СО ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ АМОРФНЫХ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ СПАМ-20

№ в госреестреГСО 10035-2011
НаименованиеСО ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ АМОРФНЫХ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ СПАМ-20
Номер свидетельства2402
Срок свидетельства2016-12-16
Срок годности2 года
Краткое описаниеСО представляет собой кремниевую пластину с нанесенным на одну из сторон многослойным покрытием из чередующихся слоев оксида титана и оксида алюминия. Для защиты от внешних воздействий и пыли поверхность образца покрыта тонким (~400 нм) слоем оксида кремния. На лицевой стороне СО сформированы окна травления в многослойной структуре Al2O3/TiO2 до кремниевой подложки в составе четырех маркерных крестов по углам образца и девяти квадратных отверстий размером 100х100 мкм2, расположенных с шагом в 1 мм, в центре. На обратной стороне СО нанесена маркировка "СПАМ-20", внутренний номер серии (для рекламаций производителю), номер партии и номер экземпляра внутри партии. Габаритные размеры СО - 17.0х17.0х0.4 мм3 с допуском в каждом измерении не более 0.1 мм. СО помещен в герметичный контейнер со специальным клейким слоем Gel-Pack. На лицевой и оборотной стороне контейнера расположена этикетка.
Наименование аттестованной характеристикисредняя толщина слоя оксида титана, нм; средняя толщина слоя оксида алюминия, нм; межслоевой период повторения слоев, нм; общая толщина многослойной структуры, нм
Способ установления аттестованного значенияПрименение аттестованных методик измерений
СтранаРоссия
ПроизводительМФТИ
ПроизводствоСерийное повторяющимися партиями
Описание типаСкачать
СтатусСрок действия истек