Микроскопы электронные просвечивающие Talos F200

Описание

Микроскопы электронные просвечивающие Talos F200 — техническое средство с номером в госреестре 81247-21 и сроком свидетельства (заводским номером) 15.03.2026. Имеет обозначение типа СИ: Talos F200.
Произведен предприятием: Фирма Thermo Fisher Scientific, США.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскопы электронные просвечивающие Talos F200.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскопы электронные просвечивающие Talos F200.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
81247-21
НаименованиеМикроскопы электронные просвечивающие
Обозначение типаTalos F200
ПроизводительФирма Thermo Fisher Scientific, США
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер15.03.2026
НазначениеМикроскопы электронные просвечивающие Talos F200 (далее – микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов, микро- и наночастиц на пленке-подложке, определения параметров кристаллической решетки и локального элементного состава методом энергодисперсионной спектроскопии.
ОписаниеПринцип действия микроскопов основан на прохождении пучка ускоренных электронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на кристаллической решетке или неоднородностях структуры объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца. Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: - модуль получения изображений, - источник высокого напряжения, - блок электроники; - рабочее место оператора на базе специализированного управляющего компьютера; - форвакуумный насос; - система замкнутого водяного охлаждения; Основным компонентом модуля получения изображений является электронно-оптическая колонна. Электронно-оптическая колонна содержит электронную пушку и систему электронных линз: блок конденсорных линз, объективную линзу, блок промежуточных линз и проекционную линзу. Электронная пушка включает источник электронов типа Шоттки. Объективная линза сконструирована для работы в режиме постоянной мощности для повышения стабильности работы микроскопа. Объективная линза дополнена диафрагмой, положением которой можно управлять. Диафрагмы для конденсорных линз, для объективной линзы, селективная диафрагма для ограничения области исследования являются моторизованными. Регистрация изображения в режиме просвечивающей электронной микроскопии осуществляется с помощью ПЗС-камеры со скоростью работы до 25 кадров в секунду. Для реализации СПЭМ – режима используются 4-х канальный детектор электронов. Модуль получения изображений также включает высокочувствительный энергодисперсионный спектрометр (опционально), запатентованная конструкция которого использует 4 SDD детектора. Вакуумная система микроскопа является полностью безмасляной и реализована на базе форвакуумного, турбомолекулярного и двух магниторазрядных насосов. Управляющее программное обеспечение позволяет проводить полное удаленное управление всеми функциями микроскопа, включая смену диафрагм, перемещение образца, фокусировку, стигмирование, управление вакуумной системой, контроль и визуализация изображения видеокамеры. Микроскопы Talos F200 выпускаются в модификациях: Talos F200C G2, Talos F200S G2, Talos F200X G2, Talos F200i, которые отличаются в основном типом и соответственно яркостью электронной пушки, а также типом объективной линзы. Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопов и место нанесения знака поверки приведены на рисунках 1 и 2 для модификаций Talos F200i и Talos F200C G2, Talos F200S G2, Talos F200X G2 соответcтвенно. Место нанесения знака поверки Рисунок 1 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего Talos F200i. Место нанесения знака поверки Рисунок 2 - Общий вид микроскопа электронного просвечивающего Talos F200C G2 (Talos F200S G2, Talos F200X G2).
Программное обеспечение Управление микроскопом и обработка результатов измерений осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «TEM user interface». ПО «TEM user interface» позволяет проводить измерения линейных размеров и параметров кристаллической решетки. ПО «TEM user interface» не может быть использовано отдельно от микроскопа. Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1. Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационное наименование ПОTEM user interface
Номер версии (идентификационный номер) ПО1.15.1
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)-
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО-
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений линейных размеров, мкмот 0,0004 до 30
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров при ускоряющем напряжении 200 кВ, нм (L– линейный размер, нм)±(0,4+0,03·L)
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Kα марганца при скорости счета менее 104 имп/с, эВ, не более136*
* - опционально
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Пространственное разрешение по линиям в ПЭМ-режиме и ускоряющем напряжении 200 кВ, нм, не более0,1
Диапазон регулирования увеличения в ПРЭМ режиме, кратот 4300 до 2200000
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВот 40 до 200
Максимальный ток электронного пучка, нА, не менее50
Тип катода: - Talos F200i - Talos F200S G2 - Talos F200X G2, Talos F200C G2S- FEG либо X-FEG S- FEG X-FEG
Яркость электронной пушки при ускоряющем напряжении 200 кВ, А/см2/ср - катод S-FEG - катод X-FEG 4·108 1,8·109
Тип объективной линзы: - Talos F200i, Talos F200S G2, Talos F200X G2; - Talos F200C G2X-TWIN C-TWIN
Размер матрицы ПЗС для регистрации изображений в ПЭМ-режиме, пикселей4096х4096
Тип детекторов энергодисперсионного (EDS) спектрометраSDD
Количество детекторов EDS спектрометра4
Диапазон определяемых элементов в режиме энергодисперсионного спектрометраОт Be до Am
Масса, включая все комплектующие, кг, не более3500
Габаритные размеры основных составных частей (ДxШхВ), мм, не более: - модуль получения изображений - источник высокого напряжения, - блок электроники 2063х1465х2360 872×859×1618 1612×800×1962
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, ºС -относительная влажность воздуха, %, не болееот +18 до +22 80
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, Вот 110 до 240
Потребляемая мощность, не более, Вт11500
КомплектностьТаблица 4 – Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначениеКоличество
Микроскоп электронный просвечивающийTalos F200 (модификации Talos F200C G2, Talos F200S G2, Talos F200X G2, Talos F200i)1 шт.
Руководство по эксплуатации-1 экз.
Методика поверкиМП ДИ20/30-20201 экз.
Поверкаприведены в документе «Микроскопы электронные просвечивающие Talos F200. Руководство по эксплуатации», раздел 30.
Нормативные и технические документы
Заявитель
Испытательный центр