|
Вид эталона: | |
| Номер в госреестре: | гэт203-2024 |
| Наименование эталона: | Государственный первичный специальный эталон единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий |
| Хранитель эталона: | ФГБУ "ВНИИОФИ" |
| Состав эталона: | Государственный первичный специальный эталон состоит из комплекса следующих технических средств и вспомогательных устройств:- цифрового спектрального эллипсометра alpha-SE; - цифрового спектрального многоуглового эллипсометра SENresearch 4.0, модель SER 850-FTIR; - мер комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий в виде подложек плоской или цилиндрической формы из различных материалов с однослойными или двухслойными покрытиями разной номинальной толщины из разных материалов, а также массивные заготовки из различных материалов – как материальных носителей единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий; - термогигрометра ИВА-6 для измерений температуры, атмосферного давления и влажности воздуха в зоне измерений |
| Способ создания: | Хозспособ. Покупка комплектующих |
| Вид измерения: | Оптико-физические измерения(Эллипсометрия, спектрофотометрия, геометрические) |
| Область применения: | Измерения комплексного показателя преломления N=n-ik и, соответственно, оптических постоянных n и k тонкопленочных структур, представляющих собой комбинации тонких металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев (пленок) на поверхности полупроводникового кристалла или изолятора. Бесконтактные измерения толщины d оптических покрытий в широком диапазоне от нанометров до десятков микрометров на цифровом спектральном многоугловом эллипсометре SENresearch 4.0, обладающем сканирующим Фурье-спектрометром в ИК диапазоне длин волн (FTIR-приставка). Контроль технологических параметров (толщина, композиция состава, величина шероховатости) в полупроводниковой микро- и наноэлектронике, в рентгеновской оптике, оптике интерференционных покрытий, включающих слои диэлектриков, полупроводников и ме |
| Описание: | Основу эталона составляет спектральный эллипсометр α-SE фирмы J.A. Woollam Co., Inc, США. Спектральный диапазон эллипсометра α-SE фирмы J.A. Woollam Co., Inc, США лежит в области видимого света и простирается от 380 до 900 нм, содержит 180 длин волн из этого диапазона, поэтому на нем можно измерять толщины прозрачных покрытий только до единиц микрон (1-2 мкм).Для более толстых покрытий необходимо применять эллипсометры с ИК-диапазоном длин волн и оснащенных Фурье-спектрометром FTIR (Fourier Transform InfraRed). Такой спектрометр входит в состав спектрального эллипсометра SENresearch 4.0, модель SER 850 DUV (спектральный диапазон от 190 до 2500 нм) фирмы SENTECH Instruments, GmbH, Германия.SENresearch 4.0 - это серия новейших спектральных эллипсометров с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (Г |
| Номинальные значения, диапазон: | Диапазон значений комплексного показателя преломления N=n-ik:- для действительной части п (показатель преломления) от 0,5 до 5,0;- для мнимой части k (главный показатель поглощения) от 0,01 до 8,0.Диапазон значений толщины оптических покрытий d от 1 до 50000 нм. |
| Межаттестационный интервал |
| Межаттестанционный интервал (лет): | 5 |
| Межаттестанционный интервал (месяцев): | 0 |
| Ученый-хранитель |
| ФИО: | Самойленко Алексей Андреевич, к. ф.-м. н. |
| Телефон: | (495) 781 45 76 |
| Email: | asamoylenko@vniiofi.ru |
| Стандартная неопределённость |
| Стандартная неопределённость, оценённая по типу A: | uA(n) = 0,001;uA(k) = 0,002;uA(d) = 0,1 нм для диапазона измерений от 1 до 1000 нм;uA(d) = 0,24% для диапазона измерений от 1000 до 50000 нм. |
| Стандартная неопределённость, оценённая по типу B: | uB(n) = 0,0004;uB(k) = 0,0002;uB(d) = 0,004 нм для диапазона измерений от 1 до 1000 нм;uB(d) = 0,005% для диапазона измерений от 1000 до 50000 нм. |
| Суммарная стандартная неопределённость: | uC(n) = 0,001;uC(k) = 0,002;uС(d) = 0,1 нм для диапазона измерений от 1 до 1000 нм;uС(d) = 0,24% для диапазона измерений от 1000 до 50000 нм. |
| Расширенная неопределённость при коэффициенте охвата k=2: | UР(n) = 0,002;UР(k) = 0,004;UР(d) = 0,2 нм для диапазона измерений от 1 до 1000 нм;UР(d) = 0,48% для диапазона измерений от 1000 до 50000 нм. |
| Характеристики точности |
| Номинальные значения, диапазон: | Диапазон значений комплексного показателя преломления N=n-ik:- для действительной части п (показатель преломления) от 0,5 до 5,0;- для мнимой части k (главный показатель поглощения) от 0,01 до 8,0.Диапазон значений толщины оптических покрытий d от 1 до 50000 нм. |
| Оценка случайной погрешности воспроизведения единиц: | Среднее квадратическое отклонение для комплексного показателя преломления N=n-ik:- для действительной части п не более 0,001;- для мнимой части k не более 0,002.Среднее квадратическое отклонение для толщины d:- не более 0,1 нм для диапазона измерений от 1 до 1000 нм;- не более 0,24% для диапазона измерений от 1000 до 50000 нм. |
| Оценка неисключённой систематической погрешности воспроизведения: | |
| Сопровождающие документы |
| Номер стандарта: | ГПС введенная ГОСТ 8.645-2014 пересматривается |
| Наименование стандарта: | ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления. |
| Наименование приказа: | Приказ Росстандарта № 294 от 05.02.2024 |
| Дата приказа: | 05.02.2024 |
| Наличие технической и иной документации на ГЭ: | - Паспорт эталона- Правила содержания и применения эталона- Приказ об утверждении эталона- Доклад Росстандарту- Техническая, конструкторская и эксплуатационная документация - Государственная поверочная схема |
| Публикации: | Нет |
| Создание и Техническое состояние |
| Организация-изготовитель: | Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГБУ «ВНИИОФИ») |
| Способ создания: | Хозспособ. Покупка комплектующих |
| Год выпуска: | 2012 |
| Год утверждения (переутверждения): | 2024 |
| Год последней аттестации: | 2023 |
| Первоначальная (восстановительная) стоимость, руб. (с учетом переоценки на 01.01.2003): | 0 |
| Норма амортизации (износа), %: | 0 |
| Начисленная амортизация (износ): | 0 |
| Средняя стоимость обслуживания в год, руб.: | 0 |
| Техническое состояние и способ использования: | Работоспособен. Используется самостоятельно |
| Обеспечение единства измерений, участие в программе CIPM MRA |
| Международные сличения: | Нет |
| Дата и участники последних сличений: | Нет |
| Планируемые, очередные сличения: | Нет |
| Прочая информация |
| Способ учета (в составе основных средств, МБП, за балансом): | В составе основных средств |
| sortkey(Нет обозначения на сайте): | 2024 |
| Источник приобретения: | Субсидии |
| Примечание: | Нет |
| Статус: | Действует |
|
