Система микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX

Описание

Система микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX — техническое средство с номером в госреестре 86262-22 и сроком свидетельства (заводским номером) 9925578. Имеет обозначение типа СИ: FEI Helios G4 CX.
Произведен предприятием: FEI Company, США.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Система микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Система микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
86262-22
НаименованиеСистема микроскопической инспекции
Обозначение типаFEI Helios G4 CX
ПроизводительFEI Company, США
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номер9925578
НазначениеСистема микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX (далее – система) предназначена для измерений линейных размеров в плоскости XY нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.
ОписаниеПринцип работы системы основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Система состоит из электронной колонны, ионной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов и стола оператора с персональным компьютером. В состав электронной колонны входит источник электронов, отклоняющая система, включающая электромагнитные, электростатические или комбинированные линзы и обеспечивающая фокусировку и перемещение пучка по поверхности образца, а также набор апертур. В состав ионной колонны входит источник ионов, отклоняющая система, обеспечивающая фокусировку и перемещение пучка по поверхности образца, а также набор апертур. Вакуумная система состоит из форвакуумных, турбомолекулярных и ионно-гетерных насосов, а также системы клапанов. Предназначена для формирования и поддержания режимов высокого и низкого вакуума, а также режима естественной среды. Различные детекторы, установленные на системе, обеспечивают формирование изображения в различных типах контрастов (топографический, композиционный, смешанный, в низко-энергетичных электронах), а также предоставляют информацию об элементном, фазовом и кристаллографическом составе поверхности образцов. Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а также получение информации от детекторов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах. Управление и настройка системы осуществляются с помощью мышки и клавиатуры компьютера, подключаемого к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор или сохранены в компьютере. Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью держателей. Заводской (серийный) номер системы имеет цифровое обозначение и нанесен на корпус системы в виде шильды с нанесенным вручную заводским номером (зав. № 9925578). Пломбирование системы от несанкционированного доступа не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке. Общий вид системы приведен на рисунке 1. / Рисунок 1 – внешний вид системы микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX
Программное обеспечениеСистема имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации. Программное обеспечение «xTm Microscope Control» является специализированным ПО системы и предназначено для её управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от системы. Конструкция системы исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО системы и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют. Главной защитой ПО является встроенный менеджер лицензий (специальная программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), привязывающая ПО и его модули к аппаратному идентификатору управляющего компьютера и серийному номеру системы, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО. Оператор системы не имеет прав доступа (на уровне операционной системы) для самостоятельной модификации системных файлов, установленного на управляющий компьютер ПО, а также для установки стороннего ПО. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений – «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1. Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОxTm Microscope Control
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже12.1.1
Цифровой идентификатор ПО-
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 – Метрологические характеристики системы
Наименование характеристики Значение
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкмот 0,01 до 500
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений в плоскости XY, мкм: - от 0,01 мкм до 100 мкм включ. - св. 100 мкм до 500 мкм±(0,002+3∙L/100), где L – измеряемый размер в мкм ±(0,002+5∙L/100), где L – измеряемый размер в мкм
Таблица 3 - Технические характеристики системы
Наименование характеристикиЗначение
Максимальное разрешение, нм0,8
Давление в камере, Па, не более5∙10−4
Увеличение, кратот 150 до 1 500 000
Относительная влажность, %, не более, без конденсата80
Габаритные размеры, не более, мм: -длина -ширина -высота1300 900 2000
Питающее напряжение, Вот 207 до 253
Частота, Гц50
Потребляемая мощность, В∙А, не более2300
Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С - относительная влажность, %от +18 до +22 до 90
КомплектностьТаблица 4 - Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначениеКоличество
Система микроскопической инспекции FEI Helios G4 CX1 шт.
Компьютер с ПО1 шт.
Руководство по эксплуатации1 экз.
Поверкаприведены в разделе «Порядок работы» руководства по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измерений Техническая документация фирмы – производителя
Заявитель FEI Company, США Адрес: 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, Oregon, 97124, USA Тел./факс: +1 (503) 726-7500 Web-сайт: https://www.fei.com/ E-mail: info@fei.com
Испытательный центрФедеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы» Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46 Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66 E-mail: office@vniims.ru, web-сайт: www.vniims.ru ФГБУ «ВНИИМС», уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц № 30004-13 от 29.03.2018 г.