Установка MicroProf 200 TTV

Описание

Установка MicroProf 200 TTV — техническое средство с номером в госреестре 84128-21 и сроком свидетельства (заводским номером) MPR1465. Имеет обозначение типа СИ: MicroProf 200 TTV.
Произведен предприятием: FRT GmbH, Германия.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Установка MicroProf 200 TTV.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Установка MicroProf 200 TTV.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
84128-21
НаименованиеУстановка
Обозначение типаMicroProf 200 TTV
ПроизводительFRT GmbH, Германия
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерMPR1465
НазначениеУстановка MicroProf 200 TTV (далее по тексту – установка) предназначена для измерений толщины пластин из полупроводниковых материалов (кремния, арсенида галлия, фосфида индия), а также контроля разнотолщинности, прогиба и коробления.
ОписаниеПринцип действия установки основан на хроматической аберрации оптических линз. Образец освещается сфокусированным лучом белого света. Пассивная линза с большой хроматической аберрацией рассеивает луч белого свет вертикально в различные цветовые фокусные точки и, соответственно, высоты. Сфокусированный луч света отражается от поверхности измеряемого объекта и попадает в миниатюрный спектрометр через ту же линзу и стекловолоконный кабель. Длина волны отраженного луча света зависит от расстояния между датчиком и измеряемым объектом. Установка состоит из измерительного датчика, прецизионного стола с встроенными калибровочными образцами с номинальными значениями толщины 500 и 700 мкм, гранитного демпфирующего основания и управляющего компьютера с TFT-монитором. Общий вид установки представлен на рисунке 1. Пломбирование не предусмотрено. Нанесение знака поверки на средство измерений не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке. Установка данного типа имеет зав. № MPR1465, нанесенный на наклейке, расположенной на задней части корпуса. Рисунок 1 – Общий вид установки MicroProf 200 TTV
Программное обеспечениеУстановка имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), с помощью которого осуществляется управление работой установки и сбор данных. Идентификационные данные ПО измерителя приведены в таблице 1. Таблица 1 – Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОAcquire
Номер версии (идентификационный номер) ПО5.1.2.0 и выше
При работе с установкой пользователь не имеет возможности влиять на процесс расчета и не может изменять полученные в ходе измерений данные. Защита программного обеспечения установки соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристикиТаблица 1 – Основные метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений толщины, мкмот 150 до 1500
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины, мкм±(0,5+0,005·L), где L, мкм
Таблица 2 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон показаний прогиба и коробления пластины, мкмот 0 до 200
Диаметр контролируемой пластины, ммот 76,2 до 200
Параметры электрического питания: - напряжение, В - частота, Гцот 198 до 242 50
Габаритные размеры, мм, не более:
– длина1100
– ширина820
– высота1800
Масса, кг, не более500
Условия эксплуатации: – температура окружающей среды ºСот +15 до +25
Комплектность
НаименованиеОбозначениеКоличество
УстановкаMicroProf 200 TTV1 шт.
Руководство по эксплуатации-1 экз.
Методика поверкиМП 203-31-20211 экз.
Поверкапункт 3 руководства по эксплуатации
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке MicroProf 200 TTV Техническая документация изготовителя
ЗаявительFRT GmbH, Германия Адрес: Friedrich Ebert Strasse, 54129 Bergisch Gladbach, Германия Телефон: +49 2204 84 2430 Web-сайт: www.frtmetrology.com E-mail:info@frt-gmbh.com
Испытательный центр Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») ИНН 7736042404 Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46 Телефон: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66 Web-сайт: www.vniims.ru E-mail: office@vniims.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30004-13 от 29.03.2018г