|
Вид эталона: | ГПЭ |
| Номер в госреестре: | гэт186-2017 |
| Наименование эталона: | ГПЭ единиц эллипсометрических углов |
| Хранитель эталона: | ФГБУ "ВНИИОФИ" |
| Состав эталона: | Государственный первичный эталон состоит из двух эталонных установок.Первая эталонная установка предназначена для воспроизведения, хранения и передачи единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси. В состав первой эталонной установки входят:- спектральный эллипсометр alpha-SE;- эталонные меры эллипсометрических углов Дельта и Пси в виде эллипсометрических пластинок – кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины: 1000 A, 2000 A, 3000 A; -эталонные меры эллипсометрического угла Дельта в виде четверть -и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона: ThorLabs WPQ10M-633, MELLES GRIOT PWPS-633-10-2, PWPS-633-10-4;- цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды «Метеоскоп»;- система сбора и обработки измерительной инфо |
| Способ создания: | Совершенствование эталона |
| Вид измерения: | Фотометрия и радиометрия |
| Область применения: | Эллипсометрия широко используется для исследования физико-химических свойств поверхности, ее морфологии, для измерения толщин многослойных структур и характеризации оптических свойств тонких пленок. Области применения – микроэлектроника, физика твердого тела, физика поверхности, материаловедение, технология оптических покрытий, химия полимеров и электрохимия, биология, медицина. |
| Описание: | Эллипсометрия – это совокупность методов изучения поверхности жидких и твёрдых тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и/или преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении эллиптическую поляризацию вследствие наличия тонкого переходного слоя на границе раздела сред. Зависимость между оптическими постоянными слоя и параметрами эллиптически поляризованного света устанавливается на основании формул Френеля. Измерение параметров эллиптически поляризованного света, отраженного или прошедшего через исследуемый образец, позволяет измерять оптические постоянные и толщину тонких пленок. |
| Номинальные значения, диапазон: | Диапазон значений эллипсометрического угла Дельта от 0° до 360°.Диапазон значений эллипсометрического угла Пси от 0° до 90°.Пространственный диапазон области воспроизведения пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси (диаметр поля зрения) 30 мм.Диапазон измерений топограммы высот профиля поверхности от 0,006 до 20,000 мкм. |
| Межаттестационный интервал |
| Межаттестанционный интервал (лет): | 5 |
| Межаттестанционный интервал (месяцев): | 0 |
| Ученый-хранитель |
| ФИО: | Минаев Владимир Леонидович |
| Телефон: | (495) 437-29-01 |
| Email: | minaev@vniiofi.ru |
| Стандартная неопределённость |
| Стандартная неопределённость, оценённая по типу A: | - эллипсометрического угла Дельта не более 0,03°;- эллипсометрического угла Пси не более 0,03°. |
| Стандартная неопределённость, оценённая по типу B: | - эллипсометрического угла Дельта не более 0,03°;- эллипсометрического угла Пси не более 0,02°. |
| Суммарная стандартная неопределённость: | -эллипсометрического угла Дельта не более 0,04°;-эллипсометрического угла Пси не более 0,03°. |
| Расширенная неопределённость при коэффициенте охвата k=2: | -эллипсометрического угла Дельта не более 0,08°;-эллипсометрического угла Пси не более 0,06°. |
| Характеристики точности |
| Номинальные значения, диапазон: | Диапазон значений эллипсометрического угла Дельта от 0° до 360°.Диапазон значений эллипсометрического угла Пси от 0° до 90°.Пространственный диапазон области воспроизведения пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси (диаметр поля зрения) 30 мм.Диапазон измерений топограммы высот профиля поверхности от 0,006 до 20,000 мкм. |
| Оценка случайной погрешности воспроизведения единиц: | Среднее квадратическое отклонение результатов измерений:- эллипсометрического угла Дельта не более 0,02°;-эллипсометрического угла Пси не более 0,01°.Предел допускаемой абсолютной погрешности измерений координат (x,y) при воспроизведении единиц пространственного распределения эллипсометрических углов Дельта и Пси 100 мкмПредел допускаемой абсолютной погрешности измерения топограммы высот профиля поверхности 0,006 мкм. |
| Оценка неисключённой систематической погрешности воспроизведения: | |
| Сопровождающие документы |
| Номер стандарта: | Приказ 2221 от 22.10.2018 |
| Наименование стандарта: | Государственная поверочная схема для средств измерения эллипсометрических углов |
| Наименование приказа: | Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 28 декабря 2017 г. № 2992 |
| Дата приказа: | 28.12.2017 |
| Наличие технической и иной документации на ГЭ: | - Паспорт эталона- Правила содержания и применения эталона- Приказ об утверждении эталона- Доклад Росстандарту- Техническая, конструкторская и эксплуатационная документация - Государственная поверочная схема |
| Публикации: | Вишняков Г.Н., Левин Г.Г., Ломакин А.Г. Измерение разности фаз при линейном двулучепреломлении в дифференциальном фазовом поляриметре с вращающимся анализатором // Оптический журнал, №9, 2011, с. 76-81. Вишняков Г.Н., Левин Г.Г., Ломакин А.Г. Измерение разности фаз двулучепреломляющего материала на фазовом поляриметре с вращающимся анализатором // Измерительная техника, №6, 2011, с. 3-7. |
| Создание и Техническое состояние |
| Организация-изготовитель: | ФГУП «ВНИИОФИ» |
| Способ создания: | Совершенствование эталона |
| Год выпуска: | 2010 |
| Год утверждения (переутверждения): | 2017 |
| Год последней аттестации: | 2023 |
| Первоначальная (восстановительная) стоимость, руб. (с учетом переоценки на 01.01.2003): | 54954 |
| Норма амортизации (износа), %: | 0 |
| Начисленная амортизация (износ): | 0 |
| Средняя стоимость обслуживания в год, руб.: | 550 |
| Техническое состояние и способ использования: | В рабочем состоянии, хранение, воспроизведение и передача единиц величин |
| Обеспечение единства измерений, участие в программе CIPM MRA |
| Международные сличения: | Сличения не проводились |
| Дата и участники последних сличений: | – |
| Планируемые, очередные сличения: | - |
| Прочая информация |
| Способ учета (в составе основных средств, МБП, за балансом): | В составе основных средств |
| sortkey(Нет обозначения на сайте): | 2017 |
| Источник приобретения: | разработка за счет средств Госбюджета |
| Примечание: | ГЭТ 186-2017 возглавляет поверочную схему для метрологического обеспечения таких приоритетных направления развития науки, технологий и техники в РФ, как:индустрия наносистем;науки о жизни;перспективные виды вооружения, военной и специальной техники. Метрологически обеспечивает развитие следующих критических технологий:базовые и критические военные и промышленные технологии для создания перспективных видов вооружения, военной и специальной техники;технологии диагностики наноматериалов и наноустройств;технологии наноустройств и микросистемной техники;технологии создания электронной компонентной базы и энергоэффективных световых устройств. |
| Статус: | Действует |
|
