|
Изображение |  | Номер в госреестре | |
| Наименование | Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем |
| Обозначение типа | V93000 Pin Scale 1600/CTH |
| Производитель | Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия; Производственная площадка: Advantest PTE, Ltd, Малайзия |
| Описание типа | Скачать |
| Методика поверки | Скачать |
| Межповерочный интервал (МПИ) | 1 год |
| Допускается поверка партии | Нет |
| Наличие периодической поверки | Да |
| Сведения о типе | Заводской номер |
| Срок свидетельства или заводской номер | MY04604128 |
| Назначение | Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH (далее – стенд) предназначен для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе.
|
| Описание | Принцип работы стенда основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока) и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности.
Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8.
Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу. Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора.
Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания DCS DPS128 (E8023CSH).
Стенд выполнен в виде измерительного головного блока, имеющего вариант исполнения CTH (Compact test head), манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного головного блока устанавливаются измерительная оснастка с объектом контроля или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой.
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, количество до 16 шт., всего до 1024 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются широкодиапазонный драйвер и два широкодиапазонных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий аналого-цифровой преобразователь BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
- одноканальная плата прецизионного источника-измерителя напряжения и силы тока HPPMU, количество до 2 шт.;
- 64-х канальные платы измерительных источников питания DCS DPS128 (E8023CSH), количество до 16 шт.
Общий вид стенда представлен на рисунке 1. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Для ограничения несанкционированного доступа к внутренним частям и элементам производится пломбировка путем нанесения защитного стикера на лицевой панели измерительного головного блока. Знак утверждения типа и знак поверки наносятся на лицевую панель измерительного головного блока в виде самоклеющихся этикеток.
Заводской (серийный) номер в формате 10-ти символов, первые два из которых – буквы «MY», а остальные – арабские цифры, указан на заводской самоклеющейся этикетке, помещенной на задней панели измерительного головного блока. Фрагмент задней панели головного блока с этикеткой показан на рисунке 2.
| место пломбирования (стикер)
место размещения знака утверждения типа и знака поверки
Рисунок 1 – Общий вид стенда | |
Рисунок 2 – Фрагмент задней панели измерительного головного блока с этикеткой | $$$$$
|
Рисунок 2 – Фрагмент задней панели измерительного головного блока с этикеткой | $$$$$
| Программное обеспечение | Программное обеспечение, установленное на управляющую ПЭВМ, выполняет функции создания и редактирования параметров функционального и параметрического контроля, обработки и документирования измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений – «низкий» по рекомендации Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 – Идентификационные данные программного обеспечения
| Идентификационные данные (признаки) | Значение | | идентификационное наименование | SmarTest | | идентификационный номер версии | не ниже 7.2.3.4 |
|
| Метрологические и технические характеристики | Метрологические и основные технические характеристики стенда представлены в таблицах 2, 3.
