Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH

Описание

Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH — техническое средство с номером в госреестре 73625-18 и сроком свидетельства (заводским номером) MY04603184, MY04603396. Имеет обозначение типа СИ: V93000 Pin Scale 1600/CTH.
Произведен предприятием: Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 1 год
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Продать СИ
Номер в госреестре
73625-18
НаименованиеСтенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем
Обозначение типаV93000 Pin Scale 1600/CTH
ПроизводительКомпания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)1 год
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номерMY04603184, MY04603396
НазначениеСтенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH (далее – стенды) предназначены контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе.
ОписаниеПринцип работы стендов основан на методах функционального и параметрического контроля. Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля. Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока) и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения). Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки. В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу. Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля. В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу. Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания DCS DPS128 (E8023CSH). Стенды выполнены в виде измерительного головного блока, имеющего вариант исполнения CTH (Compact test head), манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливаются измерительная оснастка с объектом контроля или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Внешний вид стендов представлен на рисунке 1. В состав измерительного головного блока входят следующие основные части: - универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, количество до 16 шт., всего до 1024 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются широкодиапазонный драйвер и два широкодиапазонных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий аналого-цифровой преобразователь BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения); - одноканальная плата прецизионного источника-измерителя напряжения и силы тока HPPMU, количество до 2 шт.; - 64-х канальные платы измерительных источников питания DCS DPS128 (E8023CSH), количество до 16 шт.
Программное обеспечениеПрограммное обеспечение выполняет функции создания и редактирования параметров функционального и параметрического контроля, обработки и документирования измерительной информации. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений – «низкий» по Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1. Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)Значение
идентификационное наименованиеSmarTest
идентификационный номер версии7.2.3.4 и выше
$$$$$
место пломбирования (стикер) место размещения знака утверждения типа и знака поверки Рисунок 1 – Внешний вид стендов V93000 Pin Scale 1600/CTH
Метрологические и технические характеристикиМетрологические и технические характеристики представлены в таблицах 2 и 3. Таблица 2 – Метрологические характеристики
НаименованиеЗначение
12
Диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нсот 2,5 до 31250
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности вектора тестовой последовательности, нс ±15∙10-6∙Т
Диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1–D8, стробирующих импульсов R1–R8, нсот –4∙Т до +12∙Т
Крайние значения временных меток, мкс–6,3; +19
Разрешение временных меток, пс 1,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1–D8 и R1–R8, пс±150
Продолжение таблицы 2
12
Длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера, нс, не более
при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %)0,6
при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %)0,7
при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %)0,8
Минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс
при амплитуде 1,0 В0,7
при амплитуде 1,8 В0,8
при амплитуде 3,0 В0,9
Длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %)9
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %)250
Длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %)10,5
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %)30
Диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, Вот –1,5 до +6,5
Разрешение напряжения драйвера, мВ1,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера, мВ±5
Выходное сопротивление драйвера, Омот 47,5 до 52,5
Диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В
диапазон VIL/VIHот 0 до 6,5
диапазон VHHот 6 до 13,4
Разрешение широкодиапазонного драйвера, мВ1,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ±15
Выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом
при уровнях напряжения от 0 до 6,5 Вот 45 до 55
при уровнях напряжения от 6 до 13,4 Вне более 10
Диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, Вот –1,5 до +6,5
