Государственный первичный специальный эталон единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий

Вид эталона:ГПСЭ
Номер в госреестре:гэт203-2024
Наименование эталона:Государственный первичный специальный эталон единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий
Хранитель эталона:ФГБУ "ВНИИОФИ"
Состав эталона:Государственный первичный специальный эталон состоит из комплекса следующих технических средств и вспомогательных устройств:- цифрового спектрального эллипсометра alpha-SE; - цифрового спектрального многоуглового эллипсометра SENresearch 4.0, модель SER 850-FTIR; - мер комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий в виде подложек плоской или цилиндрической формы из различных материалов с однослойными или двухслойными покрытиями разной номинальной толщины из разных материалов, а также массивные заготовки из различных материалов – как материальных носителей единицы комплексного показателя преломления и единицы длины в области измерений толщины оптических покрытий; - термогигрометра ИВА-6 для измерений температуры, атмосферного давления и влажности воздуха в зоне измерений
Способ создания:Хозспособ. Покупка комплектующих
Вид измерения:Оптико-физические измерения(Эллипсометрия, спектрофотометрия, геометрические)
Область применения:Измерения комплексного показателя преломления N=n-ik и, соответственно, оптических постоянных n и k тонкопленочных структур, представляющих собой комбинации тонких металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев (пленок) на поверхности полупроводникового кристалла или изолятора. Бесконтактные измерения толщины d оптических покрытий в широком диапазоне от нанометров до десятков микрометров на цифровом спектральном многоугловом эллипсометре SENresearch 4.0, обладающем сканирующим Фурье-спектрометром в ИК диапазоне длин волн (FTIR-приставка). Контроль технологических параметров (толщина, композиция состава, величина шероховатости) в полупроводниковой микро- и наноэлектронике, в рентгеновской оптике, оптике интерференционных покрытий, включающих слои диэлектриков, полупроводников и ме
Описание:Основу эталона составляет спектральный эллипсометр α-SE фирмы J.A. Woollam Co., Inc, США. Спектральный диапазон эллипсометра α-SE фирмы J.A. Woollam Co., Inc, США лежит в области видимого света и простирается от 380 до 900 нм, содержит 180 длин волн из этого диапазона, поэтому на нем можно измерять толщины прозрачных покрытий только до единиц микрон (1-2 мкм).Для более толстых покрытий необходимо применять эллипсометры с ИК-диапазоном длин волн и оснащенных Фурье-спектрометром FTIR (Fourier Transform InfraRed). Такой спектрометр входит в состав спектрального эллипсометра SENresearch 4.0, модель SER 850 DUV (спектральный диапазон от 190 до 2500 нм) фирмы SENTECH Instruments, GmbH, Германия.SENresearch 4.0 - это серия новейших спектральных эллипсометров с диапазоном длин волн: DUV-VIS-NIR (Г
Номинальные значения, диапазон:Диапазон значений комплексного показателя преломления N=n-ik:- для действительной части п (показатель преломления) от 0,5 до 5,0;- для мнимой части k (главный показатель поглощения) от 0,01 до 8,0.Диапазон значений толщины оптических покрытий d от 1 до 50000 нм.
Межаттестационный интервал
Межаттестанционный интервал (лет):5
Межаттестанционный интервал (месяцев):0
Ученый-хранитель
ФИО:Самойленко Алексей Андреевич, к. ф.-м. н.
Телефон:(495) 781 45 76
Email:asamoylenko@vniiofi.ru
Стандартная неопределённость
Стандартная неопределённость, оценённая по типу A:uA(n) = 0,001;uA(k) = 0,002;uA(d) = 0,1 нм для диапазона измерений от 1 до 1000 нм;uA(d) = 0,24% для диапазона измерений от 1000 до 50000 нм.
Стандартная неопределённость, оценённая по типу B:uB(n) = 0,0004;uB(k) = 0,0002;uB(d) = 0,004 нм для диапазона измерений от 1 до 1000 нм;uB(d) = 0,005% для диапазона измерений от 1000 до 50000 нм.
Суммарная стандартная неопределённость:uC(n) = 0,001;uC(k) = 0,002;uС(d) = 0,1 нм для диапазона измерений от 1 до 1000 нм;uС(d) = 0,24% для диапазона измерений от 1000 до 50000 нм.
Расширенная неопределённость при коэффициенте охвата k=2:UР(n) = 0,002;UР(k) = 0,004;UР(d) = 0,2 нм для диапазона измерений от 1 до 1000 нм;UР(d) = 0,48% для диапазона измерений от 1000 до 50000 нм.
Характеристики точности
Номинальные значения, диапазон:Диапазон значений комплексного показателя преломления N=n-ik:- для действительной части п (показатель преломления) от 0,5 до 5,0;- для мнимой части k (главный показатель поглощения) от 0,01 до 8,0.Диапазон значений толщины оптических покрытий d от 1 до 50000 нм.
Оценка случайной погрешности воспроизведения единиц:Среднее квадратическое отклонение для комплексного показателя преломления N=n-ik:- для действительной части п не более 0,001;- для мнимой части k не более 0,002.Среднее квадратическое отклонение для толщины d:- не более 0,1 нм для диапазона измерений от 1 до 1000 нм;- не более 0,24% для диапазона измерений от 1000 до 50000 нм.
Оценка неисключённой систематической погрешности воспроизведения:
Сопровождающие документы
Номер стандарта:ГПС введенная ГОСТ 8.645-2014 пересматривается
Наименование стандарта:ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений комплексного показателя преломления.
Наименование приказа:Приказ Росстандарта № 294 от 05.02.2024
Дата приказа:05.02.2024
Наличие технической и иной документации на ГЭ:- Паспорт эталона- Правила содержания и применения эталона- Приказ об утверждении эталона- Доклад Росстандарту- Техническая, конструкторская и эксплуатационная документация - Государственная поверочная схема
Публикации:Нет
Создание и Техническое состояние
Организация-изготовитель:Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГБУ «ВНИИОФИ»)
Способ создания:Хозспособ. Покупка комплектующих
Год выпуска:2012
Год утверждения (переутверждения):2024
Год последней аттестации:2023
Первоначальная (восстановительная) стоимость, руб. (с учетом переоценки на 01.01.2003):0
Норма амортизации (износа), %:0
Начисленная амортизация (износ):0
Средняя стоимость обслуживания в год, руб.:0
Техническое состояние и способ использования:Работоспособен. Используется самостоятельно
Обеспечение единства измерений, участие в программе CIPM MRA
Международные сличения:Нет
Дата и участники последних сличений:Нет
Планируемые, очередные сличения:Нет
Прочая информация
Способ учета (в составе основных средств, МБП, за балансом):В составе основных средств
sortkey(Нет обозначения на сайте):2024
Источник приобретения:Субсидии
Примечание:Нет
Статус:Действует