Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100

Описание

Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100 — техническое средство с номером в госреестре 87161-22 и сроком свидетельства (заводским номером) 21.10.2027. Имеет обозначение типа СИ: LEXT OLS5100.
Произведен предприятием: Фирма OLYMPUS Corporation, Япония.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
87161-22
НаименованиеМикроскопы конфокальные лазерные измерительные
Обозначение типаLEXT OLS5100
ПроизводительФирма OLYMPUS Corporation, Япония
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеСрок свидетельства
Срок свидетельства или заводской номер21.10.2027
НазначениеМикроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100 (далее – микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров элементов рельефа по осям Х, Y и Z и параметров шероховатости поверхности твердотельных объектов.
ОписаниеПринцип действия микроскопов основан на использовании диафрагмы, размещённой в плоскости промежуточного изображения и ограничивающей поток фонового рассеянного света, излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Данная диафрагма играет роль пространственного фильтра: чем меньше диаметр диафрагмы, тем меньше размеры области, из которой выходит излучение, способное пройти через указанную диафрагму и сделать вклад в информативный сигнал. Конструкция микроскопов основана на использовании методов оптической микроскопии и оптической профилометрии, где в качестве источника оптического излучения используется лазер. Результатом измерений является получение информации о линейных размерах как в плоскости XY, так и по оси Z. В конфокальном микроскопе в каждый момент времени происходит регистрация изображения из одной точки объекта. Полное изображение объекта в конфокальном микроскопе формируется путем последовательной регистрации света, исходящего из этих элементарных объемов с применением сканирующей системы. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости внутри образца (т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий. В микроскопе использован сканер новой конструкции, который обладает пониженной дисторсией и минимальными оптическими абберациями. Для отклонения по оси Х используется МЭМС – сканер с электромагнитным приводом, а по оси Y – гальваносканер. Для удобства работы в микроскопе реализована двухканальная система конфокальной оптики с двумя различными конфокальными диафрагмами. Выбор диафрагмы осуществляется автоматически в зависимости от типа объектива и режима получения изображения. Микроскоп включает две оптические системы: - лазерную конфокальную оптическую систему, использующую лазерный диод с длиной волны 405 нм и высокочувствительный фотоумножитель, - оптическую систему цветного изображения с белым светодиодом и CMOS матрицей. Конструктивно микроскоп состоит из основного блока, выполненного в настольном исполнении, блока электроники и персонального компьютера с предустановленным программным обеспечением для управления работой микроскопа. Основной блок включает столик образцов, перемещаемый по осям X, Y ручным приводом или автоматически в зависимости от модели микроскопа, и измерительную оптическую головку с набором объективов, перемещение которой по оси Z контролируется измерительной системой микроскопа. Микроскопы выпускают в модификациях OLS5100-SAF, OLS5100-SMF, OLS5100-EAF, OLS5100-HSU, которые отличаются приводом столика образцов и диапазоном его перемещения, а также максимальной высотой исследуемого объекта. Пломбирование микроскопов не предусмотрено. Заводской номер в буквенно-числовом формате нанесен на шильдик типографским способом на задней панели основного блока. Общий вид микроскопов и место нанесения знака поверки приведены на рисунках 1 - 3. Рисунок 1 - Общий вид микроскопов конфокальных лазерных LEXT OLS5100 модификаций OLS5100-SAF, OLS5100-SMF Рисунок 2 - Общий вид микроскопов конфокальных лазерных LEXT OLS5100 модификаций OLS5100-EAF Рисунок 3 - Общий вид микроскопов конфокальных лазерных LEXT OLS5100 модификаций OLS5100-HSU
Программное обеспечение Управление микроскопом и обработки результатов измерений осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «OLYMPUS OLS5100». ПО «OLYMPUS OLS5100» позволяет проводить измерения линейных размеров элементов рельефа по осям X, Y Z, в том числе определять в автоматическом режиме значение шага шаговых структур, измерять параметры шероховатости поверхности, толщину пленок, производить сшивку изображений, полученных в различных положениях столика объектов в условиях частичного перекрытия изображений. ПО «OLYMPUS OLS5100» не может быть использовано отдельно от микроскопа. Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1. Таблица 1
Идентификационное наименование ПОOLYMPUS OLS5100
Номер версии (идентификационный номер) ПО (Acquisition)2.1.1.7986 или выше
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)-
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм - объектив 10х - объектив 20х - объектив 50х - объектив 100хот 30 до 1200 от 15 до 600 от 5 до 250 от 2 до 120
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, %±1,5
СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY в пределах поля зрения объектива, мкм, не более - объектив 20х - объектив 50х - объектив 100х0,05 0,04 0,02
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкмот 30 до 100000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L – измеряемая длина, мм) - объектив 10х - объектив 20х - объектив 50х - объектив 100х ±(24+L/4) ±(15+L/4) ±(9+L/4) ±(7+L/4)
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкмот 0 до 9500
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм (где L – измеряемая длина, мкм)±(0,15+L/100)
СКО случайной составляющей погрешности измерений линейных размеров по оси Z, мкм, не более - объектив 20х - объектив 50х или 100х0,03 0,012
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкмот 0 до 9500
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z на сшитых панорамных изображениях (для модификаций SAF и EAF), мкм (где L – измеряемая длина, мкм) - объектив 10х - объектив 20х или выше±(5,0+L/100) ±(1,0+L/100)
Диапазон измерений шероховатости, мкм, по параметру - Ra - Rzот 0,005 до 50 от 0,01 до 100
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости, мкм, по параметру - Ra - Rz (где Ra, Rz – параметры шероховатости, мкм)±(0,003+0,04∙Ra) ±(0,006+0,04∙Rz)
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиМодификация прибора
Разрешение в плоскос-ти XY, нм, не более1
Разрешение по оси Z, нм, не более0,1
Диапазон перемещения столика образцов, мм100х100100х100100х100300х300
Привод столика образцовмоторизо-ванныйручноймоторизо-ванныймоторизо- ванный
Максимальная высота образцов, мм10040210100
Масса, кг, не более - основной блок; -блок электроники31 1232 1243 1280 12
Габаритные размеры (ДxШхВ), мм, не более: - основной блок - блок электроники561х387х608 180х360х380780х520х680 180х360х380
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, ºС -относительная влажность воздуха, %, не болееот +18 до +22 80
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50/60 Гц, Вот 220 до 240
Потребляемая мощность, Вт, не более 280
КомплектностьТаблица 4 – Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначениеКоличество
Микроскоп конфокальный лазерный измерительныйLEXT OLS5100-X, где Х: SAF (либо SMF, EAF, HSU)1 шт.
Руководство по эксплуатации-1 экз.
Методика поверки-1 экз.
Поверкаприведены в документе «Микроскопы конфокальные лазерные измерительные LEXT OLS5100. Руководство по эксплуатации», разделы 6 («Простое измерение»), 7 («Измерение профиля»).
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам конфокальным лазерным измерительным Техническая документация фирмы-изготовителя OLYMPUS Corporation, Япония.
ЗаявительФирма OLYMPUS Corporation, Япония. Адрес: Shinjuku Monolith, 2-3-1, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 163-0914, Japan. Тел./Факс: 81-42-545-8111/81-42-544-9795. E-mail: info@olympus-global.com
Испытательный центрАкционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ») Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1 Тел./Факс: (495) 935-97-77 E-mail: nicpv@mail.ru Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц Росаккредитации АО «НИЦПВ» № RA.RU.320052 от 19.10.2018 г.