Микроскопы электронные просвечивающие Обозначение отсутствует

Описание

Микроскопы электронные просвечивающие Обозначение отсутствует — техническое средство с номером в госреестре 84441-22 и сроком свидетельства (заводским номером) 24.01.2027. Имеет обозначение типа СИ: Обозначение отсутствует.
Произведен предприятием: Фирма Thermo Fisher Scientific, Нидерланды.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскопы электронные просвечивающие Обозначение отсутствует.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскопы электронные просвечивающие Обозначение отсутствует.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
84441-22
НаименованиеМикроскопы электронные просвечивающие
Обозначение типаОбозначение отсутствует
ПроизводительФирма Thermo Fisher Scientific, Нидерланды
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер24.01.2027
Назначение Микроскопы электронные просвечивающие (далее – микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов, микро- и наночастиц на пленке-подложке, определения параметров кристаллической решетки и локального элементного состава методом энергодисперсионной спектроскопии.
ОписаниеПринцип действия микроскопов основан на прохождении пучка ускоренных электронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на кристаллической решетке или неоднородностях структуры объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца. Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: - модуль получения изображений, - источник высокого напряжения, - блок электроники; - рабочее место оператора на базе специализированного управляющего компьютера; - форвакуумный насос; - система замкнутого водяного охлаждения; Основным компонентом модуля получения изображений является электронно-оптическая колонна. Электронно-оптическая колонна содержит электронную пушку и систему электронных линз: блок конденсорных линз, объективную линзу, блок промежуточных линз и проекционную линзу. Электронная пушка включает источник электронов типа Шоттки. Объективная линза сконструирована для работы в режиме постоянной мощности для повышения стабильности работы микроскопа. Объективная линза дополнена диафрагмой, положением которой можно управлять. Диафрагмы для конденсорных линз, для объективной линзы, селективная диафрагма для ограничения области исследования являются моторизованными. Регистрация изображения в режиме просвечивающей электронной микроскопии осуществляется с помощью ПЗС-камеры со скоростью работы до 25 кадров в секунду. Для реализации СПЭМ – режима используются 4-х канальный детектор электронов. Модуль получения изображений также включает высокочувствительный энергодисперсионный спектрометр (опционально), запатентованная конструкция которого использует 4 SDD детектора. Вакуумная система микроскопа является полностью безмасляной и реализована на базе форвакуумного, турбомолекулярного и двух магниторазрядных насосов. Управляющее программное обеспечение позволяет проводить полное удаленное управление всеми функциями микроскопа, включая смену диафрагм, перемещение образца, фокусировку, стигмирование, управление вакуумной системой, контроль и визуализация изображения видеокамеры. Микроскопы выпускаются в модификациях Spectra 200, Spectra 300, Talos L120C, которые отличаются типом и соответственно яркостью электронной пушки, типом объективной линзы, разрешающей способностью и диапазоном ускоряющих напряжений. Пломбирование микроскопов не предусмотрено. Заводской номер нанесен на шильдик типографским способом на задней панели модуля получения изображений. Общий вид микроскопов и место нанесения знака поверки приведены на рисунках 1 и 2. Рисунок 1 - Общий вид микроскопов Spectra 200, Spectra 300. Рисунок 2 - Общий вид микроскопов Talos L120C.
Программное обеспечениеУправление микроскопом и обработка результатов измерений осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «TEM user interface». ПО «TEM user interface» позволяет проводить измерения линейных размеров и параметров кристаллической решетки. ПО «TEM user interface» не может быть использовано отдельно от микроскопа. Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1. Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОTEM user interface
Номер версии (идентификационный номер) ПО: - Spectra 200, Spectra 300 -Talos L120C3.9 и выше 2.9 и выше
Цифровой идентификатор ПО-
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений линейных размеров, мкмот 0,0004 до 30от 0,0004 до 30от 0,0004 до 30
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров при ускоряющем напряжении 200 кВ, нм (L– линейный размер, нм)±(0,4+0,03·L)±(0,4+0,03·L)±(1+0,03·L)
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Kα марганца, эВ, не более136*136*136*
* - опционально Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Пространственное разрешение в ПРЭМ-режиме, нм, не более0,060,051,0
Тип источника электроновХ-СFEGХ- FEGLaB6
Диапазон регулирования увеличения в ПРЭМ режиме, кратот 4 300 до 2 200 000 вклот 4 300 до 2 200 000 вклот 200 до 2200000
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВот 30 до 200от 30 до 300от 20 до 120
Диапазон определяемых элементовот Вe до Amот Вe до Amот Вe до Am
Масса, включая все комплектующие, кг, не более350035003500
Габаритные размеры (ДхШхВ) основных составных частей, мм, не более: - модуль получения изображений - источник высокого напряжения, - блок электроники1700×1670×2560 1030×1280×2200 950×1030×22001700×1670×3000 1030×1280×2200 950×1030×22001460×1290×2140 1280×1010×1820 1300×940×2200
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, ºС - относительная влажность воздуха, %, не болееот 18 до 22 80от 18 до 22 80от 18 до 22 80
Параметры электрического питания: -напряжение переменного тока, В - частота переменного тока, Гц400 ±40 50/60 400 ±40 50/60230 ±20 50/60
Потребляемая мощность не более, Вт13 00013 0005 000
КомплектностьТаблица 4 – Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначениеКоличество
Микроскоп электронный просвечивающий-1 шт.
Руководство по эксплуатации -1 экз.
Методика поверкиМП ДИ20/30-20211 экз.
Поверкаприведены в документе «Микроскопы электронные просвечивающие. Руководство по эксплуатации», раздел 30.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам электронным просвечивающим Техническая документация фирмы-изготовителя Thermo Fisher Scientific, Нидерланды.
ЗаявительФирма Thermo Fisher Scientific, Нидерланды Адрес: Achtseweg Noord 5, 5651 GG, Eindhoven, The Nertherlands Тел./Факс: +31 40 23 56000
Испытательный центрАкционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ») Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1 Тел./Факс: (495) 935-97-77 E-mail: nicpv@mail.ru Аттестат аккредитации АО «НИЦПВ» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа №RA.RU.311409 от 19.11.2015.