Разрешение компаратора, мВ1,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором, мВ±15
Диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, Вот –3,0 до +13,4
Разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ1,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения широкодиапазонным компаратором, мВ
при уровнях напряжения от 0 до 8 В±20
при уровнях напряжения от –3,0 до +13,4 В±50
Диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, Вот –1,5 до +6,5
Диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В±1,0
Продолжение таблицы 2
12
Разрешение дифференциального компаратора, мВ1,0
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором, мВ±15
Диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А), мА±25
Разрешение силы тока активной нагрузки, мкА12,5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока I активной нагрузки, мкА ±(1·10-2∙I + I0), I0 = 75 мкА
Диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В
при силе тока в пределах ±1 мАот –1,5 до +6,5
при силе тока в пределах ±25 мАот –1,0 до +5,5
Диапазон воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU, В
при силе тока в пределах ±1 мАот –2,0 до +6,5
при силе тока в пределах ±40 мАот –2,0 до +5,75
Разрешение по напряжению источника-измерителя PMU, мкВ
воспроизведение напряжения 200
измерение напряжения 75
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения ΔU источника-измерителя PMU определяются по формуле ΔU = ±(U0 + I·R), где I – сила тока нагрузки, мА; R = 1 Ом; U0 = 3 мВ для воспроизведения напряжения; U0 = 2 мВ для измерения напряжения от 0 до +3,3 В; U0 = 4 мВ для измерения напряжения от –2,0 до 0 и от +3,3 до +6,5 В
Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А)2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА
Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU
на пределе 2 мкА1 нА
на пределе 10 мкА5 нА
на пределе 100 мкА50 нА
на пределе 1 мА0,5 мкА
на пределе 40 мА20 мкА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы постоянного тока ΔI источником-измерителем PMU определяются по формуле Δ I = ±(5·10-3∙I + I0), где I – сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже: верхний предел значения I0, мкА воспроизведение силы тока измерение силы тока 2 мкА 0,04 0,01 10 мкА 0,1 0,05 100 мкА 0,5 0,2 1 мА 5 1,25 40 мА 50 50
Продолжение таблицы 2
12
Диапазон измерения напряжения АЦП BADC, В
в стандартном режимеот –3,0 до +8,0
в широкодиапазонном режимеот –6,0 до +13,4
Входное сопротивление АЦП BADC, МОм, не менее 100
Разрешение АЦП BADC, мкВ
в стандартном режиме75
в широкодиапазонном режиме150
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения постоянного АЦП BADC, мВ
в стандартном режиме±1
в широкодиапазонном режиме±10
Диапазон воспроизведения и измерения напряжения прецизионным источником-измерителем HPPMU, В
при подключении через плату PS1600от –1,5 до +6
при подключении через разъем UTILITY pogo blockот –5 до +8
Разрешение по напряжению HPPMU, мкВ250
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ
при подключении через плату PS1600±(U0 + I·R) I – сила тока нагрузки, мА U0 = 2 мВ; R = 1 Ом
при подключении через разъем UTILITY pogo block±2
Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU 5; 200 мкА; 5; 200 мА
Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU
на пределе 5 мкА 250 пА
на пределе 200 мкА6 нА
на пределе 5 мА250 нА
на пределе 200 мА6 мкА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы постоянного тока источником-измерителем HPPMU определяются по формуле ΔI = ±(1·10-3∙I + I0), где I – сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже: верхний предел значения I0, мкА 5 мкА через плату PS1600 0,05 5 мкА через разъем UTILITY pogo block 0,01 200 мкА 0,2 5 мА 10 200 мА 200
Диапазон воспроизведения и измерения напряжения измерительным источником питания DCS DPS128, Вот –2,5 до +7
Разрешение воспроизведения и измерения напряжения DCS DPS128, мкВ200
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения DCS DPS128, мВ±3
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения DCS DPS128, мВ±2
Продолжение таблицы 2
12
Максимальная сила тока в нагрузке одного канала DCS DPS128, А
при воспроизведении напряжения до 2,5 В1,0
при воспроизведении напряжения до 7 В0,5
Верхние пределы диапазонов воспроизведения, измерения и ограничения силы тока одного канала DCS DPS12812,5; 25; 125; 250 мкА; 1,25; 2,5; 12,5; 25; 100; 200 мА; 1 А
Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы тока одного канала DCS DPS128
на пределе 12,5 мкА0,5 нА
на пределе 25 мкА1 нА
на пределе 125 мкА5 нА
на пределе 250 мкА10 нА
на пределе 1,25 мА50 нА
на пределе 2,5 мА100 нА
на пределе 12,5 мА0,5 мкА
на пределе 25 мА1 мкА
на пределе 100 мА5 мкА
на пределе 200 мА10 мкА
на пределе 1 А50 мкА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока ΔI одним каналом DCS DPS128 определяются по формуле ΔI = ±(2·10-3∙I + I0), где I – сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже: предел диапазона значения силы тока I значения I0, мкА 12,5 мкА 2,5 мкА ≤ I ≤ 12,5 мкА 0,12 25 мкА 5 мкА ≤ I ≤ 25 мкА 0,12 125 мкА 25 мкА ≤ I ≤ 125 мкА 0,75 250 мкА 50 мкА ≤ I ≤ 250 мкА 0,75 1,25 мА 0,25 мА ≤ I ≤ 1,25 мА 7,5 2,5 мА 0,5 мА ≤ I ≤ 2,5 мА 7,5 12,5 мА 2,5 мА ≤ I ≤ 12,5 мА 75 25 мА 5 мА ≤ I ≤ 25 мА 75 100 мА 20 мА ≤ I ≤ 100 мА 600 200 мА 40 мА ≤ I ≤ 200 мА 600 1 А 0,2 А ≤ I ≤ 1 А 3000
