Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр KLA-Tencor P-17

Описание

Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 — техническое средство с номером в госреестре 87355-22 и сроком свидетельства (заводским номером) 7092007. Имеет обозначение типа СИ: KLA-Tencor P-17.
Произведен предприятием: KLA-Tencor, Китай.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 2 года
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр KLA-Tencor P-17.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр KLA-Tencor P-17.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
87355-22
НаименованиеМодуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр
Обозначение типаKLA-Tencor P-17
ПроизводительKLA-Tencor, Китай
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)2 года
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номер7092007
НазначениеМодуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 (далее - профилометр) предназначен измерений параметров шероховатости поверхностей изделий и линейных высотных размеров неровностей.
ОписаниеПринцип действия профилометра основан на ощупывании неровностей исследуемой поверхности алмазной иглой (щупом) и преобразовании возникающих при этом механических колебаний щупа в изменения емкостного сопротивления, пропорциональные этим колебаниям, которые усиливаются и преобразуются в процессоре. Результаты измерений выводятся на экран персонального компьютера (в виде профилограммы и числовых значений параметров шероховатости). Питание профилометра осуществляется от сети переменного тока через адаптер или от батареи. Профилометр является стационарным измерительным устройством и состоит из блока привода с емкостным датчиком и блока обработки информации. Управление и настройка профилометра осуществляются с помощью мышки и клавиатуры компьютера, подключаемого к блоку электроники. Все данные и изображения могут быть выведены на монитор или сохранены в компьютере. Заводской (серийный) номер профилометра имеет цифровое обозначение и нанесен на корпус профилометра в виде шильды с УФ-печатью и нанесенным вручную заводским номером. Пломбирование профилометра не предусмотрено. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке. Общий вид профилометра приведен на рисунке 1. К прибору модуль анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусный профилометр KLA-Tencor P-17 данного типа относится прибор с заводским номером № 7092007. Рисунок 1 – Внешний вид модуля анализа поверхности кристаллов и пластин - стилусного профилометра KLA-Tencor P-17
Программное обеспечениеСистема имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации. За метрологически значимое принимается все ПО. Программное обеспечение Profiler является специализированным ПО профилометра и предназначено для его управления и обработки результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от профилометра. Конструкция профилометра исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО профилометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют. Главной защитой ПО является встроенный менеджер лицензий (специальная программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), привязывающая ПО и его модули к аппаратному идентификатору управляющего компьютера и серийному номеру системы, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО. Оператор системы не имеет прав доступа (на уровне операционной системы) для самостоятельной модификации системных файлов, установленного на управляющий компьютер ПО, а также для установки стороннего ПО. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений – «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) ПО указаны в таблице 1. Таблица 1 - Идентификационные данные ПО профилометра
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПОProfiler
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не нижеv 8.0
Цифровой идентификатор ПО-
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 – Метрологические характеристики профилометра
Наименование характеристики Значение
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкмот 0,001 до 90
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений параметра Ra, %±5
Диапазон измерений высот неровностей, мкмот 0,003 до 327
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений высот неровностей, мкм ±(0,006 +L/20), где L -измеряемая высота, нм
Повторяемость результатов измерений высоты ступени (для неровностей высотой не более 1 мкм), не более, нм2,5
Повторяемость результатов измерений высоты ступени (для неровностей высотой свыше 1 мкм), не более, % 0,25
Таблица 3 - Технические характеристики профилометра
Наименование характеристикиЗначение
Максимальный диаметр образцов, мм200
Угол поворота образца вокруг оси, º360
Максимальная толщина образцов, мм55
Габаритные размеры, не более, мм: -длина, -ширина, -высота780 570 450
Питающее напряжение, Вот 210 до 230
Частота, Гц50
Потребляемая мощность, В•А, не более1500
Таблица 4 -– Условия эксплуатации
Диапазон рабочих температур, °Сот +18 до + 22
Относительная влажность, %, не более, без конденсата80
КомплектностьТаблица 4 - Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначениеКоличество
Модуль анализа поверхности кристаллов и пластин -стилусный профилометр KLA-Tencor P-171 шт.
Компьютер с ПО1 шт.
Комплект дополнительных датчиков1 комп.
Комплект кварцевых мер высоты неровностей1 комп.
Руководство по эксплуатации1 экз.
Поверкаприведены в разделе 9 «Порядок работы» руководства по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм, утвержденная приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 06.11.2019 г. № 2657
ЗаявительKLA-Tencor, Китай Адрес: 518129, Китай, Шензен, Индустриальный парк Тел./факс: +1 (408) 875-3000 Web-сайт: https://www.kla.com/ E-mail: info@kla.com
Испытательный центрФедеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы» Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46 Тел.: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66 E-mail: office@vniims.ru, web-сайт: www.vniims.ru Уникальный номер записи об аккредитации в реестре аккредитованных лиц ФГБУ «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № 30004.