Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC

Описание

Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC — техническое средство с номером в госреестре 75055-19 и сроком свидетельства (заводским номером) 141201В. Имеет обозначение типа СИ: CVmap 3093BC.
Произведен предприятием: Фирма "Four Dimensions, Inc.", США.

Требуется ли периодическая поверка прибора?

Наличие периодической поверки: Да. Периодичность проведения поверки установлена изготовителем средства измерения и составляет: 2 года
Узнать о ее сроках можно также в техническом паспорте, который прилагается к данному прибору.

Допускается ли поверка партии?

Допущение поверки партии приборов: Нет.

Методика поверки:

Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC.

С методикой поверки прибора вы можете ознакомиться по ссылке: Скачать
Документ содержит последовательность действий, реализация которых позволит подтвердить соответствие прибора метрологическим требованиям, принятым при утверждении типа средства измерений.

Описание типа:

Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC.

С более детальным описанием прибора можно ознакомиться по ссылке: Описание прибора: Скачать. Документ содержит технические, метрологические характеристики, данные о погрешности измерения и другую полезную информацию.

Изображение
Добавить к заказу
Номер в госреестре
75055-19
НаименованиеУстановка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин
Обозначение типаCVmap 3093BC
ПроизводительФирма "Four Dimensions, Inc.", США
Описание типаСкачать
Методика поверкиСкачать
Межповерочный интервал (МПИ)2 года
Допускается поверка партииНет
Наличие периодической поверкиДа
Сведения о типеЗаводской номер
Срок свидетельства или заводской номер141201В
НазначениеУстановка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC (далее – установка) предназначена для измерений электрической емкости и силы постоянного электрического тока, а также определения вольт-фарадных и вольт-амперных характеристик.
ОписаниеПринцип действия установки основан на измерении интегратором электрического заряда, прошедшего через измеряемый объект, при генерации последовательных импульсов внешнего напряжения. Контакт с измеряемым объектом обеспечивается ртутным зондом различной конфигурации – точка, точка и кольцо или точка и два кольца. Установка позволяет проводить последовательные измерения для пластин диаметром до 300 мм, размещенных в кассете. Для обеспечения перемещения пластин из кассеты в кассету, а также их загрузки-выгрузки требуется подключение вакуумной системы и подачи сжатого воздуха. Установка конструктивно выполнена в виде стойки-моноблока и состоит из системы измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин, роботизированной системы Genmark с устройством предварительного размещения и камеры считывания идентификационного номера пластины. В стойке обеспечена возможность размещения ПК и принтера. Вольт-фарадные и вольт-амперные характеристики могут определяться с использованием как встроенного зонда, так и при подключении внешнего зонда. Установка обеспечивает возможность измерения электрической емкости при синусоидальном изменении внешнего напряжения частотой 1 МГц с применением внешних СИ – RLC-метров и анализаторов импеданса. Общий вид средства измерений представлен на рисунке 1. Рисунок 1 – Общий вид установки Пломбы в виде неразрушаемых наклеек клеятся на дверцы корпуса установки, перекрывая зазор между дверцами и корпусом. Места пломбирования указаны на рисунке 2. а – левая сторона, б – лицевая сторона, в – правая сторона Рисунок 2 – Места пломбирования от несанкционированного доступа
Программное обеспечениеУстановка имеет встроенное и автономное программное обеспечение (ПО). Встроенное ПО выполняет функции сбора, обработки, хранения и передачи измеренных данных. Автономное ПО выполняет функции обработки, отображения, хранения и передачи измеренных данных. Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствие сР50.2.077-2014. Влияние ПО учтено при нормировании метрологических характеристик. Таблица 1 – Идентификационные данные ПО
Идентификационные данные (признаки) Значение
Идентификационное наименование ПО-CV map 92
Номер версии (идентификационный номер) ПО-не ниже 1.42
Цифровой идентификатор ПО--
Метрологические и технические характеристикиТаблица 2 – Метрологические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон измерений электрической емкости, нФот 0,01 до 100
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости, %±2,0
Диапазон установки электрического напряжения, Вот -100 до +100
Пределы допускаемой относительной погрешности установки электрического напряжения, %±1,2
Диапазон измерений силы постоянного электрического тока, мAот 5,0∙10-11 до 1
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного электрического тока, %±1,4
Пределы допускаемых отклонений действительных значений электрической емкости конденсатора калибровочного блока от его номинального значения, %
1000 пФ±0,5
Пределы допускаемых отклонений действительных значений электрического сопротивления резисторов калибровочного блока от их номинальных значений, %
100 кОм±0,5
1 МОм±0,5
1 ГОм±0,5
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Напряжение питающей сети переменного тока, В 220±22
Частота питающей сети, Гц50/60
Потребляемая мощность, Вт, не более1500
Габаритные размеры (длина × ширина × высота), мм, не более915 × 1168 × 1778
Масса, кг, не более360
Средний срок службы, лет10
Средняя наработка на отказ, ч20000
Условия эксплуатации: температура окружающей среды, °С относительная влажность, % атмосферное давление, кПа22±2 50±10 101±4
КомплектностьТаблица 4 – Комплектность установки
НаименованиеОбозначениеКоличество
Установка CVmap 3093BC1 шт.
Калибровочный блок (конденсатор 1000 пФ,резисторы 100 кОм, 1 МОм, 1 ГОм)-1 шт.
Руководство по эксплуатации (на CD диске)-1 экз.
Программное обеспечение (на CD диске)CV map 921 экз.
Методика поверки МП 2202-0074-20181 экз.
Поверкаосуществляется по документу МП 2202-0074-2018 «ГСИ. Установка для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 10 декабря 2018 г. Основные средства поверки: - измеритель RLC E4980A, диапазон измерений электрической емкости 1 пФ – 10 мФ, диапазон установки частоты тестового сигнала 20 Гц – 2 МГц, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрической емкости в необходимом диапазоне измерений ± (0,07 – 0,1) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 62364-15; - измеритель малых токов B2987A, диапазон измерений электрического сопротивления 10 Ом – 10 ПОм, пределы допускаемой относительной погрешности измерений электрического сопротивления в необходимом диапазоне измерений ±(0,135 – 0,285) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 68608-17; - мультиметр UTB 171B, диапазон измерений постоянного электрического напряжения (0 – 1000) В, пределы допускаемой относительной погрешности измерений постоянного электрического напряжения в необходимом диапазоне измерений ± (0,05 – 0,08) %, регистрационный номер в Федеральном информационном фонде по обеспечению единства измерений 56475-14. Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью. Знак поверки наносится на свидетельство о поверке или на лицевую стенку установки, как указано на рисунке 1.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке для измерения электрофизических параметров полупроводниковых пластин CVmap 3093BC Приказ Росстандарта № 146 от 15 февраля 2016 г. «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений электрического сопротивления» ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия Техническая документация фирмы изготовителя
ЗаявительФирма «Four Dimensions, Inc.», США Адрес: 3138 Diablo Ave., Hayward, CA 94545, USA Телефон: (510) 782-1843 Факс: (510) 786-9321 Web-сайт: www.4dimensions.com
Испытательный центрФедеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева» Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19 Телефон: (812) 251-76-01 Факс: (812) 713-01-14 Web-сайт: www.vniim.ru E-mail: info@vniim.ru Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» по проведению испытаний средств измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311541 от 23.03.2016 г.