Продолжение таблицы 2
12
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока постоянного ΔI одним каналом DCS DPS128 определяются по формуле ΔI = ±(а·10-3∙I + I0), где I – сила тока, мкА; значения А0 и I0 приведены в таблице ниже: предел диапазона значения а, отн.ед. значения I0, мкА 12,5 мкА 2 0,05 25 мкА 2 0,05 125 мкА 1 0,25 250 мкА 1 0,25 1,25 мА 1 2,5 2,5 мА 1 2,5 12,5 мА 1 25 25 мА 1 25 100 мА 1 250 200 мА 1 250 1 А 1 1000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности ограничения силы тока одним каналом DCS DPS128 определяются значениями ΔI1, ΔI2, приведенными в таблице ниже: предел диапазона значения силы тока I значение ΔI1, мкА значение ΔI2, мкА 12,5 мкА 2,5 мкА ≤ I ≤ 12,5 мкА –0,38 +0,63 25 мкА 5 мкА ≤ I ≤ 25 мкА –0,75 +1,25 125 мкА 25 мкА ≤ I ≤ 125 мкА –3,75 +6,25 250 мкА 50 мкА ≤ I ≤ 250 мкА –7,5 +12,5 1,25 мА 0,25 мА ≤ I ≤ 1,25 мА –37,5 +62,5 2,5 мА 0,5 мА ≤ I ≤ 2,5 мА –75 +125 12,5 мА 2,5 мА ≤ I ≤ 12,5 мА –375 +625 25 мА 5 мА ≤ I ≤ 25 мА –750 +1250 100 мА 20 мА ≤ I ≤ 100 мА –3000 +5000 200 мА 40 мА ≤ I ≤ 200 мА –6000 +10000 1 А 0,2 А ≤ I ≤ 1 А –30000 +50000
Верхние пределы воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединённых каналов DCS DPS128, где n – количество объединённых в группу каналов, А(n∙1)
Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединённых каналов DCS DPS128, где n – количество объединённых в группу каналов, мкА(n∙50)
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока ΔI группы объединённых каналов DCS DPS128 в диапазоне от (n∙0,2) до (n∙1) А определяются по формуле ΔI = ±(2·10-3∙I + n∙I0), где I – сила тока, мА; I0 = 3 мА; n – количество объединённых в группу каналов
Продолжение таблицы 2
12
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока ΔI группы объединённых каналов DCS DPS128 определяются по формуле ΔI = ±(1·10-3∙I + n ∙I0), где I – сила тока, мА; I0 = 1 мА; n – количество объединённых в группу каналов
Пределы допускаемой абсолютной погрешности ограничения силы тока группы объединённых каналов DCS DPS128 в диапазоне от (n∙0,2) до (n∙1) А, где n – количество объединённых в группу каналов, определяются значениями ΔI1 = –3·10-2∙I ΔI2 = +5·10-2 ∙I, где I – сила тока, мА;
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Габаритные размеры (высота × ширина × глубина), мм
головной блок с манипулятором 1880 × 1290 × 2270
установка водяного охлаждения950 × 520 × 870
Масса головного блока с манипулятором, кг, не более1118
Масса установки водяного охлаждения, кг, не более185
Напряжение питания (сеть трехфазного тока) частотой 50 Гцот 360 до 440 В
Потребляемая мощность, кВ∙А, не более15
Температура окружающей среды в рабочих условиях, °Сот 20 до 30
Относительная влажность при температуре 30 °С, %, не более70
Комплектностьприведена в таблице 4. Таблица 4 – Комплектность стендов
Наименование и обозначениеКол-во, шт.
Измерительный головной блок1
Манипулятор 1
Установка водяного охлаждения1
Программа управляющая SmarTest1
Управляющий компьютер HP Z6401
Руководство по эксплуатации1
Методика поверки V93000PS1600СTH/МП-20181
Поверкаосуществляется по документу V93000PS1600CTH/МП-2018 «ГСИ. Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH. Методика поверки», утвержденному ЗАО «АКТИ-Мастер» 25.10.2018 г. Основные средства поверки: - частотомер электронно-счетный Agilent 53132A с опциями 012 и 030 (рег. № 26211-03); - осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 с пробником Р6158А (рег. № 53104-13); - мультиметр цифровой Keithley 2000 (рег. № 25787-08); - калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 (рег. № 25789-08); - мультиметр Agilent 3458А (рег. № 25900-03); - нагрузка электронная АКИП-1302 с опцией GPIB (рег. № 38205-08); - мера электрического сопротивления однозначная МС 3081 (рег. № 61540-15). Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью. Знак поверки наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки и на свидетельство о поверке.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к стендам измерительным для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1·10-16 ÷ 30 А ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты (приказ Росстандарта от 31.07.2018 г. № 1621)
ЗаявительКомпания “Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen”, Германия Адрес: Herrenberger Strasse 130, 71034, Boeblingen, Germany Тел.: +49-7031-4357-000, факс: +49-7031-4357-497
Испытательный центрЗакрытое акционерное общество «АКТИ-Мастер» (ЗАО «АКТИ-Мастер») Адрес: 127254, г. Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5 Тел./факс: +7(495)926-71-85 Web-сайт: http://www.actimaster.ru E-mail: post@actimaster.ru Аттестат аккредитации ЗАО «АКТИ-Мастер» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311824 от 14.10.2016 г.