Таблица 2 – Метрологические характеристики
| Наименование | Значение | | 1 | 2 | | Диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс | от 2,5 до 31250 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
длительности вектора тестовой последовательности, нс | ±15∙10-6∙Т | | Диапазон установки временных меток формирования
выходных импульсов D1–D8, стробирующих импульсов R1–R8, нс | от –4∙Т до +12∙Т | | Крайние значения временных меток, мкс | –6,3; +19 | | Разрешение временных меток, пс | 1,0 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1–D8 и R1–R8, пс | ±150 | | Длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера, нс, не более | | при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,6 | | при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,7 | | при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) | 0,8 | | Минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс | | при амплитуде 1,0 В | 0,7 | | при амплитуде 1,8 В | 0,8 | | при амплитуде 3,0 В | 0,9 | | Длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более | | при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 9 | | при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 250 | | Длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более | | при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 10,5 | | при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) | 30 | | Диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В | от –1,5 до +6,5 | | Разрешение напряжения драйвера, мВ | 1,0 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера, мВ | ±5 | | Выходное сопротивление драйвера, Ом | от 47,5 до 52,5 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | Диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В | | диапазон VIL/VIH | от 0 до 6,5 | | диапазон VHH | от 6 до 13,4 | | Разрешение широкодиапазонного драйвера, мВ | 1,0 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ | ±15 | | Выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом | | при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В | от 45 до 55 | | при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В | не более 10 | | Диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, В | от –1,5 до +6,5 | | Разрешение компаратора, мВ | 1,0 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором, мВ | ±15 | | Диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, В | от –3,0 до +13,4 | | Разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ | 1,0 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения широкодиапазонным компаратором, мВ | | | при уровнях напряжения от 0 до 8 В | ±20 | | при уровнях напряжения от –3,0 до +13,4 В | ±50 | | Диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, В | от –1,5 до +6,5 | | Диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В | ±1,0 | | Разрешение дифференциального компаратора, мВ | 1,0 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором, мВ | ±15 | | Диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А), мА | ±25 | | Разрешение силы тока активной нагрузки, мкА | 12,5 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока I активной нагрузки, мкА | ±(1·10-2∙I + I0),
I0 = 75 мкА | | Диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В | | при силе тока в пределах ±1 мА | от –1,5 до +6,5 | | при силе тока в пределах ±25 мА | от –1,0 до +5,5 | | Диапазон воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU, В | | при силе тока в пределах ±1 мА | от –2,0 до +6,5 | | при силе тока в пределах ±40 мА | от –2,0 до +5,75 | | Разрешение по напряжению источника-измерителя PMU, мкВ | | воспроизведение напряжения | 200 | | измерение напряжения | 75 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения ΔU источника-измерителя PMU определяются по формуле
ΔU = ±(U0 + I·R),
где I – сила тока нагрузки, мА; R = 1 Ом;
U0 = 3 мВ для воспроизведения напряжения;
U0 = 2 мВ для измерения напряжения от 0 до +3,3 В;
