-KF | | Средняя наработка на отказ, ч | 15000 | | Средний срок службы, лет | 5 |
Таблица 10 – Метрологические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 1·10-7 до 5·10-1 | | Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1·10-5 до 1·10-1 | от 1·10-6 до 1·10-1 | от 1·10-6 до 1·10-1 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 11 – Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Параметры электрического питания:
- напряжение постоянного тока, В | от 14,5 до 30,0 | | Габаритные размеры, мм, не более
(высота×ширина×длина) | 102×47×47 | | Масса, кг, не более | 0,6 | | Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более
- атмосферное давление, кПа | от +10 до +30
80
от 84 до 106,7 | | Присоединительный фланец | DN 40 ISO-KF | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F | | Средняя наработка на отказ, ч | 15000 | | Средний срок службы, лет | 5 |
Таблица 12 – Метрологические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 1·10-7 до 5·10-1 | | Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1·10-5 до 1·10-1 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 13 – Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Параметры электрического питания:
- напряжение постоянного тока, В | от 14,5 до 30,0 | | Габаритные размеры, мм, не более
(высота×ширина×длина) | 102×47×47 | | Масса, кг, не более | 0,6 | | Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более
- атмосферное давление, кПа | от +10 до +30
80
от 84 до 106,7 | | Присоединительный фланец | DN 25 ISO-KF | DN 25 ISO-KF | DN 40 ISO-KF | | Средняя наработка на отказ, ч | 15000 | | Средний срок службы, лет | 5 |
Таблица 14 – Метрологические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Диапазон показаний абсолютного давления, Па | от 1·10-7 до 5·10-1 | | Диапазон измерений абсолютного давления, Па | от 1·10-5 до 1·10-1 | от 1·10-6 до 1·10-1 | от 1·10-6 до 1·10-1 | | Пределы допускаемой относительной погрешности измерений абсолютного давления, % | ±50 |
Таблица 15 – Основные технические характеристики вакуумметров
| Наименование характеристики | Значение | | Параметры электрического питания:
- напряжение постоянного тока, В | от 14,5 до 30,0 | | Габаритные размеры, мм, не более
(высота×ширина×длина) | 102×47×47 | | Масса, кг, не более | 0,6 | | Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С
- относительная влажность воздуха (без конденсации), %, не более
- атмосферное давление, кПа | от +10 до +30
80
от 84 до 106,7 | | Присоединительный фланец | DN 40 ISO-KF | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F | | Средняя наработка на отказ, ч | 15000 | | Средний срок службы, лет | 5 |
Таблица 16 – Основные технические характеристики контроллеров
| Наименование характеристики | Значение | | Количество каналов | 1 | 2 | 6 | 1 | | Параметры электрического питания:
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц | от 100 до 240
от 50 до 60 | от 115 до 230
от 50 до 60 | | Потребляемая мощность, В·А, не более | 45 | 65 | 200 | 450 | | Габаритные размеры, мм, не более
(высота×ширина×длина) | 128,5×70,8×227 | 128,5×213×161,5 | 128,5×106,7×245,0 | | Масса, кг, не более | 1,1 | 2,2 | 2,3 |
|