U0 = 4 мВ для измерения напряжения от –2,0 до 0 и от +3,3 до +6,5 В | | Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) | 2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА | | Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU | | на пределе 2 мкА | 1 нА | | на пределе 10 мкА | 5 нА | | на пределе 100 мкА | 50 нА | | на пределе 1 мА | 0,5 мкА | | на пределе 40 мА | 20 мкА |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы постоянного тока ΔI источником-измерителем PMU определяются по формуле
Δ I = ±(5·10-3∙I + I0),
где I – сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже:
верхний предел
значения I0, мкА
воспроизведение силы тока
измерение силы тока
2 мкА
0,04
0,01
10 мкА
0,1
0,05
100 мкА
0,5
0,2
1 мА
5
1,25
40 мА
50
50 | | Диапазон измерения напряжения АЦП BADC, В | | в стандартном режиме | от –3,0 до +8,0 | | в широкодиапазонном режиме | от –6,0 до +13,4 | | Входное сопротивление АЦП BADC, МОм, не менее | 100 | | Разрешение АЦП BADC, мкВ | | в стандартном режиме | 75 | | в широкодиапазонном режиме | 150 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения постоянного АЦП BADC, мВ | | в стандартном режиме | ±1 | | в широкодиапазонном режиме | ±10 | | Диапазон воспроизведения и измерения напряжения прецизионным источником-измерителем HPPMU, В | | при подключении через плату PS1600 | от –1,5 до +6 | | при подключении через разъем UTILITY pogo block | от –5 до +8 | | Разрешение по напряжению HPPMU, мкВ | 250 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ | | при подключении через плату PS1600 | ±(U0 + I·R)
I – сила тока нагрузки, мА
U0 = 2 мВ; R = 1 Ом | | при подключении через разъем UTILITY pogo block | ±2 | | Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU | 5; 200 мкА; 5; 200 мА | | Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем HPPMU | | на пределе 5 мкА | 250 пА | | на пределе 200 мкА | 6 нА | | на пределе 5 мА | 250 нА | | на пределе 200 мА | 6 мкА | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы постоянного тока источником-измерителем HPPMU определяются по формуле
ΔI = ±(1·10-3∙I + I0),
где I – сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже:
верхний предел
значения I0, мкА
5 мкА через плату PS1600
0,05
5 мкА через разъем UTILITY pogo block
0,01
200 мкА
0,2
5 мА
10
200 мА
200 | | Диапазон воспроизведения и измерения напряжения измерительным источником питания DCS DPS128, В | от –2,5 до +7 | | Разрешение воспроизведения и измерения напряжения DCS DPS128, мкВ | 200 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения DCS DPS128, мВ | ±3 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения DCS DPS128, мВ | ±2 | | Максимальная сила тока в нагрузке одного канала DCS DPS128, А | | при воспроизведении напряжения до 2,5 В | 1,0 | | при воспроизведении напряжения до 7 В | 0,5 | | Верхние пределы диапазонов воспроизведения, измерения и ограничения силы тока одного канала DCS DPS128 | 12,5; 25; 125; 250 мкА; 1,25; 2,5; 12,5; 25; 100;
200 мА; 1 А |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы тока одного канала DCS DPS128 | | на пределе 12,5 мкА | 0,5 нА | | на пределе 25 мкА | 1 нА | | на пределе 125 мкА | 5 нА | | на пределе 250 мкА | 10 нА | | на пределе 1,25 мА | 50 нА | | на пределе 2,5 мА | 100 нА | | на пределе 12,5 мА | 0,5 мкА | | на пределе 25 мА | 1 мкА | | на пределе 100 мА | 5 мкА | | на пределе 200 мА | 10 мкА | | на пределе 1 А | 50 мкА | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока ΔI одним каналом DCS DPS128 определяются по формуле
ΔI = ±(2·10-3∙I + I0),
где I – сила тока, мкА; значения I0 приведены в таблице ниже:
предел диапазона
значения силы тока I
значения I0, мкА
12,5 мкА
2,5 мкА ≤ I ≤ 12,5 мкА
0,12
25 мкА
5 мкА ≤ I ≤ 25 мкА
0,12
125 мкА
25 мкА ≤ I ≤ 125 мкА
0,75
250 мкА
50 мкА ≤ I ≤ 250 мкА
0,75
1,25 мА
0,25 мА ≤ I ≤ 1,25 мА
7,5
2,5 мА
0,5 мА ≤ I ≤ 2,5 мА
7,5
12,5 мА
2,5 мА ≤ I ≤ 12,5 мА
75
25 мА
5 мА ≤ I ≤ 25 мА
75
100 мА
20 мА ≤ I ≤ 100 мА
600
200 мА
40 мА ≤ I ≤ 200 мА
600
1 А
0,2 А ≤ I ≤ 1 А
3000 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока постоянного ΔI одним каналом DCS DPS128 определяются по формуле
ΔI = ±( А0·10-3∙I + I0),
где I – сила тока, мкА; значения А0 и I0 приведены в таблице ниже:
предел диапазона
значения А0, отн.ед.
значения I0, мкА
12,5 мкА
2
0,05
25 мкА
2
0,05
125 мкА
1
0,25
250 мкА
1
0,25
1,25 мА
1
2,5
2,5 мА
1
2,5
12,5 мА
1
25
25 мА
1
25
100 мА
1
250
200 мА
1
250
1 А
1
1000 |
Продолжение таблицы 2
| 1 | 2 | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности ограничения силы тока одним каналом DCS DPS128 определяются значениями ΔI1, ΔI2, приведенными в таблице ниже:
предел диапазона
значения силы тока I
значение
ΔI1, мкА
значение
ΔI2, мкА
12,5 мкА
2,5 мкА ≤ I ≤ 12,5 мкА
–0,38
+0,63
25 мкА
5 мкА ≤ I ≤ 25 мкА
–0,75
+1,25
125 мкА
25 мкА ≤ I ≤ 125 мкА
–3,75
+6,25
250 мкА
50 мкА ≤ I ≤ 250 мкА
–7,5
+12,5
1,25 мА
0,25 мА ≤ I ≤ 1,25 мА
–37,5
+62,5
2,5 мА
0,5 мА ≤ I ≤ 2,5 мА
–75
+125
12,5 мА
2,5 мА ≤ I ≤ 12,5 мА
–375
+625
25 мА
5 мА ≤ I ≤ 25 мА
–750
+1250
100 мА
20 мА ≤ I ≤ 100 мА
–3000
+5000
200 мА
40 мА ≤ I ≤ 200 мА
–6000
+10000
1 А
0,2 А ≤ I ≤ 1 А
–30000
+50000 | | Верхние пределы воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединённых каналов DCS DPS128,
где n – количество объединенных в группу каналов, А | (n∙1) | | Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединенных каналов DCS DPS128,
где n – количество объединённых в группу каналов, мкА | (n∙50) | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока ΔI группы объединенных каналов DCS DPS128 в диапазоне от (n∙0,2) до (n∙1) А определяются по формуле
ΔI = ±(2·10-3∙I + n∙I0),
где I – сила тока, мА; I0 = 3 мА; n – количество объединённых в группу каналов | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока ΔI группы объединенных каналов DCS DPS128 определяются по формуле
ΔI = ±(1·10-3∙I + n ∙I0),
где I – сила тока, мА; I0 = 1 мА; n – количество объединённых в группу каналов | | Пределы допускаемой абсолютной погрешности ограничения силы тока группы объединенных каналов DCS DPS128 в диапазоне от (n∙0,2) до (n∙1) А, где n – количество объединённых в группу каналов, определяются значениями
ΔI1 = –3·10-2∙I
ΔI2 = +5·10-2 ∙I,
где I – сила тока, мА |
Таблица 3 – Основные технические характеристики
| Габаритные размеры (высота × ширина × глубина), мм | | измерительный головной блок с манипулятором | 1880 × 1290 × 2270 | | установка водяного охлаждения | 950 × 520 × 870 | | Масса головного измерительного блока с манипулятором, кг, не более | 1118 | | Масса установки водяного охлаждения, кг, не более | 185 | | Напряжение питания (сеть трехфазного тока частотой 50 Гц), В | от 360 до 440 | | Потребляемая мощность, кВ∙А, не более | 15 | | Температура окружающей среды в рабочих условиях, °С | от +20 до +30 | | Относительная влажность при температуре 30 °С, %, не более | 70 |
|
| Комплектность | приведена в таблице 4.
Таблица 4 – Комплектность стенда
| Наименование и обозначение | Количество | | Измерительный головной блок | 1 шт. | | Манипулятор | 1 шт. | | Установка водяного охлаждения | 1 шт. | | Программа управляющая SmarTest | 1 шт. | | Управляющая ПЭВМ | 1 шт. | | Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH. Руководство по эксплуатации | 1 экз. |
|
| Поверка | приведены в разделе 3 «Методики (методы) измерений электрических параметров и функционального контроля» руководства по эксплуатации.
| | Нормативные и технические документы | , устанавливающие требования к стенду измерительному для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH
Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы (приказ Росстандарта от 30.12.2019 г. № 3457)
Государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне от 1∙10-16 до 100 А (приказ Росстандарта от 01.10.2018 г. № 2091)
Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты (приказ Росстандарта от 31.07.2018 г. № 1621)
|
| Заявитель | Компания «Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen», Германия
Адрес: Herrenberger Strasse 130, 71034, Boeblingen, Germany
Тел. +49-7031-4357-000, Факс +49-7031-4357-497
Производственная площадка: Advantest PTE, Ltd, Малайзия
Адрес: Plot 88A Lintang Bayan Lepas 9, Bayan Lepas, Penang 11900, Malaysia
|
| Испытательный центр | Акционерное общество «АКТИ-Мастер» (АО «АКТИ-Мастер»)
Адрес: 127106, Москва, Нововладыкинский проезд, д. 8, стр. 4
Тел./факс: +7(495)926-71-85; Web: http://www.actimaster.ru; E-mail: post@actimaster.ruУникальный номер записи об аккредитации RA.RU.311824 в Реестре аккредитованных лиц
|
| |
